公开(公告)号：US07542148B2

公开(公告)日：2009-06-02

申请号：US11564604

申请日：2006-11-29

Applicant: Chishio Koshimizu ,  Tomohiro Suzuki

Inventor： Chishio Koshimizu ,  Tomohiro Suzuki

IPC: G01B11/02

CPC classification number: G01B9/02023 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02083 ,  G01B9/0209 ,  G01J5/0003 ,  G01J2005/583 ,  G01K5/52 ,  G01K11/00 ,  G01K11/3206

Abstract: A method capable of accurately measuring a physical quantity of a measurement object in a substrate processing apparatus. In a temperature measurement apparatus for implementing the method, two interference positions are measured at different timings when a reference mirror is caused to move in the direction away from a collimator fiber, and a difference between the two interference positions is calculated. When the reference mirror remote from the collimator fiber is caused to move toward the collimator fiber, two interference positions are measured at different timings, and a difference between the two interference positions is calculated. An average value of the interference position differences is calculated, an optical path length difference is determined from the average value, and a wafer temperature is calculated from the optical path length difference.

Abstract translation: 一种能够精确地测量基板处理装置中的测量对象的物理量的方法。 在实现该方法的温度测量装置中，当使参考反射镜沿远离准直光纤的方向移动时，在不同的定时测量两个干涉位置，并且计算两个干涉位置之间的差。 当使远离准直光纤的参考镜向准直器光纤移动时，在不同的定时测量两个干涉位置，并且计算两个干涉位置之间的差。 计算干涉位置差的平均值，根据平均值确定光程长度差，并根据光程长度差计算晶片温度。

公开(公告)号：US20070127034A1

公开(公告)日：2007-06-07

申请号：US11564604

申请日：2006-11-29

Applicant: Chishio Koshimizu ,  Tomohiro Suzuki

Inventor： Chishio Koshimizu ,  Tomohiro Suzuki

IPC: G01B11/02 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02023 ,  G01B9/02019 ,  G01B9/02028 ,  G01B9/02083 ,  G01B9/0209 ,  G01J5/0003 ,  G01J2005/583 ,  G01K5/52 ,  G01K11/00 ,  G01K11/3206

Abstract: A method capable of accurately measuring a physical quantity of a measurement object in a substrate processing apparatus. In a temperature measurement apparatus for implementing the method, two interference positions are measured at different timings when a reference mirror is caused to move in the direction away from a collimator fiber, and a difference between the two interference positions is calculated. When the reference mirror remote from the collimator fiber is caused to move toward the collimator fiber, two interference positions are measured at different timings, and a difference between the two interference positions is calculated. An average value of the interference position differences is calculated, an optical path length difference is determined from the average value, and a wafer temperature is calculated from the optical path length difference.

Abstract translation: 一种能够精确地测量基板处理装置中的测量对象的物理量的方法。 在实现该方法的温度测量装置中，当使参考反射镜沿远离准直光纤的方向移动时，在不同的定时测量两个干涉位置，并且计算两个干涉位置之间的差。 当使远离准直光纤的参考镜向准直器光纤移动时，在不同的定时测量两个干涉位置，并且计算两个干涉位置之间的差。 计算干涉位置差的平均值，根据平均值确定光程长度差，并根据光程长度差计算晶片温度。

公开(公告)号：US07001068B2

公开(公告)日：2006-02-21

申请号：US10492889

申请日：2002-10-18

Applicant: John Howard

Inventor： John Howard

IPC: G01K11/00 ,  G01J5/00

CPC classification number: G01J5/58 ,  G01J3/45 ,  G01J5/00 ,  G01J5/0834 ,  G01J2005/583 ,  G01J2005/586

Abstract: Remote sensing of the temperature of a greybody or blackbody radiator is effected by passing its radiation (24) through a modulated infrared filter spectrometer. The infrared filter comprises, in sequence, a band pass filter (20), a first polariser (21) which polarises the radiation, an electro-optical element (22) which splits the polarised radiation into two orthogonally polarised components, and a second polariser (23). A lens (28) images the radiation leaving the second polariser onto a detector (27). The electrical signal from the detector (27) is input to a numerical analyser. The electro-optical element (22), typically comprising a birefringent crystal assembly (25) and a birefringent trim plate (26), is configured so that the net optical delay of the orthogonally polarised components passed through it is such that the recombined components are at or near a peak or trough in their interferogram. A sinusoidally varying voltage is applied to the electro-optical element to modulate the net delay of the components passed through the electro-optical element. The numerical analyser is programmed to compute the harmonic amplitude ratio (the ratio of signal amplitudes at the fundamental and second harmonic of the frequency of the modulating voltage) of the signal that it receives from the detector (27). The harmonic amplitude ratio is a function of the temperature of the radiator, which can be estimated by reference to a calibration look-up table.

Abstract translation: 通过使其辐射（24）通过调制的红外滤光器光谱仪来实现对灰体或黑体辐射体的温度的遥感。 红外滤光器依次包括带通滤波器（20），偏振辐射的第一偏振器（21），将偏振辐射分成两个正交极化分量的电光元件（22）和第二偏振器 （23）。 透镜（28）将离开第二偏振器的辐射图像到检测器（27）上。 来自检测器（27）的电信号被输入到数字分析器。 通常包括双折射晶体组件（25）和双折射装饰板（26）的电光元件（22）被配置为使得通过它的正交极化分量的净光学延迟使得重组组分为 在它们的干涉图中的峰或谷附近。 将正弦变化的电压施加到电光元件以调节通过电光元件的部件的净延迟。 数字分析仪被编程为计算其从检测器（27）接收的信号的谐波振幅比（在调制电压的频率的基波和二次谐波处的信号幅度的比率）。 谐波振幅比是散热器的温度的函数，可以通过参考校准查找表来估计。

公开(公告)号：US4417822A

公开(公告)日：1983-11-29

申请号：US319244

申请日：1981-11-09

Applicant: Alexander Stein ,  Paul Rabinowitz ,  Andrew Kaldor

Inventor： Alexander Stein ,  Paul Rabinowitz ,  Andrew Kaldor

IPC: B62B13/10 ,  G01J5/00 ,  G01J9/04 ,  G01J5/52 ,  G01J5/62

CPC classification number: G01J5/522 ,  B62B13/10 ,  G01J5/0044 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0806 ,  G01J5/0834 ,  G01J5/0846 ,  G01J5/0862 ,  G01J5/0871 ,  G01J5/0896 ,  G01J2005/0051 ,  G01J2005/0074 ,  G01J2005/583 ,  G01J9/04

Abstract: The present invention teaches a unique laser radiometer capable of accurately measuring the radiation temperature of a radiant surface and independently measuring the surface's emissivity. A narrow-band radiometer is combined with a laser reflectometer to measure concurrently radiance and emissivity of a remote, hot surface. Together, radiance and emissivity yield the true surface temperature of the remote target. A narrow receiver bandwidth is attained by one of two methods; (a) heterodyne detection or (b) optical filtering. A direct measurement of emissivity is used to adjust the value obtained for the thermal radiation signal to substantially enhance the accuracy of the temperature measurement for a given subject surface. The technique provides substantially high detection sensitivity over a very narrow spectral bandwidth.

Abstract translation: 本发明教导了一种独特的激光辐射计，能够精确地测量辐射表面的辐射温度并独立地测量表面的发射率。 窄带辐射计与激光反射计相结合，以测量远程热表面的辐射和发射率。 一起，辐射和发射率产生远程目标的真实表面温度。 通过两种方法之一获得窄的接收机带宽; （a）外差检测或（b）光学滤波。 使用辐射率的直接测量来调整对于热辐射信号获得的值，以显着提高给定对象表面的温度测量的精度。 该技术在非常窄的光谱带宽上提供了显着高的检测灵敏度。

公开(公告)号：WO2008108784A2

公开(公告)日：2008-09-12

申请号：PCT/US2007012213

申请日：2007-05-22

Applicant: UNINERSITY OF MINNESOTA ,  TALGHADER JOSEPH ,  WANG YUYAN ,  SUTTON MICHAEL S

Inventor： TALGHADER JOSEPH ,  WANG YUYAN ,  SUTTON MICHAEL S

IPC: G01J3/26 ,  G01J5/08 ,  G01J5/20 ,  G01J5/60

CPC classification number: G01J3/26 ,  G01J5/0225 ,  G01J5/023 ,  G01J5/045 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0809 ,  G01J5/084 ,  G01J5/0853 ,  G01J5/0893 ,  G01J5/20 ,  G01J5/58 ,  G01J5/60 ,  G01J2005/583

Abstract: A cavity thermal detector assembly (10) is presented that allows both tunable narrowband and broadband operation. This allows for high light efficiency, low thermal time constant, and flexibility in designing the optical path. The thermal detector/filter layers are part of the top mirror or mirrors (12) of a Gires-Tournois-type optical cavity and provide absorption and reflection that can be adjusted to the desired width and position of the detected band. Tuning, if desired, can be achieved by applying micromechanical methods. Broadband operation may be achieved by bringing the sensor close to the bottom mirror. In this mode, the sensor or its supports may or may not touch over a small area.

Abstract translation: 提出了一种允许可调窄带和宽带操作的腔体热探测器组件（10）。 这允许高光效率，低热时间常数以及设计光路的灵活性。 热检测器/过滤层是Gires-Tournois型光学腔的顶部反射镜或反射镜（12）的一部分，并提供可被调节到所检测的带的期望宽度和位置的吸收和反射。 如果需要，可以通过应用微机械方法来实现调谐。 通过将传感器靠近底镜可以实现宽带操作。 在这种模式下，传感器或其支撑件可能碰到或可能不会碰到一个小区域。

公开(公告)号：WO2007098134A1

公开(公告)日：2007-08-30

申请号：PCT/US2007/004323

申请日：2007-02-21

Applicant: REDSHIFT SYSTEMS CORPORATION ,  WAGNER, Matthias ,  RADL, Bruce M. ,  HORWITZ, Bruce A.

Inventor： WAGNER, Matthias ,  RADL, Bruce M. ,  HORWITZ, Bruce A.

IPC: H04N5/217 ,  H04N5/33

CPC classification number: H04N5/33 ,  G01J5/00 ,  G01J5/40 ,  G01J5/54 ,  G01J2005/0048 ,  G01J2005/0077 ,  G01J2005/583 ,  H04N5/3655

Abstract: A thermo-optic system, which may be used for example in thermal imaging, includes an array of optical elements each having a thermally responsive optical property, the optical elements including signal elements and reference elements configured to provide (1) a common-mode response of the optical property to ambient temperature and (2) a differential-mode response of the optical property to a thermal signal appearing across the array of optical elements. The system also includes an optical readout subsystem configured to (1) illuminate the array of optical elements with optical energy at a readout wavelength corresponding to the optical property so as to generate a composite optical signal having common-mode and differential-mode signal components corresponding to the common-mode and differential-mode responses respectively of the signal and reference elements, and (2) filter the composite optical signal to generate a filtered optical signal being substantially the differential-mode image component.

Abstract translation: 可以用于例如热成像的热光学系统包括各自具有热响应光学特性的光学元件阵列，所述光学元件包括信号元件和参考元件，其被配置为提供（1）共模响应 的光学特性与（2）光学特性对出现在光学元件阵列上的热信号的差分模式响应。 该系统还包括光学读出子系统，其配置为（1）以对应于光学特性的读出波长的光能照射光学元件阵列，以便产生具有对应于共模和差模信号分量的复合光信号 分别耦合到信号和参考元件的共模和差分模式响应，以及（2）对复合光信号进行滤波以产生基本上是差分模式图像分量的滤波光信号。

公开(公告)号：WO2007094435A1

公开(公告)日：2007-08-23

申请号：PCT/JP2007/052783

申请日：2007-02-15

Applicant: 国立大学法人 岡山大学 ,  冨田 栄二 ,  河原 伸幸

Inventor： 冨田 栄二 ,  河原 伸幸

IPC: G01K5/28 ,  G01J5/58 ,  G01K11/12

CPC classification number: G01J5/04 ,  G01J5/08 ,  G01J5/0803 ,  G01J5/0809 ,  G01J5/0896 ,  G01J5/58 ,  G01J2005/583

Abstract: 　レーザ光を照射する光源部と、この光源部から照射されたレーザ光を試験光と参照光に分離する分離部と、試験光の光路を温度が計測される被計測空間を横断させて配置する受感部と、被計測空間を横断した試験光と参照光とを干渉させて干渉状態の変動を検出することにより温度の変化を検出する検出部とを備えた温度センサにおいて、信頼性の高い温度変動の検出を可能とする温度センサを提供する。 　受感部は試験光の光路と平行とした筒状のケーシングの先端に設けるとともに、このケーシングの基端に分離部を設ける。ケーシングの先端には試験光を通過させる透明体を備えた先端壁を設け、この透明体を通過した試験光を受感部に到達させるとともに、先端壁には参照光を反射する反射体を設ける。

Abstract translation: 提供能够进行高度可靠的温度波动检测的温度传感器。 温度传感器包括用于发射激光的光源单元，用于将从光源单元发射的激光分离成分离单元的测试光和参考光的分离单元，用于布置测试光的光路的感测单元 测量其温度的测量空间;以及检测单元，用于通过使穿过测量空间的测试光和参考光检测出温度变化，从而检测干扰状态的波动。 感测单元设置在与测试光的光路平行的圆筒形壳体的前端，并且分离单元设置在壳体的根部处。 壳体的前端配备有前端壁，前端壁具有用于透射测试光的透明构件，使得经过透明构件的测试光可到达感测单元，并且前端壁配备有反射构件 用于反射参考光。

公开(公告)号：WO2006065772A2

公开(公告)日：2006-06-22

申请号：PCT/US2005/044976

申请日：2005-12-13

Applicant: PURDUE RESEARCH FOUNDATION ,  HUANG, Haiying

Inventor： HUANG, Haiying

IPC: G01B9/02 ,  G02B6/26

CPC classification number: G01N21/45 ,  G01B11/026 ,  G01D5/35303 ,  G01J2005/583 ,  G01N2021/458 ,  G01N2201/08 ,  G01Q60/22 ,  G02B6/02095

Abstract: An optical fiber sensor (16, 50) is provided for displacement measurement, pressure measurement, refractive index measurement, bio/chemical detection, and/or microscopy.

Abstract translation: 提供光纤传感器（16,50）用于位移测量，压力测量，折射率测量，生物/化学检测和/或显微镜检查。

公开(公告)号：JP2015125866A

公开(公告)日：2015-07-06

申请号：JP2013268968

申请日：2013-12-26

Applicant: 東京エレクトロン株式会社

Inventor： 輿水 地塩 ,  松土 龍夫

IPC: H01L21/3065 ,  H05H1/46 ,  H05H1/00

CPC classification number: G01K17/20 ,  H01J37/32724 ,  H01J37/32917 ,  H01J37/32935 ,  H05H1/0043 ,  H05H1/24 ,  G01J2005/583

Abstract: 【課題】プラズマのイオンフラックスを熱流束測定用部材における熱流束として測定する熱流束測定方法を提供する。 【解決手段】第1層41、第2層42及び第3層43がこの順で積層された第1の熱流束測定用部材Sをプラズマに晒した状態で積層方向に低コヒーレンス光を照射して得られる反射光から第1層41内を厚さ方向に往復する低コヒーレンス光の第1層41内での光路長と第3層43内を厚さ方向に往復する低コヒーレンス光の第3層43内での光路長とを測定する。事前に第1の熱流束測定用部材Sの温度と第1層41内及び第3層43内でのそれぞれの低コヒーレンス光の光路長との関係を示す校正データを作成し、第1層41と第3層43の温度を求め、求めた第1層41と第3層43の温度と、第2層42の厚さ及び熱伝導率とから、第1の熱流束測定用部材Sを流れる熱流束qを算出する。 【選択図】図2

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种用于测量等离子体的离子通量作为热通量测量构件中的热通量的热通量测量方法。解决方案：通过照射通过堆叠层叠的第一热通量测量构件S获得的反射光 第一层41，第二层42和第三层43，并且处于暴露于等离子体的状态，层叠方向上的低相干光用于测量第一层41中的光路长度低 在厚度方向上在第一层41中往复运动的相干光和在厚度方向上在第三层43中往复运动的低相干光的第三层43中的光路长度。 示出了表示第一热通量测量部件S的温度与第一层41内部和第三层43内部的低相干光的每个光路长度之间的关系的校正数据。 获取第一层41和第三层43的温度。 从第一层41和第三层43的获取温度和第二层42的厚度和导热率计算在第一热通量测量构件S中流动的热通量q。

公开(公告)号：JP2012202692A

公开(公告)日：2012-10-22

申请号：JP2011064462

申请日：2011-03-23

Applicant: Tokyo Electron Ltd ,  東京エレクトロン株式会社

Inventor： MATSUDO TATSUO ,  KOSHIMIZU CHISHIO

IPC: G01K11/12

CPC classification number: G01K11/12 ,  G01J5/0007 ,  G01J5/0044 ,  G01J5/0821 ,  G01J2005/583

Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a temperature measuring device and a temperature measuring method that can simultaneously measuring temperatures of temperature measurement objects in a plurality of processing chambers.SOLUTION: The temperature measuring device includes: first light separation means of separating light from a light sources into a plurality of light beams for measurement; a plurality of second light separation means of each separating the plurality of light beams for measurement into measurement light beams and reference light beams; third light separation means of separating measurement light into (n) first to (n)th measurement light beams; reference light reflection means of reflecting the plurality of reference light beams respectively; one optical path length varying means of varying optical path lengths of the reference light beams reflected by the reference light reflection means; and a plurality of optical detectors for measuring interference between the first to (n)th measurement light beams reflected by the temperature measurement objects and the plurality of reference light beams reflected by the reference light reflection means.

Abstract translation: 要解决的问题：提供一种能够同时测量多个处理室中的温度测量对象的温度的温度测量装置和温度测量方法。 解决方案：温度测量装置包括：将来自光源的光分离成多个用于测量的光束的第一光分离装置; 多个第二光分离装置，每个将所述多个光束分离成测量光束和参考光束; 将测量光分为（n）个第（i）个测量光束的第三光分离装置; 参考光反射装置，分别反射多个参考光束; 由参考光反射装置反射的参考光束改变光路长度的一个光程长度变化装置; 以及多个光检测器，用于测量由温度测量对象反射的第一至第（N）测量光与由参考光反射装置反射的多个参考光之间的干涉。 版权所有（C）2013，JPO＆INPIT