추진 가스를 검출하는 방법
    61.
    发明公开
    추진 가스를 검출하는 방법 审中-实审
    检测推进剂气体的方法

    公开(公告)号:KR1020150005702A

    公开(公告)日:2015-01-14

    申请号:KR1020147033943

    申请日:2012-05-02

    Applicant: 윌코아게

    Abstract: 본 발명은, 특히 3.30 내지 3.5 μm 범위의 레이저 광을 이용하여, 기상 샘플 내의 추진제의 존재를 검출하기 위한 방법 및 시스템에 관한 것이다. 추진제는 프로판, n-부탄, i-부탄, 디메틸 에테르, 메틸 에틸 에테르, HFA 134a, HFA 227, 또는 필요한 파장 범위에서 흡수를 보이는 임의의 다른 추진제일 수 있다. 상기 추진제의 존재는 시험 광 펄스의 진폭을 기준 광 펄스의 진폭과 비교함으로써 검출된다. 본 발명은 또한, 현존하는 시험 방법을 대치할 수 있는 고속 높은 정확도의 누출 검출을 가능하게 하는, 에어로졸 또는 연료 캐니스터와 같은 추진제 포함 용기의 누출 시험에 이러한 방법을 적용하는 것에 관한 것이다.

    웨이퍼 결함 검출 시스템
    63.
    发明公开
    웨이퍼 결함 검출 시스템 失效
    用于检测缺陷的系统

    公开(公告)号:KR1020050109925A

    公开(公告)日:2005-11-22

    申请号:KR1020057013165

    申请日:2004-01-11

    Abstract: Fast on-line electro-optical detection of wafer defects by illuminating with a short light pulse from a repetitively pulsed laser, a section of the wafer while it is moved across the field of view of an imaging system, and imaging the moving wafer onto a focal plane assembly, optically forming a continuous surface of photo-detectors at the focal plane of the optical imaging system. The continuously moving wafer is illuminated by a laser pulse of duration significantly shorter than the pixel dwell time, such that there is effectively no image smear during the wafer motion. The laser pulse has sufficient energy and brightness to impart the necessary illumination to each sequentially inspected field of view required for creating an image of the inspected wafer die. A novel fiber optical illumination delivery system, which is effective in reducing the effects of source coherence is described. Other novel aspects of the system include a system for compensating for variations in the pulse energy of a Q-switched laser output, methods for autofocussing of the wafer imaging system, and novel methods for removal of repetitive features of the image by means of Fourier plane filtering, to enable easier detection of wafer defects.

    Abstract translation: 通过用来自重复脉冲激光器的短光脉冲照射晶片缺陷的快速在线电光检测,晶片的一部分在成像系统的视场内移动,并将移动的晶片成像到 焦平面组件,在光学成像系统的焦平面处光学地形成光电检测器的连续表面。 持续移动的晶片被持续时间显着短于像素停留时间的激光脉冲照亮,使得在晶片运动期间实际上没有图像污迹。 激光脉冲具有足够的能量和亮度,以对于产生被检查的晶片管芯的图像所需的每个顺序检查的视场赋予必要的照明。 描述了一种有效减少源相干效应的新型光纤照明传输系统。 该系统的其他新颖的方面包括用于补偿Q开关激光输出的脉冲能量变化的系统,用于晶片成像系统的自动聚焦的方法,以及通过傅里叶平面去除图像的重复特征的新颖方法 过滤,以便更容易地检测晶片缺陷。

    연소실 내 가스 측정 방법 및 장치
    66.
    发明公开
    연소실 내 가스 측정 방법 및 장치 审中-实审
    燃烧室气体测量方法与系统

    公开(公告)号:KR1020140049505A

    公开(公告)日:2014-04-25

    申请号:KR1020137023519

    申请日:2012-03-07

    Abstract: 본 발명은 레이저 펄스에 의해 발전 플랜트 또는 열병합 발전소의 연소실 내의 소정 위치에서 하나 이상의 가스 상태를 측정하기 위한 방법에 관한 것이다. 상기 가스 측정 방법은, 레이저 펄스를 상기 연소실 내에 방출하는 단계(S1), 레이저 펄스가 상기 연소실 내에 방출되는 제 1 시점을 측정하는 단계(S2), 상기 연소실 내의 소정 위치에서 가스 분자에 의해 후방 산란된 레이저 광원을 검출하는 단계(S3), 상기 가스 분자에 의해 후방 산란된 레이저 광원이 검출되는 제 2 시점을 측정하는 단계(S4), 상기 제 1 시점, 제 2 시점, 그리고 상기 레이저 펄스의 펄스 길이를 기초로 한 위치를 측정하는 단계(S5), 및 상기 제 2 시점에서 검출된 후방 산란 레이저 광원의 하나 이상의 특성을 기초로 하여 소정 위치에서 하나 이상의 가스 상태를 측정하는 단계(S6)를 포함한다. 또한 가스 측정 장치 및 연소 장치가 본 명세서에 제공된다.

    광학 검사 시스템 및 그 방법
    68.
    发明公开
    광학 검사 시스템 및 그 방법 审中-实审
    光学检测系统和方法

    公开(公告)号:KR1020160142292A

    公开(公告)日:2016-12-12

    申请号:KR1020167025513

    申请日:2015-03-19

    CPC classification number: G01N21/8806 G01N2201/06113 G01N2201/0697

    Abstract: 광학검사시스템으로서, 물체의다수의제2 영역을영상화하도록하는다수의제1 카메라; 다수의제3 조명소스; 그리고다수의제3 조명소스들로부터의조명을결합하도록하고그 다음이와같이결합된조명을다수의제2 영역으로향하도록하는하나이상의조명매니저를포함하며, 하나이상의조명매니저가비임디스트리뷰터를포함하여, 다수의비 상호간섭, 공간적으로집중된레이저펄스(non-mutually coherent, spatially concentrated laser pulses)의혼합입력비임을수신하고다수의비 상호간섭, 공간적으로집중된레이저펄스의혼합출력비임을다수의제2 영역에해당하는상응하는다수의공간적으로떨어져있는위치로향하도록하는광학검사시스템.

    Abstract translation: 一种光学检查系统,包括第一多个摄像机,其操作以对物体上的第二多个区域进行成像,第三多个照明源和至少一个照明管理器,其操作以组合来自第三多个照明源的照明, 所述至少一个照明管理器包括光束分布器,其接收多个非相互相干的空间集中的激光脉冲的复合输入光束,并且引导多个非相干空间集中的激光脉冲的多个复合输出光束, - 相当一致的,空间上集中的激光脉冲到对应于第二多个区域的对应的多个空间不同的位置。

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