一种电火花等离子体引发聚合表面涂层装置及方法

    公开(公告)号:CN106622892A

    公开(公告)日:2017-05-10

    申请号:CN201611076848.8

    申请日:2016-11-30

    Inventor: 宗坚

    CPC classification number: B05D1/62 B05B5/10

    Abstract: 本发明一种电火花等离子体引发聚合表面涂层装置及方法,属于等离子体技术领域,用于在基材表面制备聚合物涂层。该装置中,在真空室安装多个火花塞,形成阵列单体蒸汽通过单体蒸汽管路送入真空室内,单体蒸汽管路在位于火花塞的正前方设置出口,真空排气管位于真空室远离火花塞和单体蒸汽管路出口的一侧,待处理的基材放在处理室内。该方法中将真空室抽至压强1Pa以下,开启单体蒸汽管路,通入单体蒸汽通入单体蒸汽的同时在火花塞上施加高压电脉冲,产生电火花引发单体蒸汽发生聚合并沉积在基材表面形成聚合物涂层。本发明具有火花塞电源结构简单、价格低、无需调试,放电稳定,不需要载体气体,单体扩散良好,涂层均匀等优点。

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