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公开(公告)号：CN105848789B
公开(公告)日：2023-01-03
申请号：CN201480065310.X
申请日：2014-10-07
Applicant: 欧洲等离子公司
Abstract: 本发明涉及一种方法，包括步骤：引入包括待在低压力反应腔室中涂敷的表面的衬底；在所述反应腔室内在处理时段期间将所述表面暴露于等离子体；通过施加功率输入来确保稳定等离子体激发，其特征在于，功率输入在所述处理时段期间连续地严格高于零瓦特(W)，并且包括至少一个下限功率以及严格大于所述下限功率的至少一个上限功率，由此获得具有受涂敷的表面的衬底。本发明还涉及一种用于通过低压力等离子体工艺来处理衬底的装置以及因此而处理的衬底。
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公开(公告)号：CN105848789A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201480065310.X
申请日：2014-10-07
Applicant: 欧洲等离子公司
CPC classification number: H01J37/32146 , B05D1/62 , B05D5/08 , B05D7/02 , B05D7/14 , C03C17/32 , C03C2217/20 , C03C2217/76 , C03C2218/15 , C04B41/009 , C04B41/4523 , C04B41/83 , C09D133/16 , C23C16/50 , C23C26/00 , D21H23/22 , H01J2237/327 , H01J2237/3326
Abstract: 本发明涉及一种方法，包括步骤：引入包括待在低压力反应腔室中涂敷的表面的衬底；在所述反应腔室内在处理时段期间将所述表面暴露于等离子体；通过施加功率输入来确保稳定等离子体激发，其特征在于，功率输入在所述处理时段期间连续地严格高于零瓦特(W)，并且包括至少一个下限功率以及严格大于所述下限功率的至少一个上限功率，由此获得具有受涂敷的表面的衬底。本发明还涉及一种用于通过低压力等离子体工艺来处理衬底的装置以及因此而处理的衬底。
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公开(公告)号：CN106460308B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201580033372.7
申请日：2015-04-22
Applicant: 欧洲等离子公司
Abstract: 本发明涉及至少部分地防止由等离子体涂覆工艺引起的基底变色的方法，其通过在将所述等离子体沉积到所述基底上而形成涂层之前和/或期间扩散等离子体。本发明也涉及包括用于在待涂覆的基底附近使等离子体密度均匀化的等离子体扩散器的等离子体涂覆装置。
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公开(公告)号：CN104822859B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201380062956.8
申请日：2013-10-09
Applicant: 欧洲等离子公司
Abstract: 本发明提供用于在例如织物片上施加表面涂层的方法并且进一步提供用于将织物片用聚合物层涂布的等离子体腔室(10)，所述织物例如纺织品材料，等离子体腔室(10)包括在等离子体腔室内相继地排列的多个电极层(RF，M)，其中至少两个相邻的电极层为射频电极层(RF)或接地电极层(M)，从而在织物片的两侧上提供表面涂层。
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公开(公告)号：CN106460308A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201580033372.7
申请日：2015-04-22
Applicant: 欧洲等离子公司
CPC classification number: H01J37/32082 , D06M10/025 , D06M10/10 , D06M14/18 , D06M14/32 , D06M15/277 , H01J37/32091 , H01J37/3244 , H01J37/32623 , H01J37/32816 , H01J2237/3323
Abstract: 本发明涉及至少部分地防止由等离子体涂覆工艺引起的基底变色的方法，其通过在将所述等离子体沉积到所述基底上而形成涂层之前和/或期间扩散等离子体。本发明也涉及包括用于在待涂覆的基底附近使等离子体密度均匀化的等离子体扩散器的等离子体涂覆装置。
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公开(公告)号：CN104822859A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201380062956.8
申请日：2013-10-09
Applicant: 欧洲等离子公司
CPC classification number: H01J37/3277 , B01D2239/0478 , B05D1/62 , C08F2/52 , C23C16/509 , C23C16/545 , H01J37/32082 , H01J37/32091 , H01J37/32403 , H01J37/32532 , H01J37/32568 , H01J37/32724 , H01J37/32752 , H01J37/32761 , H01J2237/202 , H01J2237/332
Abstract: 本发明提供用于在例如织物片上施加表面涂层的方法并且进一步提供用于将织物片用聚合物层涂布的等离子体腔室(10)，所述织物例如纺织品材料，等离子体腔室(10)包括在等离子体腔室内相继地排列的多个电极层(RF，M)，其中至少两个相邻的电极层为射频电极层(RF)或接地电极层(M)，从而在织物片的两侧上提供表面涂层。
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