基于散射原理的光谱测量系统及方法

    公开(公告)号:CN107014491A

    公开(公告)日:2017-08-04

    申请号:CN201710393207.3

    申请日:2017-05-27

    CPC classification number: G01J3/4412

    Abstract: 本发明涉及一种基于散射原理的光谱测量系统及方法。该系统包括:待测支路A、标定支路B、分光棱镜3、散射编码分系统C、探测器6;所述待测支路A与所述标定支路B均与所述分光棱镜3连接,所述分光棱镜3、所述散射编码分系统C及所述探测器6依次串行连接。本发明实施例避免了多次扫描或动镜驱动等,仅需要一次标定过程即可以完成不同信号光光谱测量,通过选择合适散射平均自由程的散射介质,系统的光谱分辨率可以在不增加系统复杂度等前提下最大限度提高。此外,本发明提出的光谱测量系统所需原件成本较低、结构简单且抗扰动能力强。

    基于拉曼光谱的物品检查设备及方法

    公开(公告)号:CN106770168A

    公开(公告)日:2017-05-31

    申请号:CN201611219313.1

    申请日:2016-12-26

    Abstract: 本申请公开了一种基于拉曼光谱的物品检查设备和方法。该物品检查设备包括:激光器,用于发射激光;光学引导装置,用于将所述激光引导到被测物上并收集来自被测物的拉曼散射光;光谱生成装置,用于接收由光学引导装置收集的拉曼散射光并生成拉曼光谱信号;光谱分析装置,用于对所述拉曼光谱信号进行分析以得出检查结果;以及监控装置,用于监控被测物的状态并根据被测物的状态来控制物品检查操作。上述基于拉曼光谱的物品检查设备和方法能够通过对检测过程的监测来提高物品检查操作的可靠性和准确性。

    表面增强拉曼散射元件的制造方法

    公开(公告)号:CN104541157B

    公开(公告)日:2017-03-01

    申请号:CN201380042530.6

    申请日:2013-08-09

    CPC classification number: G01J3/0205 G01J3/4412 G01N21/658 Y10T29/49155

    Abstract: 包括基板、包含细微结构部的成形层、及构成产生表面增强拉曼散射的光学功能部的导电体层的表面增强拉曼散射元件的制造方法包括:第1工序,其在包含多个与基板对应的部分的晶圆的主面形成纳米压印层;第2工序,其在第1工序之后,使用具有与细微结构部对应的图案的模具,将图案复制至纳米压印层,由此针对与基板对应的每个部分,形成与包含细微结构部的成形层对应的部分;第3工序,其在第2工序之后,在细微结构部上形成导电体层;及第4工序,其在第2工序之后,按与基板对应的每个部分切断晶圆。

    检查设备和方法
    66.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104220932B

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201380019174.6

    申请日:2013-01-31

    Inventor: A·登博夫

    Abstract: 一种光谱散射仪检测从目标光栅上的照射光斑衍射的零阶或高阶辐射。设备形成并且检测了零阶(反射)辐射的光谱,并且单独地形成并检测高阶衍射辐射的光谱。使用对称相位光栅形成每个光谱,以便于形成并且检测对称光谱对。成对的光谱可以平均以获得具有减小的焦点敏感性的单个光谱。比较两个光谱可以产生用于改进后续光刻步骤中的高度测量的信息。目标光栅被倾斜定向以使得零阶和高阶辐射在不同平面中从光斑发出。两个散射仪可以同时操作,从而从不同倾斜方向照射目标。径向透射滤光片减小了光斑中的旁波瓣并且减小了产品交叉串扰。

    一种基于CARS效应的太赫兹波频率测量装置及方法

    公开(公告)号:CN106092321A

    公开(公告)日:2016-11-09

    申请号:CN201610493507.4

    申请日:2016-06-24

    Applicant: 天津大学

    CPC classification number: G01J3/4412

    Abstract: 本发明公开了一种基于CARS效应的太赫兹波频率测量装置及方法,激光器射出的激光依次垂直入射至分光镜和离轴抛物面镜,经分光镜和离轴抛物面镜反射后的激光和待探测光通过凸透镜聚焦后入射至样品,通过样品后的光一部分被挡板吸收,另一部分形成反斯托克斯光,挡板的后方设有用于探测反斯托克斯光的探测装置,步进移动平台的前方一侧设有标尺,标尺连接有用于采集狭缝位置信息的信息采集器。本发明装置具有测量范围广、灵敏度高、可靠性高、结构紧凑、成本低且能够在室温条件下工作的特点,适用于太赫兹科研领域以及太赫兹技术的实际应用领域,并可通过其测量方法得到精确可靠的待测光频率。

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