KR102235578B1 - Semiconductor device and the method for fabricating thereof

    公开(公告)号:KR102235578B1

    公开(公告)日:2021-04-02

    申请号:KR1020140161943A

    申请日:2014-11-19

    Abstract: 반도체 장치 및 그 제조 방법이 제공된다. 상기 반도체 장치는, 제1 방향으로 연장되어 형성되는 액티브 핀, 액티브 핀 상에 형성되고, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 게이트, 액티브 핀의 상부에 형성되고, 게이트의 일측에 배치되는 소오스 또는 드레인, 게이트와 소오스 또는 드레인을 덮는 층간 절연막, 층간 절연막을 관통하여 소오스 또는 드레인과 연결되고, 제1 콘택 영역과 제1 콘택 영역의 하부에 위치하는 제2 콘택 영역을 포함하는 소오스 또는 드레인 콘택 및 제1 콘택 영역과 층간 절연막 사이에 형성되는 스페이서막을 포함하되, 제1 콘택 영역의 제1 방향 폭과 제2 콘택 영역의 제1 방향 폭은, 제1 콘택 영역과 제2 콘택 영역의 경계에서 서로 다르다.

    반도체 웨이퍼를 가열하기 위한 베이크 장치
    2.
    发明公开
    반도체 웨이퍼를 가열하기 위한 베이크 장치 无效
    烘烤半导体波长的装置

    公开(公告)号:KR1020070046303A

    公开(公告)日:2007-05-03

    申请号:KR1020050102828

    申请日:2005-10-31

    Inventor: 강성우

    Abstract: 반도체 웨이퍼를 가열하기 위한 베이크 장치는 반도체 웨이퍼가 놓여지고, 상기 반도체 웨이퍼를 가열하는 플레이트와, 저부에 상기 플레이트를 수용하고, 상기 반도체 웨이퍼를 가열할 때 외부로부터 밀폐되는 공간을 제공하는 챔버를 포함한다. 그리고, 상기 베이크 장치는 상기 챔버 내부의 상단 일측에 설치되고, 상기 플레이트에 상기 반도체 웨이퍼가 놓여질 때 상기 반도체 웨이퍼가 놓여지는 위치를 감지하는 센서를 포함한다. 아울러, 상기 베이크 장치는 상기 센서와 연결되는 제어부를 포함한다. 이에 따라, 상기 센서로부터 신호를 입력받아 상기 플레이트로 상기 반도체 웨이퍼를 이송하는 이송 부재를 제어할 수 있다.

    반응 질량체 듀얼-스테이지 액츄에이터 및 센서
    3.
    发明授权
    반응 질량체 듀얼-스테이지 액츄에이터 및 센서 失效
    反应质量双级执行器DSA和传感器

    公开(公告)号:KR100652372B1

    公开(公告)日:2006-11-30

    申请号:KR1020030028177

    申请日:2003-05-02

    Inventor: 단블릭 강성우

    CPC classification number: G11B5/5552

    Abstract: 개시된 하드 디스크 드라이브는 드라이브의 액츄에이터 아암을 이동시키고 그 가속을 감지할 수 있는 반응 질량체 및 트랜스듀서를 가진다. 트랜스듀서는 반응 질량체의 움직임을 유도하는 출력신호를 제공할 수 있는 디스크 컨트롤러와 연결된다. 반응 질량체의 움직임은 액츄에이터 아암에 연결된 헤드의 민감한 움직임을 야기한다. 트랜스듀서는 상기 액츄에이터 아암의 가속에 상당하여 입력 신호를 상기 컨트롤러로 제공할 수도 있다. 가속 신호는 드라이브의 서보 시스템용 힘 피드백을 제공할 수 있다.

    딜레이를 수용하는 상태 추정기를 이용하는 서보 제어 방법및 그 방법이 적용된 하드 디스크 드라이브
    4.
    发明公开
    딜레이를 수용하는 상태 추정기를 이용하는 서보 제어 방법및 그 방법이 적용된 하드 디스크 드라이브 失效
    伺服控制器方法和应用程序用于使用延迟存取位置估计器的硬盘驱动器

    公开(公告)号:KR1020060048890A

    公开(公告)日:2006-05-18

    申请号:KR1020050069144

    申请日:2005-07-28

    CPC classification number: G11B5/5547 G11B5/596

    Abstract: 본 발명은 하드디스크 드라이브에서 적어도 보이스 코일 액츄에이터의 보이스코일을 동작시키는 서보 콘트롤러에 관한 것이다.
    본 발명은 하드 디스크 드라이브의 적어도 보이스코일 모터를 위한 서보 콘트롤러에 적용된다. 오늘날, 많은 제어 알고리즘은 다음 제어를 계산하는데 샘플링 주기의 80~90 퍼센트를 요구하고, 그에따라 계산 시간 딜레이는 더이상 무시할 수 없는 것이 되었다.
    본 발명은 연산 시간 딜레이와 같은 전송 딜레이를 상태 추정기 및 전체 시스템에 수용한다.
    시뮬레이션 결과 뿐만 아니라, 시판되는 하드 드라이브를 사용한 실험 결과는 본 발명의 방법이 위상 마진과 이득 마진을 증가시킴으로써 하드 디스크 드라이브 제어 시스템의 안정성을 효과적으로 향상시킨다는 것을 보여준다.
    본 발명은 서보 콘트롤러를 동작시키는 방법 뿐만 아니라, 그 방법을 구현하는 장치를 포함한다. 본 발명은 또한 본 발명의 방법을 구현하는 서보 콘트롤러를 구비하는 하드 디스크 드라이브를 포함하고, 본 발명의 방법을 구현하는 서보 콘트롤러안에서 컴퓨터에 접근 가능하게 연결된 메모리에 상주하는 프로그램 시스템을 포함한다.

    하드 디스크 드라이브에서의 슬라이더 이동 장치 및 방법
    5.
    发明公开
    하드 디스크 드라이브에서의 슬라이더 이동 장치 및 방법 失效
    机构和方法,用于在HDD中移动滑动器,能够减少由HDD中的碟形振动引起的关闭轨道运动

    公开(公告)号:KR1020050007203A

    公开(公告)日:2005-01-17

    申请号:KR1020040053779

    申请日:2004-07-10

    CPC classification number: G11B5/59627

    Abstract: PURPOSE: A slider moving mechanism and a method thereof are provided to move a slider in parallel with a disc when a disc surface is flat, and to move a slider along a track when a disc is bent. CONSTITUTION: The mechanism comprises a suspension adhered to a base plate(70) including two points for contacting a flexure(90) to a load beam(80). In case that a line between the contact points is not vertical to a main axis(110), a motion trajectory of the flexure(90) induced from a vibration of a disc axis is on a tilted curve. Accordingly, the mechanism moves a slider in parallel with a disc surface when the disc surface is flat, and it moves the slider along a track when the disc surface is bent.

    Abstract translation: 目的:提供一种滑动器移动机构及其方法,以在盘表面平坦时与盘平行地移动滑块,并且当盘弯曲时沿着轨道移动滑块。 构成:该机构包括悬挂在基板(70)上的悬架,该悬架包括用于将挠曲件(90)接触负载梁(80)的两个点。 在接触点之间的线不垂直于主轴线(110)的情况下,由盘轴的振动引起的挠曲件(90)的运动轨迹呈倾斜曲线。 因此,当盘表面平坦时,机构平行于盘表面移动滑动件,并且当盘表面弯曲时,滑块沿着轨道移动。

    디스크 드라이브에서의 보이스 코일 제어 메커니즘 및제어 방법과 이를 이용한 디스크 드라이브 제작 방법
    6.
    发明公开
    디스크 드라이브에서의 보이스 코일 제어 메커니즘 및제어 방법과 이를 이용한 디스크 드라이브 제작 방법 失效
    用于控制盘驱动器中的声音线圈的机构和方法以及通过使用相同的控制机构和方法来生产碟片驱动器的方法,能够减少由盘驱动器中的碟形振动引起的关闭轨道运动

    公开(公告)号:KR1020050007202A

    公开(公告)日:2005-01-17

    申请号:KR1020040053778

    申请日:2004-07-10

    CPC classification number: G11B5/4833 G11B5/4826 G11B5/5552 G11B5/596

    Abstract: PURPOSE: A voice coil controlling mechanism, a method thereof, and a disc drive producing method are provided to design a servo mechanism for varying a gain within a range of a disc vibration frequency, and to design a mechanism of a disc drive for having a TMR(Track Mis-Registration) reducing mechanism. CONSTITUTION: The controlling mechanism comprises an actuator assembly(30), a disc drive controller(1000), an analog read-write interface(220), and a servo controller(240). In a case that a current is supplied for a voice coil(32) of the actuator assembly(30), an actuator of the actuator assembly(30) is rotated. The disc drive controller(1000) communicates unique resistance value, extracted from a spin value within a read-write head, via the analog read-write interface(220) which includes a free amplifier(224) and a channel interface(222). The channel interface(222) receives instructions from the disc drive controller(1000), and supplies a PES for the servo controller(240) to make the read-write head access a data track.

    Abstract translation: 目的:提供一种音圈控制机构及其制造方法和盘驱动器的制造方法,以设计用于改变在盘振动频率范围内的增益的伺服机构,并且设计用于具有 TMR(跟踪注册)减少机制。 构成:控制机构包括致动器组件(30),盘驱动器控制器(1000),模拟读写接口(220)和伺服控制器(240)。 在为致动器组件(30)的音圈(32)提供电流的情况下,致动器组件(30)的致动器旋转。 磁盘驱动器控制器(1000)经由包括自由放大器(224)和通道接口(222)的模拟读写接口(220)传送从读写头内的自旋值提取的唯一电阻值。 通道接口(222)从盘驱动器控制器(1000)接收指令,并提供用于伺服控制器(240)的PES,以使读写头访问数据轨道。

    층간절연막의 개구부 형성 방법
    7.
    发明公开
    층간절연막의 개구부 형성 방법 无效
    形成中间层介质开放部分的方法

    公开(公告)号:KR1020030039184A

    公开(公告)日:2003-05-17

    申请号:KR1020010070141

    申请日:2001-11-12

    Inventor: 강성우

    Abstract: PURPOSE: A method for forming an opening portion of an interlayer dielectric is provided to prevent the recess of an isolating layer pattern by using an etching recipe having a slow etching speed. CONSTITUTION: After forming an isolating layer pattern(110) on a semiconductor substrate(100), an interlayer dielectric made of a lower insulation layer and an upper insulation layer. An upper opening portion(132) is formed in the upper insulation layer by using the first etching recipe for exposing the lower insulation layer. Then, a lower opening portion(127) is formed in the lower insulation layer by using the second etching recipe for exposing the semiconductor substrate(100). Preferably, the etching speed of the second etching recipe is slower than that of the first etching recipe, thereby preventing the recess of the isolating layer pattern(110).

    Abstract translation: 目的:提供一种用于形成层间电介质的开口部分的方法,以通过使用具有缓慢蚀刻速度的蚀刻配方来防止隔离层图案的凹陷。 构成:在半导体衬底(100)上形成绝缘层图案(110)之后,由下绝缘层和上绝缘层制成的层间电介质。 通过使用用于暴露下绝缘层的第一蚀刻配方,在上绝缘层中形成上开口部分(132)。 然后,通过使用用于使半导体衬底(100)露出的第二蚀刻配方,在下绝缘层中形成下开口部分(127)。 优选地,第二蚀刻配方的蚀刻速度比第一蚀刻配方的蚀刻速度慢,从而防止隔离层图案(110)的凹部。

    도플러 저역음향 재생장치
    8.
    发明授权
    도플러 저역음향 재생장치 失效
    低频带声发射装置多普勒效应

    公开(公告)号:KR100233548B1

    公开(公告)日:1999-12-01

    申请号:KR1019970048667

    申请日:1997-09-25

    Inventor: 강성우

    Abstract: 개시된 내용은 디지탈 신호처리된 저역음향신호를 고음용 소형스피커에 출력하여, 의도적으로 도플러현상을 발생시킴으로써 저음을 생성시키는 도플러 저역음향 재생장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는, 신호처리를 위해 아날로그 음향신호를 디지탈신호로 변환하는 A/D변환기, 변환된 저역음향 디지탈신호를 고역의 주파수대로 전환시키는 주파수전환기, 도플러현상에 의한 재생음향의 감소 정도를 음향재생이전에 보상하는 보상기, 디지탈신호를 일정한 개수만큼 분배하는 분배기, 분배된 디지탈신호를 아날로그신호로 변환하는 D/A변환기, 및 음향을 재생하는 스피커를 포함한다. 따라서, 본 발명은 기존의 대형스피커와 인클로우저박스를 사용하지 않고, 고음용 소형스피커만을 사용하여 효과적으로 저음을 재생하는 효과를 제공한다.

    박막형 초음파발생트랜스듀서
    9.
    实用新型
    박막형 초음파발생트랜스듀서 失效
    薄膜超声波换能器

    公开(公告)号:KR2019990016377U

    公开(公告)日:1999-05-25

    申请号:KR2019970029778

    申请日:1997-10-27

    Abstract: 본 고안은 초소형 정밀가공기술을 이용하여 각 음파방사박막들을 격자형태로 원하는 갯수만큼 실리콘웨이퍼상에 한꺼번에 형성하여 스피커의 크기를 소형화하고 제작성을 향상한 박막형 초음파발생트랜스듀서에 관한 것으로, 전기적으로 그라운드되어 있고, 상면부에 차단층이 형성된 실리콘웨이퍼; 상기 실리콘웨이퍼상에 수직입설형성되는 간격유지부재들; 상기 실리콘웨이퍼와 평행하게 소정간격 상향이격되어 상기 간격유지부재들에 의해 지지고정되며, 음의 바이어스전압이 걸리는 방사박막; 및 상기 음파방사판과 대향하는 상기 실리콘웨이퍼의 차단층상에 형성돼 재생시키고자 하는 초음파신호가 인가되면, 음의 바이어스전압이 걸린 방사박막과 정전력을 유발시켜 상기 방사박막을 진동시키는 양전극층을 포함하며, 이러한 본 고안의 박막형 초음파 발생 트랜스듀서는 초소형 정밀가공기술을 이용하여 각 음파방사박막들을 격자형태로 원하는 갯수만큼 실리콘웨이퍼상에 한꺼번에 형성하므로 스피커의 크기를 소형화하고 제작성을 향상할 수 있다.

    도플러 저역음향 재생장치
    10.
    发明公开
    도플러 저역음향 재생장치 失效
    多普勒低频声音再现设备

    公开(公告)号:KR1019990026512A

    公开(公告)日:1999-04-15

    申请号:KR1019970048667

    申请日:1997-09-25

    Inventor: 강성우

    Abstract: 개시된 내용은 디지탈 신호처리된 저역음향신호를 고음용 소형스피커에 출력하여, 의도적으로 도플러현상을 발생시킴으로써 저음을 생성시키는 도플러 저역음향 재생장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는, 신호처리를 위해 아날로그 음향신호를 디지탈신호로 변환하는 A/D변환기, 변환된 저역음향 디지탈신호를 고역의 주파수대로 전환시키는 주파수전환기, 도플러현상에 의한 재생음향의 감소 정도를 음향재생이전에 보상하는 보상기, 디지탈신호를 일정한 개수만큼 분배하는 분배기, 분배된 디지탈신호를 아날로그신호로 변환하는 D/A변환기, 및 음향을 재생하는 스피커를 포함한다. 따라서, 본 발명은 기존의 대형스피커와 인클로우저박스를 사용하지 않고, 고음용 소형스피커만을 사용하여 효과적으로 저음을 재생하는 효과를 제공한다.

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