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公开(公告)号：KR101921639B1
公开(公告)日：2018-11-26
申请号：KR1020160155871
申请日：2016-11-22
Applicant: 한국기계연구원
IPC: H01L21/027 , G03F7/00 , H01L21/683 , H01L21/306 , H01L21/3065 , H01L21/324
Abstract: 미세패턴또는미세채널형성을위한직접열가압임프린트방법에서, 템플릿과기판의표면을세정한다. 상기템플릿을척에고정하여상기기판과함께챔버의내부공간으로위치시킨다. 상기템플릿을기판에접촉시킨다. 상기템플릿을상기척으로부터분리한다. 상기기판에접촉한상기템플릿의상면을가압한다. 고온고압으로상기기판과상기템플릿의접합력을향상시킨다.
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公开(公告)号：KR1020180125109A
公开(公告)日：2018-11-22
申请号：KR1020170059454
申请日：2017-05-12
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은대면적제작및 롤스탬프를이용한연속공정이가능하며, 굴절광학소자에서구현할수 없는여러가지종류의광학기능을구현할수 있는나노마이크로기반회절광학소자및 이의형성방법에관한것이다. 이를위해, 본발명은투명기판과, 형성하고자하는홀로그램패턴에대응되도록상기투명기판상부에형성되어있는기능층과, 상기투명기판과상기기능층사이에배치되는산화물층을포함하며, 상기기능층하면은원형또는모서리가곡면을가지는다각형또는이들의집합체형상으로형성되어있는것을특징으로하는나노마이크로기반회절광학소자를제공한다.
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公开(公告)号：KR101880078B1
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：KR1020160165806
申请日：2016-12-07
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은대면적제작및 롤스탬프를이용한연속공정이가능하며, 식각공정을거치지않고메타표면을구현할수 있는전사공정을이용한플라즈모닉메타표면제작방법에관한것이다. 이를위해, 본발명은형성하고자하는기능층의패턴에대응되도록일면에나노구조체가가공된스탬프를준비하는스탬프준비단계; 그리고상기일면에액상물질의도포또는이방성진공증착을통해상기기능층을형성하는기능층형성단계;를포함하며, 상기기능층이증착된상기스탬프는플라즈모닉메타표면으로구현되는것을특징으로하는플라즈모닉메타표면제작방법을제공한다.
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公开(公告)号：KR101740017B1
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：KR1020150047589
申请日：2015-04-03
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명의실시예에따른 RF MEMS 스위치는서로마주하는제1 기판및 제2 기판, 제1 기판과상기제2 기판사이에위치하며상기제1 기판과상기제2 기판사이에밀봉된공간을형성하는절연부재, 공간내의상기제1 기판위에위치하는제1 전극, 공간내의상기제2 기판위에위치하며상기제1 전극과마주하는제2 고체전극, 제1 전극위에위치하는액체금속층, 제2 전극위에위치하는나노전극을포함하고, 액체금속층과상기나노전극은이격되어위치한다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020170033106A
公开(公告)日：2017-03-24
申请号：KR1020150131007
申请日：2015-09-16
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G02B5/30
CPC classification number: G02B5/3058
Abstract: 선격자편광자의제조방법은, 일면에나노구조체를가지는스탬프를준비하고상기일면에이방성진공증착으로마스크층을형성하는단계와, 기판위에금속막을형성하는단계와, 마스크층가운데나노구조체상부의마스크층을금속막위로전사하는단계와, 금속막가운데마스크층으로덮이지않은부위를건식식각으로제거하여금속막을금속선들로패터닝하는단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101713119B1
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：KR1020160046275
申请日：2016-04-15
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: A61K9/7007 , A61K9/0021 , A61K9/7023 , A61K9/703 , A61M37/0015 , A61M2037/0023
Abstract: 본발명은피부를가로질러약물의확산에의존하는경피전달기술에서연어핵산필름을적용함으로써, 피부트러블을방지하고, 약물의피부침투도를향상시킬수 있는연어핵산필름의제조방법과, 연어핵산필름을이용한약물주입장치에관한것이다. 이를위해연어핵산필름의제조방법은 100 중량부의증류수또는탈이온수에 0.5 중량부내지 5 중량부의연어핵산을파우더형태로투입하여혼합액을형성하는혼합단계와, 혼합단계를거친상기혼합액을교반하는교반단계와, 완성되는연어핵산필름의형태에대응하는성형몰드에혼합액을도포하는혼합액도포단계및 성형몰드에도포된혼합액이연어핵산필름으로변화되도록성형몰드에도포된혼합액을건조시키는건조단계를포함한다.
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公开(公告)号：KR101661677B1
公开(公告)日：2016-09-30
申请号：KR1020150089708
申请日：2015-06-24
Applicant: 한국기계연구원
IPC: G01J5/22
Abstract: 본기재의메타표면흡수체를포함한볼로미터형적외선센서는기판, 상기기판상에형성된적외선반사층, 상기적외선반사층으로부터이격되게위치된저항층및 상기저항층상에형성되며, 복수의개구패턴이형성된메타표면(meta surface)을포함하는적외선흡수체를포함한다.
Abstract translation: 包括根据本公开的间表面吸收体的辐照热计式红外传感器包括基板，形成在基板上的红外反射层，与红外反射层分离的电阻层和形成在电阻层上的红外线吸收体 并且包括形成开口图案的元表面。 因此，可以提高传感器的反应速度。
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公开(公告)号：KR101542942B1
公开(公告)日：2015-08-11
申请号：KR1020140037491
申请日：2014-03-31
Applicant: 한국기계연구원
CPC classification number: B82B3/0095 , B32B15/08 , B82Y40/00
Abstract: 플라즈모닉 특성제어를 위한 금속나노패턴 형성방법에서, 패턴이 형성된 몰드 기판 상에 금속박막을 증착한다. 베이스 기판 상에 UV 경화층을 형성한다. 상기 금속박막을 상기 UV 경화층으로 전사한다. 상기 UV 경화층을 경화한다. 상기 UV 경화층으로 전사된 전사패턴을 어닐링한다. 이와 같이, 금속 임프린팅 전사 공정을 바탕으로 금속나노패턴을 형성하여 외부광파장에 반응하는 플라즈모닉 특성을 보다 용이하고 효율적으로 제어할 수 있다.
Abstract translation: 形成用于控制等离子体激元特性的金属纳米图案的方法包括以下工艺：在模具基底上以图案沉积金属薄膜; 在基底基板上形成UV固化层; 将金属薄膜转移到UV固化层; 固化UV固化层; 以及退火转移到UV固化层的转印图案。 因此，通过基于金属压印转印工艺形成金属纳米图案，可以容易且有效地控制与外部光波长反应的等离子体特性。
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公开(公告)号：KR101529213B1
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：KR1020130090395
申请日：2013-07-30
Applicant: 한국기계연구원
Abstract: 본발명은심리스롤마스터제작방법에관한것이며, 본발명의심리스롤마스터제작방법은, 롤형태의기판외주면에박막층을형성하는박막층형성단계와, 박막층의자기조립(self assembly)을유도하는자기조립유도단계와, 박막층을현상하여제1패턴을형성하는제1패턴형성단계를포함하고, 박막층형성단계는, 박막층의소재가되는코팅액이수용된코팅액수용조에기판을담근상태에서기판을회전시키며, 박막층의두께가조절되도록기판을제1 속도범위에서회전시키는제1 두께조절단계를구비하는제1처리단계와, 기판을코팅액수용조로부터이탈시킨상태에서기판을회전시키며, 제1 두께조절단계에서조절된박막층의두께가재조절되도록기판을제2 속도범위에서회전시키는제2 두께조절단계를구비하는제2처리단계를포함하며, 제2 속도범위에서의기판의회전속도는제1 속도범위에서의기판의회전속도보다크며, 코팅액은, 은나노입자현탁액(suspensions) 또는은 이온용액(solution)으로이루어진다.
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