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公开(公告)号：JP3648246B2
公开(公告)日：2005-05-18
申请号：JP51944596
申请日：1995-09-09
Applicant: ライボルト ヴァークウム ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング
Inventor： キュスター ゲルハルト
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公开(公告)号：JP2016513787A
公开(公告)日：2016-05-16
申请号：JP2015560565
申请日：2013-07-09
Inventor： アンドレアウス，ベルンハルト , エンデレス，ロルフ , ビュスト，マルティン , ウンテルマルゾネル，オスカル , ストッカー，ルドルフ
IPC: G01L21/34
Abstract: 電離真空測定セルは、陽極(3A)と陰極(4K)とを測定チャンバ(107)内に含む。測定チャンバ(107)は、外側に向かって陰極(4K)の接続ロッド(104)のための真空気密フィードスルー(103)を有するハウジング(101)内に配置される。測定チャンバ(107)は、ロッド(104)を、絶縁性のみであるフィードスルー(109)において保持する。ハウジング(101)における測定チャンバ(107)は、解放可能なプラグ接続(106)によって交換され得る。
Abstract translation: 电离测量电池包括阳极（3A）和阴极（4K）和所述测量室（107）内。 测量室（107）设置在具有通过（103），用于朝向所述连接杆（104）的外侧（4K）的阴极真空密封进料在所述壳体（101）内。 测量室（107），所述杆（104），在馈通（109）保持的唯一的绝缘。 在所述壳体（101）（107）的测量室可以通过可释放的插塞连接（106）被替换。
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公开(公告)号：JP5762749B2
公开(公告)日：2015-08-12
申请号：JP2010539468
申请日：2008-12-17
Applicant: エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド , MKS INSTRUMENTS,INCORPORATED
Inventor： ブラッカー・ジェラルド・エー
IPC: G01L21/30
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64.发明专利
公开(公告)号：JP2010276597A
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：JP2010047685
申请日：2010-03-04
Applicant: Canon Anelva Corp , キヤノンアネルバ株式会社
Inventor： KAWASAKI HIROSADA , KIKUCHI TOSHIO
IPC: G01L21/34
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cold cathode ionization vacuum gauge for triggering discharge in a short time even when using over a long period of time without complicating an apparatus. SOLUTION: The cold cathode ionization vacuum gauge includes the structure in which a rod-like anode 2 is located in an internal part of a measuring element container (cathode) 1 having a discharge space 9 whose one end is sealed, and a discharge starting auxiliary electrode 5 is mounted on this anode 2. The discharge starting auxiliary electrode 5 triggers the discharge in a short time by the formation of a carbon nano tube layer 10 on a discharge starting auxiliary electrode plate 7. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种冷阴极电离真空计，即使长时间使用也能在短时间内触发放电，而不会使装置复杂化。 解决方案：冷阴极电离真空计包括其中棒状阳极2位于具有其一端被密封的放电空间9的测量元件容器（阴极）1的内部的结构，以及 放电起动辅助电极5安装在该阳极2上。放电起始辅助电极5通过在放电起始辅助电极板7上形成碳纳米管层10而在短时间内触发放电。版权所有 C）2011，JPO＆INPIT
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公开(公告)号：JP2009128276A
公开(公告)日：2009-06-11
申请号：JP2007305526
申请日：2007-11-27
Applicant: Shinku Jikkenshitsu:Kk , 有限会社真空実験室
Inventor： WATANABE FUMIO
IPC: G01L21/34
CPC classification number: C23C16/4412 , C23C14/564 , H01J7/24 , H01J41/06
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ionization vacuum device protecting an electrode against contaminants in a vacuum vessel. SOLUTION: The ionization vacuum device includes: a vacuum vessel 13; an anode 11 provided in the vessel 13, cathodes 12a and 12b provided in the vessel 13; a discharging power source 19 for supplying discharging power into the anode 11 and the cathodes 12a and 12b; a cathode heating power source 18 for supplying heating power to the cathode; and means 16a and 16b for forming a magnetic field between the anode 11 and the cathodes 12a and 12b. The device connects the vacuum vessel 13 with another vacuum vessel to measure a pressure in the latter vacuum vessel or evacuates the latter vacuum vessel. The device is characterized in that it includes a control means for heating the cathodes 12a and 12b by the cathode heating power source 18 while causing a gas in the vacuum vessel 13 to discharge, and keeping a temperature in the cathodes 12a and 12b within a temperature range where thermo-electrons are not emitted from the cathodes 12a and 12b. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题：提供一种电离真空装置，其保护电极免受真空容器中的污染物的影响。 电解真空装置包括：真空容器13; 设置在容器13中的阳极11，设置在容器13中的阴极12a和12b; 用于向阳极11和阴极12a和12b提供放电电力的放电电源19; 用于向阴极提供加热功率的阴极加热电源18; 以及用于在阳极11和阴极12a和12b之间形成磁场的装置16a和16b。 该装置将真空容器13与另一个真空容器连接，以测量后一个真空容器中的压力或排空后一个真空容器。 该装置的特征在于，其包括用于通过阴极加热电源18加热阴极12a和12b同时使真空容器13中的气体排出并将阴极12a和12b中的温度保持在温度 其中热电子不从阴极12a和12b发射。 版权所有（C）2009，JPO＆INPIT
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：WO2016017720A1
公开(公告)日：2016-02-04
申请号：PCT/JP2015/071563
申请日：2015-07-29
Applicant: 国立研究開発法人産業技術総合研究所
Inventor： 吉田 肇
CPC classification number: G01L27/00 , G01L21/32 , G01L21/34 , G01L27/007 , G01N27/62 , H01J27/02 , H01J37/08 , H01J41/06
Abstract: 簡易な構成により真空計の汚染度を精度よく診断できる真空計や、簡易な手順により真空計の汚染度を精度よく診断できる汚染度診断方法を提供する。 通常動作モードと汚染診断モードとを有する真空計であって、通常動作モードで真空圧力を測定するための陽極１及び陰極３と、汚染診断モードで上記真空圧力を測定するための陽極７及び陰極３と、陽極７及び陰極３間で測定された電流の大きさと陽極１及び陰極３間で測定された電流の大きさとを比較するコントローラ１０とを備えた冷陰極電離真空計を提供する。
Abstract translation: 提供：具有简单配置的真空计可以精确地诊断真空计的污染程度; 以及通过简单的过程可以精确地诊断真空计的污染程度的污染诊断方法。 本发明提供一种具有正常操作模式和污染诊断模式的冷阴极电离真空计，所述冷阴极电离真空计包括：用于在正常操作模式下测量真空压力的阳极1和阴极3; 阳极7和阴极3，用于测量污染诊断模式中的真空压力; 以及控制器10，其比较阳极7和阴极3之间测量的电流的大小以及在阳极1和阴极3之间测量的电流的大小。
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公开(公告)号：WO2013033851A1
公开(公告)日：2013-03-14
申请号：PCT/CH2012/000177
申请日：2012-08-02
Applicant: INFICON GMBH , ANDREAUS, Bernhard
Inventor： ANDREAUS, Bernhard
Abstract: Eine lonisations - Vakuummesszelle umfasst: a) ein evakuierbares Gehäuse (10) mit einem Messanschluss (8) für das zu messende Vakuum, b) eine erste äussere und eine zweite innere Elektrode (3, 4), die koaxial und beabstandet zueinander angeordnet sind mit einer gemeinsamen Achse (7), wodurch zwischen diesen beiden Elektroden eine Messkammer (20) ausgebildet ist, die mit dem Messanschluss (8) kommuniziert, c) einer Spannungsquelle (16), die mit den Elektroden (3, 4) verbunden ist, d) ein Strommessmittel (17) zur Auswertung eines Entladungsstromes ausgebildet zwischen den Elektroden (3, 4), e) mindestens einen Permanentmagnetring (1), der die koaxiale Anordnung der Elektroden (3, 4) umschliesst, mit radial zur Achse ausgerichteter Magnetisierungsrichtung (13) und mit einem diesen Permanentmagnetring (1) umschliessenden weichmagnetischen Joch (2), wobei das Joch (2) in axialer Richtung beidseitig vom Permanentmagnetring (1) weg geführt ist und nach einem vorgegebenen Abstand (d) vom Permanentmagnetring (1) auf beiden Seiten in radialer Richtung zur Achse (7) und der ersten Elektrode (3) hin geführt ist, derart dass das Joch (2) beidseitig, beabstandet vom Permanentmagnetring (1) zwei ringförmige Pole (9a, b) ausbildet über welche mindestens ein Teil der Feldlinien des Permanentmagnetringes (1) sich innerhalb der Messkammer (20), die erste Elektrode (3) durchdringend, schliessen.
Abstract translation: 电离 - 真空测量单元包括：a）一可抽真空的外壳（10）与所测得的真空测量口（8），b）第一外和第二内部电极（3,4），其同轴地布置，并且彼此以间隔开的 其被连接到所述电极的公共轴线（7），由此在这两个电极之间形成一个测量室（20），其与测量连接（8）连通，c）中的电压源（16）（3,4）D， ）形成用于评估所述电极之间的放电电流（3，4），e）至少一个永磁体的环（1），其包围的电极（3同轴布置，4）具有径向对准的磁化方向的轴的电流测量装置（17）（13 围），并且这与永磁体环（1）软磁性磁轭（2），所述磁轭（2）在轴向方向（永久磁铁环1）的两侧被引导出，从P上的预定距离（d）之后 ermanentmagnetring（1）在径向方向上被引导在两侧上于所述轴线（7）和第一电极（3）后面，从而使磁轭（2）的两侧，从永久磁铁环间隔开（1）的两个环形磁极（参照图9A，B）形式的 通过该至少永磁体环的场线的部分（1）的测量腔（20），第一电极（3），接近穿透内。
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公开(公告)号：WO2009085165A3
公开(公告)日：2009-09-24
申请号：PCT/US2008013790
申请日：2008-12-17
Applicant: BROOKS AUTOMATION INC , BRUCKER GERARDO A
Inventor： BRUCKER GERARDO A
Abstract: An ionization gauge includes an electron generator array that includes a microchannel plate that includes an electron generating portion of the microchannel plate comprising a source for generating seed electrons and an electron multiplier portion of the microchannel plate, responsive to the seed electrons generated by the electron generating portion, that multiplies the electrons. The ionization gauge includes an ionization volume in which the electrons impact a gaseous species, and a collector electrode for collecting ions formed by the impact between the electrons and gas species. The collector electrode can be surrounded by the anode, or the ionization gauge can be formed with multiple collector electrodes. The source of electrons can provide for a spontaneous emission of electrons, where the electrons are multiplied in a cascade.
Abstract translation: 电离计包括电子发生器阵列，其包括微通道板，该微通道板包括微通道板的电子产生部分，该微通道板包括用于产生种子电子的源和微通道板的电子倍增器部分，其响应于由电子产生产生的种子电子 部分，乘以电子。 电离计包括其中电子撞击气态物质的离子化体积，以及用于收集由电子和气体物质之间的冲击形成的离子的集电极。 集电极可以被阳极包围，或者电离计可以形成多个集电极。 电子源可以提供电子的自发发射，其中电子被级联地相乘。
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公开(公告)号：WO2009063233A2
公开(公告)日：2009-05-22
申请号：PCT/GB2008/050913
申请日：2008-10-07
Applicant: EDWARDS LIMITED , KEY, Matthew
Inventor： KEY, Matthew
CPC classification number: H01J41/06
Abstract: A gauge head (10) for an ionisation vacuum gauge includes an electrical device (12, 28, 54) operable to provide an electrical discharge in a gas whose pressure is to be measured to initiate ion discharge in the gas.
Abstract translation: 用于电离真空计的测头（10）包括电气装置（12,28,54），所述电气装置可操作以提供气体中的放电，所述气体的压力将被测量以启动在 天然气。
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公开(公告)号：WO2005065417A2
公开(公告)日：2005-07-21
申请号：PCT/US2004044070
申请日：2004-12-17
Inventor： LIU KUN
Abstract: A cold cathode ion gauge is provided that is suitable for use in a high vacuum and in the presence of contaminating gases. By decreasing the discharge current and, more precisely, decreasing the charge current density received by the gauge electrodes, and using certain type of materials for the gauge electrodes, the mechanism by which insulating films are deposited on surface of the electrodes is attenuated and the life of the gauge is significantly prolonged. The gauge discharge current can be decreased by providing a large resistor in series with the anode, while the charge current density can be decreased by using an electrode with larger surface area, which can be achieved by fabricating grooves or fans on electrodes and by using low electron backscattering and low secondary emission materials, like carbon. Another concept of constant current mode is also proposed in this invention for extending the lifetime of CCIGs that are used for vacuum containing unfriendly gases.
Abstract translation: 提供了一种适用于高真空和有污染气体存在的冷阴极离子计。 通过减小放电电流，更准确地说，降低了由电极接收的充电电流密度，并且使用某些类型的用于量规电极的材料，绝缘膜沉积在电极表面上的机制被衰减并且寿命 的量规显着延长。 可以通过提供与阳极串联的大电阻器来减小表压放电电流，同时可以通过使用具有较大表面积的电极来降低充电电流密度，这可以通过在电极上制造凹槽或风扇并且通过使用低 电子后向散射和低二次发射材料，如碳。 在本发明中还提出了恒流模式的另一概念，用于延长用于含有不友好气体的真空的CCIG的寿命。
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