公开(公告)号：CN114678245A

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202210320146.9

申请日：2018-02-02

Applicant: 科磊股份有限公司

Inventor： R·海恩斯 ,  A·韦尔克 ,  M·纳赛尔-古德西 ,  J·格尔林 ,  T·普勒特纳

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J9/14 ,  H01J37/02 ,  H01J37/05 ,  H01J37/08 ,  H01J37/10 ,  H01J37/12 ,  H01J37/14 ,  H01J37/147

Abstract: 本发明揭示一种多柱扫描式电子显微镜SEM系统，其包含柱组合件，其中所述柱组合件包含第一衬底阵列组合件及至少一第二衬底阵列组合件。所述系统还包含源组合件，所述源组合件包含：两个或两个以上照明源，其经配置以产生两个或两个以上电子束；及两组或两组以上多个定位器，其经配置以在多个方向上调整所述两个或两个以上照明源的特定照明源的位置。所述系统还包含经配置以固定样本的载物台，其中所述柱组合件将所述两个或两个以上电子束的至少一部分引导到所述样本的一部分上。

公开(公告)号：CN101088137B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200580044221.8

申请日：2005-12-20

Applicant: 埃美格科学仪器公司

Inventor： 约瑟夫·H·本托恩 ,  托马斯·F·凯利 ,  丹尼尔·R·愣次 ,  斯科特·A·维纳

IPC: H01J37/285 ,  H01S3/10

CPC classification number: H01J49/164 ,  B82Y35/00 ,  H01J37/285 ,  H01J49/0004 ,  H01J2237/2812 ,  H01J2237/2813

Abstract: 原子探针包括可以保持待分析试样的试样底座。检测器与试样底座间隔开。位于试样底座和检测器之间的是具有孔的局部电极。激光器取向为以相对于孔平面的非零度角向试样底座发射激光束，所述孔平面取向为与在试样底座和检测器之间通过孔而限定的离子传播路径垂直。

公开(公告)号：CN1820347A

公开(公告)日：2006-08-16

申请号：CN200480019446.3

申请日：2004-05-26

Applicant: 成像科学仪器公司

Inventor： 泰伊·特拉维斯·格里布

IPC: H01J37/285 ,  G01N25/00

CPC classification number: H01J37/285 ,  B82Y15/00 ,  H01J37/05 ,  H01J37/10 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/0492 ,  H01J2237/053 ,  H01J2237/244

Abstract: 一种原子探针包括处于其本地电极以及其探测器之间的一个或多个中间电极，其中中间电极被充电到某个电势，使得它们过滤假离子并阻止它们到达探测器，和/或调节(聚焦)离子的飞行圆锥体以具有更窄或更宽的角度，从而调节原子探针所提供的图像的放大倍数和视场。优选配置在于同时提供过滤电极和聚焦电极，它们可相对于彼此活动并且可以套管式集成，以便某个范围的过滤和聚焦效应。

公开(公告)号：CN113169016B

公开(公告)日：2025-05-13

申请号：CN201980079910.4

申请日：2019-12-06

Applicant: 盛达欧米科有限公司

Inventor： 彼得·阿曼 ,  安德斯·尼尔森

IPC: H01J37/285 ,  G01N23/2273

Abstract: 描述了一种用于监测放置在样品区域(2)中的样品(1)的样品表面(Ss)处的样品压力的方法，其中样品表面(Ss)面对位于壁(6)中的孔(3)，该壁将样品区域(2)与被抽真空的低压腔室(4)分隔开。该方法包括以下步骤：确定样品表面(Ss)处的样品参考压力与低压腔室(4)中的腔室参考压力之间的关系；将样品(1)设置成使样品表面(Ss)在距孔(3)一段距离处面对孔(3)(103)；提供样品压力(104)；测量低压腔室(4)内的腔室压力(105)；以及使用测得的腔室压力以及所确定的样品参考压力和腔室参考压力之间的关系来确定样品压力(106)。

公开(公告)号：CN113169016A

公开(公告)日：2021-07-23

申请号：CN201980079910.4

申请日：2019-12-06

Applicant: 盛达欧米科有限公司

Inventor： 彼得·阿曼 ,  安德斯·尼尔森

IPC: H01J37/285 ,  G01N23/2273

Abstract: 描述了一种用于监测放置在样品区域(2)中的样品(1)的样品表面(Ss)处的样品压力的方法，其中样品表面(Ss)面对位于壁(6)中的孔(3)，该壁将样品区域(2)与被抽真空的低压腔室(4)分隔开。该方法包括以下步骤：确定样品表面(Ss)处的样品参考压力与低压腔室(4)中的腔室参考压力之间的关系；将样品(1)设置成使样品表面(Ss)在距孔(3)一段距离处面对孔(3)(103)；提供样品压力(104)；测量低压腔室(4)内的腔室压力(105)；以及使用测得的腔室压力以及所确定的样品参考压力和腔室参考压力之间的关系来确定样品压力(106)。

公开(公告)号：CN112908809A

公开(公告)日：2021-06-04

申请号：CN202110323708.0

申请日：2021-03-26

Applicant: 大束科技(北京)有限责任公司

Inventor： 郝占海 ,  蔡素枝 ,  陆梁

IPC: H01J9/02 ,  H01J37/04 ,  H01J37/073 ,  H01J37/285

Abstract: 本发明公开了一种发射针形成方法、发射针、电子源及电子显微镜，涉及电子显微镜技术领域，发射针形成方法包括将直径为0.1‑0.5mm的柱形体的部分置入电化学腐蚀液中，向电化学腐蚀液中通入第一电流，柱形体与电化学腐蚀液发生电化学腐蚀，直至柱形体靠近电化学腐蚀液液面的位置断开形成上下两段；将上段柱形体的断开处置入电化学腐蚀液的液面以下，向电化学腐蚀液通入第二电流，第一电流的强度大于第二电流的强度，上段柱形体的断开处与带电流的电化学腐蚀液n次接触，n为大于或等于0的正整数，直至断开处的端面形成半径大小为0.1‑0.3um的圆滑表面。如此设置，将存在凹凸不平处和微裂纹的部分腐蚀掉，形成圆滑表面，电子发射过程会更加均匀和稳定。

公开(公告)号：CN107435138A

公开(公告)日：2017-12-05

申请号：CN201710197279.0

申请日：2017-03-29

Applicant: 住友化学株式会社

Inventor： 伊藤丰 ,  竹中幸子

IPC: C23C16/40 ,  H01L51/52 ,  H01L51/56 ,  H01J37/244 ,  H01J37/285

CPC classification number: H01L51/5253 ,  B05D1/005 ,  B05D3/067 ,  C23C16/401 ,  C23C16/402 ,  C23C16/509 ,  H01J37/244 ,  H01J37/285 ,  H01L51/0097 ,  H01L51/56 ,  H01L2251/303 ,  Y02E10/549 ,  Y02P70/521

Abstract: 本发明提供能够以更高水准防止水蒸气透过的层叠膜。该层叠膜是在树脂基材上至少层叠有气体阻隔层和无机聚合物层的层叠膜，无机聚合物层的利用截面的透射式电子显微镜图像按照以下的(a)～(d)的步骤算出的Y值为0.220以下。(a)算出无机聚合物层的电子束未照射部的对比度的标准偏差(σ)。(b)将无机聚合物层的电子束照射部沿膜厚方向以成为均等膜厚的方式分割成20份，算出各分割部的对比度的标准偏差(σn:第n分割份的标准偏差，n＝1～20)。(c)通过式(1)算出各分割部的Xn(n＝1～20)。Xn＝σn/σ(n＝1～20)···(1)(d)将X3～X18的标准偏差设为Y。

公开(公告)号：CN110945340A

公开(公告)日：2020-03-31

申请号：CN201880046677.5

申请日：2018-07-04

Applicant: 马丁·安德森 ,  马茨·胡兰德 ,  古斯塔夫·森德尔

Inventor： 马丁·安德森 ,  马茨·胡兰德 ,  古斯塔夫·森德尔

IPC: G01N1/36 ,  G01N23/046 ,  H01J37/285 ,  B81B1/00

Abstract: 本发明涉及测定生物分子例如蛋白质、蛋白质片段和肽三维结构的方法。将生物分子包封在无定形硅石基质中，由此制备针状样品。然后，将原子探针断层成像用于分析针状样品，并将数据用于重构生物分子的三维结构。本发明非常便于生物分子的三维结构的测定。

公开(公告)号：CN109087839B

公开(公告)日：2020-01-10

申请号：CN201810800873.9

申请日：2018-07-20

Applicant: 姚智伟

Inventor： 姚智伟 ,  孙泳海

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J37/304 ,  G01T1/29

Abstract: 一种用于测试和标定场发射电子源阵列的场发射显微镜系统，该系统的连接关系是：主光源通过半反射镜片和电机驱动镜与副光源共同产生光源照明；在光路子系统中，图像依次经过玻璃真空腔壁、电机驱动镜头和半反射镜片产生目镜图像；高速摄像机生成高帧率图像和低帧率图像；低帧率图像通过图像处理软生成对焦控制信号用于控制电机驱动镜头以提高图像的清晰度；同步控制器产生摄像机控制信号、电流采集控制信号和电源控制信号，用以控制高速摄像机，脉冲高压电源和高速电流采集；脉冲高压电源在图像记录部件中的场发射电子源和透明导电层之间施加高压脉冲，并产生场发射电流；高速电流采集将场发射电流数字化产生电流数据。

公开(公告)号：CN109087839A

公开(公告)日：2018-12-25

申请号：CN201810800873.9

申请日：2018-07-20

Applicant: 姚智伟

Inventor： 姚智伟 ,  孙泳海

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/285 ,  H01J37/304 ,  G01T1/29

Abstract: 一种用于测试和标定场发射电子源阵列的场发射显微镜系统，该系统的连接关系是：主光源通过半反射镜片和电机驱动镜与副光源共同产生光源照明；在光路子系统中，图像依次经过玻璃真空腔壁、电机驱动镜头和半反射镜片产生目镜图像；高速摄像机生成高帧率图像和低帧率图像；低帧率图像通过图像处理软生成对焦控制信号用于控制电机驱动镜头以提高图像的清晰度；同步控制器产生摄像机控制信号、电流采集控制信号和电源控制信号，用以控制高速摄像机，脉冲高压电源和高速电流采集；脉冲高压电源在图像记录部件中的场发射电子源和透明导电层之间施加高压脉冲，并产生场发射电流；高速电流采集将场发射电流数字化产生电流数据。