公开(公告)号：KR1020020016236A

公开(公告)日：2002-03-04

申请号：KR1020000049447

申请日：2000-08-25

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신형재 ,  권순철 ,  이상훈

IPC: G02B26/08

Abstract: PURPOSE: An apparatus for driving a micro mirror and a fabrication method thereof are provided, which reduces a size of a device and makes a rotation driving easily. CONSTITUTION: The apparatus comprises a substrate(31), a driving coil(30), a magnetic body(32), an anchor(35), a bending spring(34) and a micro mirror(33). All of the above components are formed on one substrate using a micro machining technology including a plating, a sputtering and a photo lithography process. The magnetic body is attached on a bottom of the micro mirror, and the bending spring is attached on both sides of the micro mirror. And the coil is formed spirally around the micro mirror. The bending spring is supported by the anchor formed on the substrate, and therefore the micro mirror is supported by being separated from the substrate by the anchor by intermediating the anchor. The micro mirror is formed with an aluminum having a high reflectivity and a low cost, and the magnetic body is formed to coincide with an area of the micro mirror with a permalloy.

Abstract translation: 目的：提供一种用于驱动微反射镜的装置及其制造方法，其减小了装置的尺寸并且容易地进行旋转驱动。 构成：该装置包括基板（31），驱动线圈（30），磁体（32），锚固件（35），弯曲弹簧（34）和微反射镜（33）。 使用包括电镀，溅射和光刻工艺的微加工技术，在一个基板上形成所有上述部件。 磁体安装在微反射镜的底部，弯曲弹簧安装在微反射镜的两侧。 线圈围绕微镜螺旋形成。 弯曲弹簧由形成在基板上的锚固件支撑，因此微反射镜通过锚固件通过锚与基板分离而被支撑。 微反射镜由具有高反射率和低成本的铝形成，并且磁体形成为与坡莫合金与微反射镜的区域一致。

公开(公告)号：KR1020010109866A

公开(公告)日：2001-12-12

申请号：KR1020000030582

申请日：2000-06-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 권순철 ,  신형재

IPC: G02B26/10

Abstract: 기판과; 기판의 상면에 형성된 복수의 어드레스전극과; 이 어드레스전극 주변에 마련된 바이어스전극과; 바이어스 전극에 인가된 전압에 의해 소정 전압이 인가되는 마이크로미러와; 마이크로미러를 회동가능하게 지지하는 지지수단;을 포함하여, 어드레스전극과 마이크로미러에 인가되는 전위차에 의해 발생되는 정전인력에 의해 마이크로미러가 회동되도록 된 마이크로미러 디바이스가 개시되어 있다.
이 개시된 마이크로미러 디바이스는, 마이크로미러가 어드레스전극과의 정전인력에 의하여 기판 쪽으로 기울어질 때 접촉되도록 어드레스전극 주변에 마련되며, 마이크로미러에 인가되는 전압과 동일 전압이 인가되는 랜딩전극을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 정전인력에 의한 마이크로미러의 구동시, 점착 및 브레이크다운 현상을 방지할 수 있다.

公开(公告)号：KR1020010102591A

公开(公告)日：2001-11-16

申请号：KR1020000023270

申请日：2000-05-01

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신종우 ,  권순철 ,  신형재

IPC: G02B27/18

CPC classification number: G02B26/0841

Abstract: 각 화소에 대응되게 마련된 미러를 회전 구동함에 의하여 입사광의 진행경로를 변환시킬 수 있도록 된 것으로, 각 미러의 변 방향으로 미러를 구동하여 광효율을 높일 수 있도록 된 화상표시장치용 마이크로미러 디바이스가 개시되어 있다.
이 개시된 디바이스는, 기판과; 기판 상에 마련된 랜딩 패드와; 랜딩 패드의 양측변 각각에 마련된 한 쌍의 베이스전극과; 상호 소정 간격 이격된 채로 랜딩패드 상면에 돌출 형성된 한 쌍의 제1포스트와; 한 쌍의 제1포스트에 의해 지지되며, 정전인력에 의해 베이스전극의 변 방향으로 회동가능하게 배치된 거더와; 거더 상에 돌출 형성된 제2포스트와; 제2포스트에 의해 지지되며, 그 일면에 입사된 광을 반사시키고 랜딩패드를 통해 전원을 인가받는 미러;를 포함하여 베이스전극과 미러 사이의 정전인력에 의해 미러가 랜딩패드의 변 방향으로 회동되도록 된 것을 특징으로 한다.

公开(公告)号：KR100311032B1

公开(公告)日：2001-11-02

申请号：KR1019990047514

申请日：1999-10-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 진대제 ,  신형재 ,  이상훈

IPC: G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841 ,  Y10S359/904

Abstract: 기판과; 기판상에형성된어드레스전극과; 기판에대해소정간격이격된채로마주하도록배치된마이크로미러;를포함하여, 어드레스전극과마이크로미러사이의정전인력에의해마이크로미러의기울기를조절할수 있도록된 마이크로미러가동장치가개시되어있다. 이개시된마이크로미러가동장치는, 기판상에돌출형성되며, 상부가마이크로미러의주변에위치되는보조전극을포함하여, 마이크로미러가정전인력에의해일 방향으로기울어진경우에도마이크로미러와보조전극사이의간격이좁게유지되어, 복원시보조전극의정전력에의해복원될수 있도록된 것을특징으로한다.

公开(公告)号：KR1020010001338A

公开(公告)日：2001-01-05

申请号：KR1019990020484

申请日：1999-06-03

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신종우 ,  김운배 ,  신형재 ,  연철성

IPC: H01F5/00

Abstract: PURPOSE: A manufacturing method of a thin film depositing type microcoil is provided to easily deposit coils of two or more layers while keeping a flatness. CONSTITUTION: A plating base layer is formed on a substrate(111). The plating base layer is patterned correspondingly to the shape of a coil(121`) to be plated. A mold is spread on the patterned plating base layer(115`) to a predetermined height. The mold is patterned to form a plating mold(119`). A metal is plated in the plating mold(119`) to form a coil(121`) having a predetermined thickness. An insulating layer(123) is formed on the plating mold(119`) and the coil(121`). A plating base layer(125) is formed on the insulating layer. The plating base layer is patterned correspondingly to the shape of a coil(131) to be plated. A mold is spread on the patterned plating base layer(125`) and patterned to form a plating mold. A metal is plated in the plating mold(129) to form a coil(131) having a predetermined thickness. The plating mold is subjected to a heat treatment.

Abstract translation: 目的：提供薄膜沉积型微线圈的制造方法，以容易地在保持平坦度的同时沉积两层或更多层的线圈。 构成：在基板（111）上形成电镀基层。 电镀基层对应于待镀覆的线圈（121'）的形状。 模具在图案化电镀底层（115`）上扩展到预定高度。 将模具图案化以形成电镀模具（119`）。 金属被镀在电镀模具（119`）中以形成具有预定厚度的线圈（121`）。 在电镀模具（119`）和线圈（121`）上形成绝缘层（123）。 在绝缘层上形成电镀基层（125）。 电镀基层对应于待镀覆的线圈（131）的形状。 将模具铺展在图案化电镀基底层（125'）上，并图案化以形成电镀模具。 将金属镀在电镀模具（129）中以形成具有预定厚度的线圈（131）。 对电镀模具进行热处理。

公开(公告)号：KR100255232B1

公开(公告)日：2000-05-01

申请号：KR1019970003416

申请日：1997-02-04

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 신형재

IPC: H04N5/72

Abstract: PURPOSE: An optical path conversion minute mirror driving device for displaying a projection video and a manufacturing method thereof are provided to move the minute mirror at a determined angle, and to convert a light projected by providing a minute mirror asymmetrical to electrode, and by using a restoration moment by static electricity and gravity. CONSTITUTION: A minute mirror driving device is largely composed of a minute mirror(20) which converts and reflects a light projected and electrodes(25,26) which induce static electricity. A support plate(22) is formed in the lower end of a support(21). A penetration hole(24) is formed in the part of a circuit board(23) in order that a driving circuit board(23) may insert the support(21) and the support plate(22). A basic electrode(25) which drives the minute mirror(20) is formed inside of the penetration hole(24). A driving electrode(26) corresponded to the basic electrode(25) is compounded with the circuit board(23). A silicone nitride layer(27) is formed between the basic electrode(25) and the driving electrode(26).

Abstract translation: 目的：提供一种用于显示投影视频的光路转换微镜驱动装置及其制造方法，用于以确定的角度移动分光镜，并将通过提供不对称的微小镜投影的光转换为电极，并且通过使用 静电和重力的恢复时刻。 构成：分钟镜驱动装置主要由转换和反射光投射的微镜（20）和引起静电的电极（25,26）组成。 支撑板（22）形成在支撑件（21）的下端。 在电路板（23）的一部分中形成贯通孔（24），以便驱动电路板（23）可插入支撑件（21）和支撑板（22）。 驱动分光镜（20）的基本电极（25）形成在贯通孔（24）的内部。 与基极（25）对应的驱动电极（26）与电路基板（23）复合。 在碱性电极（25）和驱动电极（26）之间形成硅氮化物层（27）。

公开(公告)号：KR1020000015483A

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR1019980035416

申请日：1998-08-29

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 이연호 ,  신형재 ,  윤용섭

IPC: G02B5/20

Abstract: PURPOSE: A color filter wheel system and color image formation apparatus are provided to improve brightness of screen and performance of a color wheel. CONSTITUTION: The system comprises a drive source, a color wheel having a plurality of color filters selectively penetrating an incident light from a predetermined light source according to wave length, reflecting a part of the incident light and revolvable driving by the drive source, and a reflection mirror disposed to face with the color wheel and being incident the light reflected from the color filter as the other color filter.

Abstract translation: 目的：提供滤色轮系和彩色图像形成装置，以提高屏幕的亮度和色轮的性能。 构成：该系统包括驱动源，具有多个滤色器的色轮，该彩色滤光片根据波长选择性地穿透来自预定光源的入射光，反射入射光的一部分并且由驱动源反射可旋转驱动， 反射镜设置为与色轮相对并且入射从滤色器反射的光作为另一滤色器。

公开(公告)号：KR200168498Y1

公开(公告)日：2000-02-01

申请号：KR2019970029778

申请日：1997-10-27

Applicant: 삼성전자주식회사

Inventor： 강성우 ,  최형 ,  신형재 ,  김승환

IPC: H04R17/02

Abstract: 본 고안은 초소형 정밀가공기술을 이용하여 각 음파방사박막들을 격자형태로 원하는 갯수만큼 실리콘웨이퍼상에 한꺼번에 형성하여 스피커의 크기를 소형화하고 제작성을 향상한 박막형 초음파발생트랜스듀서에 관한 것으로, 전기적으로 그라운드되어 있고, 상면부에 차단층이 형성된 실리콘웨이퍼; 상기 실리콘웨이퍼상에 수직입설형성되는 간격유지부재들; 상기 실리콘웨이퍼와 평행하게 소정간격 상향이격되어 상기 간격유지부재들에 의해 지지고정되며, 음의 바이어스전압이 걸리는 방사박막; 및 상기 음파방사판과 대향하는 상기 실리콘웨이퍼의 차단층상에 형성돼 재생시키고자 하는 초음파신호가 인가되면, 음의 바이어스전압이 걸린 방사박막과 정전력을 유발시켜 상기 방사박막을 진동시키는 양전극층을 포함하며, 이러한 본 고안의 박막형 초음파 발생 트랜스듀서는 초소형 정밀가공기술을 이용하여 각 음파방사박막들을 격자형태로 원하는 갯수만큼 실리콘웨이퍼상에 한꺼번에 형성하므로 스피커의 크기를 소형화하고 제작성을 향상할 수 있다.