公开(公告)号：KR1020110057338A

公开(公告)日：2011-06-01

申请号：KR1020090113697

申请日：2009-11-24

Applicant: 전자부품연구원 ,  주식회사 디엠에스

Inventor： 김민선 ,  이찬재 ,  곽민기 ,  이정노 ,  송병덕 ,  박춘성 ,  이진향

IPC: H01L21/027

CPC classification number: G03F7/0002 ,  B29C59/022 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00

Abstract: PURPOSE: A method for forming a nano pattern is provided to reduce manufacturing costs and time by simply forming nano sized patterns with an imprint lithography method. CONSTITUTION: A first mask layer is formed on a base(S1). The first mask is firstly removed(S4). The base is firstly etched(S5). A second mask layer is formed on the base(S7). The second mask layer is firstly removed and the first mask layer is secondly removed(S8-S9). The base is secondly removed(S10). The second mask layer is secondly removed(S11).

Abstract translation: 目的：提供一种形成纳米图案的方法，通过用压印光刻方法简单地形成纳米尺寸图案来降低制造成本和时间。 构成：在基座（S1）上形成第一掩模层。 首先去除第一个掩模（S4）。 首先蚀刻基底（S5）。 在基座上形成第二掩模层（S7）。 首先去除第二掩模层，并且第二掩模层被第二次去除（S8-S9）。 第二次移除基座（S10）。 第二掩模层被第二次去除（S11）。

公开(公告)号：KR101030504B1

公开(公告)日：2011-04-21

申请号：KR1020090062916

申请日：2009-07-10

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 곽민기

IPC: G06F3/041

CPC classification number: G06F3/044 ,  G06F2203/04103

Abstract: 보다 경량화되고 슬림화된 터치스크린 패널을 제조할 수 있는 박막형 터치스크린 패널 제조방법이 제안된다. 제안된 박막형 터치스크린 패널 제조방법에서는 유리기판에 금속막을 형성하고, 금속막을 식각하여 금속배선전극 및 로고를 형성한 후에, 금속배선전극 및 로고가 형성된 유리기판 상에 제1메탈마스크를 이용하여 하부투명전극을 형성한다. 하부투명전극이 형성되면, 하부투명전극 상에 제2메탈마스크를 이용하여 절연막을 형성하고, 절연막 상에 제3메탈마스크를 이용하여 상부투명전극을 형성한 후, 상부투명전극이 형성된 유리기판의 가장자리에 노출된 금속배선전극 및 로고가 형성된 부분에 금속배선전극의 보호 및 패턴 제거를 위한 유기막을 형성한다.
유리기판, 메탈마스크

公开(公告)号：KR1020060075655A

公开(公告)日：2006-07-04

申请号：KR1020040114476

申请日：2004-12-28

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 김원근 ,  김영훈 ,  한정인 ,  문대규 ,  홍성제 ,  곽민기 ,  이찬재

IPC: G02F1/1335

CPC classification number: G02F1/133528 ,  G02F1/133305

Abstract: 본 발명은 플렉서블(Flexible) 액정 디스플레이에 관한 것으로, 상호 대향되어 일정 간격으로 이격되어 있는 한 쌍의 플렉서블 편광필름과; 상기 한 쌍의 플렉서블 편광필름 사이에 개재되는 액정 물질과; 상기 액정 물질을 감싸고, 상기 한 쌍의 플렉서블 편광필름에 접착되어 있는 봉지부를 포함하여 구성된다.
따라서, 본 발명은 한 쌍의 플렉서블 편광필름 사이에 액정 물질을 개재하여 디스플레이를 구현함으로써, 종래 기술과 같이 고분자 기판을 사용하여 디스플레이의 경박단소화를 시킬 수 없는 한계를 극복하고, 2장의 고분자 필름 기판을 사용할 필요가 없어, 디스플레이를 매우 얇은 두께로 제작할 수 있으며, 추가적인 편광판 부착 공정이 필요 없게 되어 제작 공정의 단순화시킬 수 있고 비용을 절감할 수 있는 효과가 있다.
플렉서블, 디스플레이, 편광, 액정

公开(公告)号：KR1020050031595A

公开(公告)日：2005-04-06

申请号：KR1020030067795

申请日：2003-09-30

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 이찬재 ,  문대규 ,  한정인 ,  홍성제 ,  김원근 ,  곽민기 ,  박성규 ,  김영훈

IPC: H05B33/10

CPC classification number: H01L51/0097 ,  H01L51/56

Abstract: A display panel using a paper substrate and a fabrication method thereof are provided to use a thin and flexible paper as a substrate, while forming protection films on a surface of the paper substrate, thereby more variously transforming a panel type and preventing the life and luminous efficiency of an organic EL display panel from deteriorating. The first protection film(21a) and the second protection film(21b) are formed on an upper side and a lower side of a paper substrate(20), respectively. An anode electrode(22) is repeatedly formed in stripe type at certain intervals on an upper side of the first protection film(21a). Insulating films(23) deposit insulating substances in an upper part including the anode electrode(22) and the first protection film(21a), and expose a portion of the anode electrode(22) by forming contact holes in every unit pixel area. Separable partition walls(24) are repeatedly patterned at certain intervals on top of the insulating films(23) in a direction that crosses the anode electrode(22) at a right angle. Luminous layers(25) are formed in an upper part including the exposed anode electrode(22), the insulating films(23), and the partition walls(24). Cathode electrodes(26) are formed by depositing and patterning metal on the luminous layers(25). The third protection film(27) caps an entire element.

Abstract translation: 提供使用纸基板的显示面板及其制造方法，使用薄而柔软的纸作为基板，同时在纸基材的表面上形成保护膜，从而更多地改变面板类型并防止寿命和发光 有机EL显示面板的效率恶化。 第一保护膜（21a）和第二保护膜（21b）分别形成在纸基材（20）的上侧和下侧。 阳极电极（22）在第一保护膜（21a）的上侧以一定间隔重复形成条纹型。 绝缘膜（23）在包括阳极电极（22）和第一保护膜（21a）的上部中沉积绝缘物质，并且通过在每个单位像素区域中形成接触孔而使阳极电极（22）的一部分露出。 可隔离的分隔壁（24）以绝对膜（23）的顶部以一定的间隔以一定的角度以与直流电极（22）交叉的方向重复地图案化。 在包括暴露的阳极电极（22），绝缘膜（23）和分隔壁（24）的上部形成发光层（25）。 阴极电极（26）通过在发光层（25）上沉积和图案化金属而形成。 第三保护膜（27）覆盖整个元件。

公开(公告)号：KR100458122B1

公开(公告)日：2004-11-20

申请号：KR1020010052091

申请日：2001-08-28

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 이찬재 ,  홍성제 ,  한정인 ,  김원근 ,  곽민기 ,  박성규 ,  김영훈

IPC: G02F1/1365

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating an MIM(Metal Insulator Metal) device of a liquid crystal display is provided to form upper and lower electrodes of the same metal material to reduce stress applied to a ductile plastic substrate and prevent deformation of the plastic substrate and cracking of the lower electrode. CONSTITUTION: A lower electrode(102) is formed of a ductile metal on a transparent substrate(100). A photoresist pattern is selectively formed on the transparent substrate to expose the surface of the lower electrode, and an insulating layer(104) is formed on the lower electrode. The photoresist pattern is removed. A photoresist pattern is selectively formed on the transparent substrate having the insulating layer to expose the insulating layer and a predetermined portion of the substrate, and the same ductile metal as the lower electrode is deposited on the overall surface of the substrate. The photoresist pattern and the ductile metal layer formed on the photoresist pattern are lifted off, to form an upper electrode(106) on the insulating layer and the substrate.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造液晶显示器的MIM（金属绝缘体金属）器件的方法，以形成相同金属材料的上下电极，以减小施加到延性塑料衬底的应力并防止塑料衬底的变形和开裂 的下电极。 构成：下电极（102）由透明衬底（100）上的韧性金属形成。 在透明基板上选择性地形成光致抗蚀剂图案以暴露下电极的表面，并且在下电极上形成绝缘层（104）。 光刻胶图案被去除。 在具有绝缘层的透明基板上选择性地形成光致抗蚀剂图案以暴露绝缘层和基板的预定部分，并且在基板的整个表面上沉积与下电极相同的延性金属。 光致抗蚀剂图案和形成在光致抗蚀剂图案上的韧性金属层被剥离，以在绝缘层和衬底上形成上电极（106）。

公开(公告)号：KR1020030089103A

公开(公告)日：2003-11-21

申请号：KR1020020027141

申请日：2002-05-16

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 곽민기 ,  김원근 ,  박성규 ,  한정인

IPC: H01J9/24 ,  H01J11/34

Abstract: PURPOSE: A method is provided to reduce manufacturing costs for plasma display panel and allow for ease of manufacture of barrier ribs. CONSTITUTION: A method comprises a step of forming a metal electrode structure pattern(S2-1) of 1mm or larger on a glass substrate(S1) by using a silver(Ag); a step of forming an insulator(S3) on the glass substrate on which the metal electrode structure pattern is formed; a step of forming a barrier rib through a single process by using a metal mask; and a step of producing a lower substrate by depositing a protective film on the barrier rib.

Abstract translation: 目的：提供了一种降低等离子体显示面板的制造成本并且容易制造隔壁的方法。 构成：一种方法包括通过使用银（Ag）在玻璃基板（S1）上形成1mm或更大的金属电极结构图案（S2-1）的步骤; 在形成有金属电极结构图案的玻璃基板上形成绝缘体（S3）的工序; 通过使用金属掩模通过单个工艺形成障壁的步骤; 以及通过在隔壁上沉积保护膜来制造下基板的步骤。

公开(公告)号：KR1020030018385A

公开(公告)日：2003-03-06

申请号：KR1020010052091

申请日：2001-08-28

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 이찬재 ,  홍성제 ,  한정인 ,  김원근 ,  곽민기 ,  박성규 ,  김영훈

IPC: G02F1/1365

Abstract: PURPOSE: A method for fabricating an MIM(Metal Insulator Metal) device of a liquid crystal display is provided to form upper and lower electrodes of the same metal material to reduce stress applied to a ductile plastic substrate and prevent deformation of the plastic substrate and cracking of the lower electrode. CONSTITUTION: A lower electrode(102) is formed of a ductile metal on a transparent substrate(100). A photoresist pattern is selectively formed on the transparent substrate to expose the surface of the lower electrode, and an insulating layer(104) is formed on the lower electrode. The photoresist pattern is removed. A photoresist pattern is selectively formed on the transparent substrate having the insulating layer to expose the insulating layer and a predetermined portion of the substrate, and the same ductile metal as the lower electrode is deposited on the overall surface of the substrate. The photoresist pattern and the ductile metal layer formed on the photoresist pattern are lifted off, to form an upper electrode(106) on the insulating layer and the substrate.

Abstract translation: 目的：提供一种用于制造液晶显示器的MIM（金属绝缘体金属）器件的方法，以形成相同金属材料的上下电极，以减少施加在延性塑料基片上的应力，并防止塑料基片的变形和开裂 的下电极。 构成：下部电极（102）由透明衬底（100）上的延性金属形成。 在透明基板上选择性地形成光致抗蚀剂图形以暴露下电极的表面，并且在下电极上形成绝缘层（104）。 去除光致抗蚀剂图案。 在具有绝缘层的透明基板上选择性地形成光致抗蚀剂图案，以露出绝缘层和基板的预定部分，并且与基板的整个表面上沉积与下部电极相同的延性金属。 在光致抗蚀剂图案上形成的光致抗蚀剂图案和延展性金属层被剥离，以在绝缘层和基板上形成上电极（106）。

公开(公告)号：KR100326208B1

公开(公告)日：2002-04-17

申请号：KR1019980057842

申请日：1998-12-23

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박성규 ,  한정인 ,  김원근 ,  곽민기

IPC: G02F1/133 ,  G02F1/1333

Abstract: 본 발명은 쉽게 휘어지는 기판을 구비한 평판형 표시소자를 대량생산하기 위한 구동 소자 설치방법을 개시한다.
본 발명은 쉽게 휘어지는 필름으로 된 상, 하부기판에 다수의 소자 패턴을 가로세로방향으로 형성하는 단계와, 상, 하부기판 중 어느 하나의 기판에 구동 소자의 부착부분을 천공하는 단계와, 천공된 기판과 다른 기판을 서로 결합하여 다수의 패널을 형성하는 단계와, 상, 하부기판을 개별 패널 단위로 절단하는 단계와, 개별 패널의 천공된 기판에 의해 노출된 구동 소자 부착면에 구동 소자를 부착하는 단계를 포함한다.
따라서 본 발명은 플라스틱 필름과 같이 쉽게 휘어지는 기판을 사용하는 평판형 표시소자를 하나의 대형 기판에 다수의 소자 패널을 형성한 후 다수의 구동 소자를 설치할 수 있으므로 공정시간의 단축 및 결합의 정밀성을 향상시킬 수 있다.

公开(公告)号：KR100306135B1

公开(公告)日：2001-11-22

申请号：KR1019980057839

申请日：1998-12-23

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 박성규 ,  한정인 ,  김원근 ,  곽민기

IPC: H01J19/24

Abstract: 본 발명은 보호막을 구비한 전계 방출 표시소자를 개시한다.
본 발명은 서로 대면하는 캐소드 기판 및 애노드 기판과, 캐소드 기판 위에 형성되는 캐소드 전극과, 캐소드 전극 위에 마이크로 팁 형상으로 형성되는 에미터와, 애노드 기판 저면에 투명전도막이 형성되는 애노드 전극과, 애노드 전극 저면에 형성되는 형광막과, 에미터에서 형광체로 방출되는 전자는 통과시키고 형광체로부터 발생되는 가스성분은 차단하는 특성을 가진 폴리머를 형광막 저면에 형성시킨 보호막을 포함한다.
본 발명에 따르면 소자의 내부 진공도를 떨어뜨리는 유해 가스 성분을 차단하고 또한 전자와의 충돌로 인한 형광체 분말가루의 떨어짐에 의한 에미터 팁 오염에 의한 전자방출 성능저하를 막음으로써 FED의 성능향상과 수명의 연장 및 신뢰성을 확보할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

公开(公告)号：KR100296956B1

公开(公告)日：2001-08-07

申请号：KR1019980057841

申请日：1998-12-23

Applicant: 전자부품연구원

Inventor： 한정인 ,  김원근 ,  박성규 ,  곽민기

IPC: H01J1/30

Abstract: 본 발명은 집속 전극을 구비한 전계 방출 표시소자를 개시한다.
본 발명은 서로 대면하는 캐소드 기판 및 애노드 기판과, 캐소드 기판 위에 형성되는 캐소드 전극 및 게이트 전극과, 캐소드 전극 위에 형성되는 에미터와, 애노드 기판 저면에 형성되는 애노드 전극과, 애노드 전극 저면에 형성되는 절연막과, 절연막 사이로 노출된 애노드 전극 저면에 형성되는 형광막과, 절연막 저면에 형성되어 방출된 전자를 원하는 화소방향으로 집속하는 집속 전극을 포함한다.
본 발명에 따르면, 애노드 전극과 집속 전극 사이의 거리가 근접하도록 해 집속 전극의 집속 기능이 향상되어 고선명 화질을 얻을 수 있으며, 집속 전극의 형성구조를 단순하게하여 제조가 용이한 효과를 얻을 수 있다.