Abstract:
반도체 장치 및 그 제조 방법이 제공된다. 상기 반도체 장치는, 제1 방향으로 연장되어 형성되는 액티브 핀, 액티브 핀 상에 형성되고, 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 연장되는 게이트, 액티브 핀의 상부에 형성되고, 게이트의 일측에 배치되는 소오스 또는 드레인, 게이트와 소오스 또는 드레인을 덮는 층간 절연막, 층간 절연막을 관통하여 소오스 또는 드레인과 연결되고, 제1 콘택 영역과 제1 콘택 영역의 하부에 위치하는 제2 콘택 영역을 포함하는 소오스 또는 드레인 콘택 및 제1 콘택 영역과 층간 절연막 사이에 형성되는 스페이서막을 포함하되, 제1 콘택 영역의 제1 방향 폭과 제2 콘택 영역의 제1 방향 폭은, 제1 콘택 영역과 제2 콘택 영역의 경계에서 서로 다르다.
Abstract:
반도체 웨이퍼를 가열하기 위한 베이크 장치는 반도체 웨이퍼가 놓여지고, 상기 반도체 웨이퍼를 가열하는 플레이트와, 저부에 상기 플레이트를 수용하고, 상기 반도체 웨이퍼를 가열할 때 외부로부터 밀폐되는 공간을 제공하는 챔버를 포함한다. 그리고, 상기 베이크 장치는 상기 챔버 내부의 상단 일측에 설치되고, 상기 플레이트에 상기 반도체 웨이퍼가 놓여질 때 상기 반도체 웨이퍼가 놓여지는 위치를 감지하는 센서를 포함한다. 아울러, 상기 베이크 장치는 상기 센서와 연결되는 제어부를 포함한다. 이에 따라, 상기 센서로부터 신호를 입력받아 상기 플레이트로 상기 반도체 웨이퍼를 이송하는 이송 부재를 제어할 수 있다.
Abstract:
개시된 하드 디스크 드라이브는 드라이브의 액츄에이터 아암을 이동시키고 그 가속을 감지할 수 있는 반응 질량체 및 트랜스듀서를 가진다. 트랜스듀서는 반응 질량체의 움직임을 유도하는 출력신호를 제공할 수 있는 디스크 컨트롤러와 연결된다. 반응 질량체의 움직임은 액츄에이터 아암에 연결된 헤드의 민감한 움직임을 야기한다. 트랜스듀서는 상기 액츄에이터 아암의 가속에 상당하여 입력 신호를 상기 컨트롤러로 제공할 수도 있다. 가속 신호는 드라이브의 서보 시스템용 힘 피드백을 제공할 수 있다.
Abstract:
본 발명은 하드디스크 드라이브에서 적어도 보이스 코일 액츄에이터의 보이스코일을 동작시키는 서보 콘트롤러에 관한 것이다. 본 발명은 하드 디스크 드라이브의 적어도 보이스코일 모터를 위한 서보 콘트롤러에 적용된다. 오늘날, 많은 제어 알고리즘은 다음 제어를 계산하는데 샘플링 주기의 80~90 퍼센트를 요구하고, 그에따라 계산 시간 딜레이는 더이상 무시할 수 없는 것이 되었다. 본 발명은 연산 시간 딜레이와 같은 전송 딜레이를 상태 추정기 및 전체 시스템에 수용한다. 시뮬레이션 결과 뿐만 아니라, 시판되는 하드 드라이브를 사용한 실험 결과는 본 발명의 방법이 위상 마진과 이득 마진을 증가시킴으로써 하드 디스크 드라이브 제어 시스템의 안정성을 효과적으로 향상시킨다는 것을 보여준다. 본 발명은 서보 콘트롤러를 동작시키는 방법 뿐만 아니라, 그 방법을 구현하는 장치를 포함한다. 본 발명은 또한 본 발명의 방법을 구현하는 서보 콘트롤러를 구비하는 하드 디스크 드라이브를 포함하고, 본 발명의 방법을 구현하는 서보 콘트롤러안에서 컴퓨터에 접근 가능하게 연결된 메모리에 상주하는 프로그램 시스템을 포함한다.
Abstract:
PURPOSE: A slider moving mechanism and a method thereof are provided to move a slider in parallel with a disc when a disc surface is flat, and to move a slider along a track when a disc is bent. CONSTITUTION: The mechanism comprises a suspension adhered to a base plate(70) including two points for contacting a flexure(90) to a load beam(80). In case that a line between the contact points is not vertical to a main axis(110), a motion trajectory of the flexure(90) induced from a vibration of a disc axis is on a tilted curve. Accordingly, the mechanism moves a slider in parallel with a disc surface when the disc surface is flat, and it moves the slider along a track when the disc surface is bent.
Abstract:
PURPOSE: A voice coil controlling mechanism, a method thereof, and a disc drive producing method are provided to design a servo mechanism for varying a gain within a range of a disc vibration frequency, and to design a mechanism of a disc drive for having a TMR(Track Mis-Registration) reducing mechanism. CONSTITUTION: The controlling mechanism comprises an actuator assembly(30), a disc drive controller(1000), an analog read-write interface(220), and a servo controller(240). In a case that a current is supplied for a voice coil(32) of the actuator assembly(30), an actuator of the actuator assembly(30) is rotated. The disc drive controller(1000) communicates unique resistance value, extracted from a spin value within a read-write head, via the analog read-write interface(220) which includes a free amplifier(224) and a channel interface(222). The channel interface(222) receives instructions from the disc drive controller(1000), and supplies a PES for the servo controller(240) to make the read-write head access a data track.
Abstract:
PURPOSE: A method for forming an opening portion of an interlayer dielectric is provided to prevent the recess of an isolating layer pattern by using an etching recipe having a slow etching speed. CONSTITUTION: After forming an isolating layer pattern(110) on a semiconductor substrate(100), an interlayer dielectric made of a lower insulation layer and an upper insulation layer. An upper opening portion(132) is formed in the upper insulation layer by using the first etching recipe for exposing the lower insulation layer. Then, a lower opening portion(127) is formed in the lower insulation layer by using the second etching recipe for exposing the semiconductor substrate(100). Preferably, the etching speed of the second etching recipe is slower than that of the first etching recipe, thereby preventing the recess of the isolating layer pattern(110).
Abstract:
개시된 내용은 디지탈 신호처리된 저역음향신호를 고음용 소형스피커에 출력하여, 의도적으로 도플러현상을 발생시킴으로써 저음을 생성시키는 도플러 저역음향 재생장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는, 신호처리를 위해 아날로그 음향신호를 디지탈신호로 변환하는 A/D변환기, 변환된 저역음향 디지탈신호를 고역의 주파수대로 전환시키는 주파수전환기, 도플러현상에 의한 재생음향의 감소 정도를 음향재생이전에 보상하는 보상기, 디지탈신호를 일정한 개수만큼 분배하는 분배기, 분배된 디지탈신호를 아날로그신호로 변환하는 D/A변환기, 및 음향을 재생하는 스피커를 포함한다. 따라서, 본 발명은 기존의 대형스피커와 인클로우저박스를 사용하지 않고, 고음용 소형스피커만을 사용하여 효과적으로 저음을 재생하는 효과를 제공한다.
Abstract:
본 고안은 초소형 정밀가공기술을 이용하여 각 음파방사박막들을 격자형태로 원하는 갯수만큼 실리콘웨이퍼상에 한꺼번에 형성하여 스피커의 크기를 소형화하고 제작성을 향상한 박막형 초음파발생트랜스듀서에 관한 것으로, 전기적으로 그라운드되어 있고, 상면부에 차단층이 형성된 실리콘웨이퍼; 상기 실리콘웨이퍼상에 수직입설형성되는 간격유지부재들; 상기 실리콘웨이퍼와 평행하게 소정간격 상향이격되어 상기 간격유지부재들에 의해 지지고정되며, 음의 바이어스전압이 걸리는 방사박막; 및 상기 음파방사판과 대향하는 상기 실리콘웨이퍼의 차단층상에 형성돼 재생시키고자 하는 초음파신호가 인가되면, 음의 바이어스전압이 걸린 방사박막과 정전력을 유발시켜 상기 방사박막을 진동시키는 양전극층을 포함하며, 이러한 본 고안의 박막형 초음파 발생 트랜스듀서는 초소형 정밀가공기술을 이용하여 각 음파방사박막들을 격자형태로 원하는 갯수만큼 실리콘웨이퍼상에 한꺼번에 형성하므로 스피커의 크기를 소형화하고 제작성을 향상할 수 있다.
Abstract:
개시된 내용은 디지탈 신호처리된 저역음향신호를 고음용 소형스피커에 출력하여, 의도적으로 도플러현상을 발생시킴으로써 저음을 생성시키는 도플러 저역음향 재생장치에 관한 것이다. 본 발명의 장치는, 신호처리를 위해 아날로그 음향신호를 디지탈신호로 변환하는 A/D변환기, 변환된 저역음향 디지탈신호를 고역의 주파수대로 전환시키는 주파수전환기, 도플러현상에 의한 재생음향의 감소 정도를 음향재생이전에 보상하는 보상기, 디지탈신호를 일정한 개수만큼 분배하는 분배기, 분배된 디지탈신호를 아날로그신호로 변환하는 D/A변환기, 및 음향을 재생하는 스피커를 포함한다. 따라서, 본 발명은 기존의 대형스피커와 인클로우저박스를 사용하지 않고, 고음용 소형스피커만을 사용하여 효과적으로 저음을 재생하는 효과를 제공한다.