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发明公开
반도체 소자의 웨이퍼 린스 방법 无效
Title translation: 半导体器件的晶片冲洗方法

公开(公告)号：KR1019980012011A

公开(公告)日：1998-04-30

申请号：KR1019960030161

申请日：1996-07-24

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 박임수 , 이문희 , 정승필 , 조용준

IPC: H01L21/304

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