반도체 소자 및 그 제조방법
    64.
    发明公开
    반도체 소자 및 그 제조방법 审中-实审
    半导体器件及其形成方法

    公开(公告)号:KR1020160087968A

    公开(公告)日:2016-07-25

    申请号:KR1020150006915

    申请日:2015-01-14

    Abstract: 반도체소자의제조방법은, 기판상에마스크패턴들을형성하는것, 상기기판상에상기마스크패턴들을덮는보조막을형성하는것, 상기보조막을이방성식각하여상기마스크패턴들의측벽들상에보조패턴들을형성하는것, 상기마스크패턴들및 상기보조패턴들을식각마스크로상기기판을식각하여, 활성패턴들을정의하는트렌치를형성하는것을포함한다.

    Abstract translation: 半导体器件的制造方法包括以下步骤:在衬底上形成掩模图案; 在基板上形成覆盖掩模图案的子膜; 各向异性地蚀刻子膜以在掩模图案的侧壁上形成子图案; 并通过蚀刻掩模蚀刻衬底的掩模图案和子图案以形成限定有源图案的沟槽。 因此,该方法可以容易地制造具有优异可靠性的半导体器件。

    질화물계 반도체 장치
    68.
    发明公开
    질화물계 반도체 장치 审中-实审
    基于氮化物的半导体器件

    公开(公告)号:KR1020150011238A

    公开(公告)日:2015-01-30

    申请号:KR1020130086270

    申请日:2013-07-22

    Inventor: 이재훈 박찬호

    Abstract: 질화물계 반도체 장치가 개시된다. 상기 질화물계 반도체 장치는 기판 상에 형성되며, 제1 도전형의 제1 반도체층, 상기 제1 반도체층 상에 형성된 제2 도전형의 제2 반도체층, 상기 제2 반도체층 상에 형성된 상기 제1 도전형의 제3 반도체층, 및 기 제3 반도체층 상에 형성된 상기 제2 도전형의 제4 반도체층을 포함하는 배리어 구조물; 상기 배리어 구조물 상에 형성되며, 내부에 2차원 전자가스(2-Dimensional Electron Gas, 2DEG) 채널을 형성하는 질화물 반도체층; 및 상기 질화물 반도체층 상에 형성되며, 서로 이격된 소스 전극, 드레인 전극 및 게이트 전극;을 포함한다.

    Abstract translation: 公开了一种氮化物类半导体器件。 氮化物系半导体器件包括:阻挡结构,其形成在基板上,并且包括第一导电型的第一半导体层,形成在第一半导体层上的第二导电型的第二半导体层,第三半导体 形成在第二半导体层上的第一导电类型的层和形成在第三半导体层上的第二导电类型的第四半导体层; 氮化物半导体层,其形成在所述阻挡结构上,并且在内部包括二维电子气体(2DEG)通道; 以及形成在氮化物半导体层上并分开布置的源极,漏极和栅电极。

    탄소 코팅 형성 방법
    69.
    发明公开
    탄소 코팅 형성 방법 审中-实审
    形成碳涂层的方法

    公开(公告)号:KR1020140110703A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:KR1020130121468

    申请日:2013-10-11

    Abstract: The present invention provides a method for forming carbon coating. The method includes a step of heating lithium transition metal complex oxide presented by chemical formula 2, Li_(0.9+a)M_bM′_c N_dO_e, with a compound presented by chemical formula 1-1, C_nH_(2n+2-a)[OH]_a, where n is 1 to 20 and a is 0 or 1, or with a compound presented by chemical formula 1-2, C_nH_(2n), where n is 2 to 6 in an atmosphere of a gas mixture containing carbon oxide. According to the present invention, the compound presented by chemical formula 1-1 or the compound presented by chemical formula 1-2 is methane (CH_4), ethylene, propylene, methanol, ethanol, propanol, or a combination of those. The gas mixture additionally includes water vapor and inert gas selected from nitrogen, helium, argon, and a combination of those.

    Abstract translation: 本发明提供一种形成碳涂层的方法。 该方法包括用化学式2,Li_(0.9 + a)M_bM'_c N_dO_e呈现的锂过渡金属复合氧化物与化学式1-1给出的化合物C_nH_(2n + 2-a)[OH 其中n为1至20,a为0或1,或与化学式1-2所示的化合物C_nH_(2n),其中n为2至6,在含有碳氧化物的气体混合物的气氛中。 根据本发明,由化学式1-1表示的化合物或由化学式1-2表示的化合物是甲烷(CH_4),乙烯,丙烯,甲醇,乙醇,丙醇或它们的组合。 气体混合物还包括水蒸气和选自氮气,氦气,氩气的惰性气体,以及它们的组合。

    고 전자이동도 트랜지스터 소자
    70.
    发明公开
    고 전자이동도 트랜지스터 소자 审中-实审
    高电子移动晶体管器件

    公开(公告)号:KR1020140110616A

    公开(公告)日:2014-09-17

    申请号:KR1020130025250

    申请日:2013-03-08

    Abstract: The present invention relates to a high electron mobility transistor device. The device includes a buffer layer formed on a substrate; a face-inversion layer formed on a part of the buffer layer; semiconductor layers formed on the face-inversion layer and the buffer layer; and a source electrode, a drain electrode, and a gate electrode formed on the semiconductor layers. The high electron mobility transistor device has a stable normally off characteristic.

    Abstract translation: 本发明涉及高电子迁移率晶体管器件。 该装置包括形成在基板上的缓冲层; 形成在缓冲层的一部分上的面反转层; 形成在面反转层和缓冲层上的半导体层; 以及形成在半导体层上的源电极,漏电极和栅电极。 高电子迁移率晶体管器件具有稳定的常关特性。

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