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公开(公告)号：CN105738997A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201510966938.3
申请日：2015-12-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供能够抑制干涉滤波器的分辨率降低的光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备。光学滤波器装置具备：波长可变干涉滤波器(5)，具备固定基板(51)、与固定基板相对且具有相对于固定基板进退的可动部(521)的可动基板(52)、设置在固定基板上的固定反射膜(54)、及设置在可动基板的可动部且与固定反射膜相对的可动反射膜(54)；固定波长可变干涉滤波器的底座(62)；以及固定材料(64)，将各基板(51、52)中的至少一方，在沿着基板厚度方向的一面侧的至少一个位置处固定在底座，其中，以通过固定材料固定的固定位置作为固定端的波长可变干涉滤波器的一阶共振频率，在可动部的一阶共振频率的一半以下。
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公开(公告)号：CN103221792B
公开(公告)日：2016-05-11
申请号：CN201180056291.0
申请日：2011-09-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
Abstract: 分光传感器（1）具备：多个干涉滤波部（20A,20B,20C），具有腔体层（21）以及经由腔体层（21）而相对的第1和第2镜面层（22,23），并使规定的波长范围的光根据入射位置选择性地透过；光透过基板（3），配置在第1镜面层（22）侧，使入射至干涉滤波部（20A,20B,20C）的光透过；以及光检测基板（4），配置在第2镜面层（23）侧，检测透过了干涉滤波部（20A,20B,20C）的光。第2镜面层（23），在每个干涉滤波部（20A,20B,20C）被分离。腔体层（21）遍及干涉滤波部（20A,20B,20C）的各个而一体地形成，腔体层（21）的一部分进入相邻的第2镜面层（23,23）间的区域。
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公开(公告)号：CN104272069B
公开(公告)日：2016-04-06
申请号：CN201380023041.6
申请日：2013-05-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0213 , G01J3/2803 , G01J3/45 , G01J2003/1234
Abstract: 分光传感器(1A)具备：具有腔层(21)以及第1和第2镜层(22、23)的干涉滤光部(20A)；具有透过了干涉滤光部(20A)的光进行入射的受光面(32a)的光检测基板(30)。干涉滤光部(20A)包含：与受光面(32a)相对应的第1滤光区域(24)；以及包围第1滤光区域(24)的环状的第2滤光区域(25)。光检测基板(30)的垫片部(33a)以包含于第2滤光区域(25)的方式设置有多个，在第2滤光区域(25)，形成有用于使垫片部(33a)露出至外部的贯通孔(6)。
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公开(公告)号：CN105453351A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201480044218.5
申请日：2014-06-26
Applicant: 浜松光子学株式会社
Inventor： 藁科祯久
CPC classification number: H01S3/1062 , G01J3/10 , G02B26/001 , H01S3/025 , H01S3/07 , H01S3/08027 , H01S3/08059 , H01S3/08086 , H01S3/0809 , H01S3/0823 , H01S3/105 , H01S5/02248 , H01S5/02288 , H01S5/1092 , H01S5/142 , H01S5/183
Abstract: 本发明所涉及的波长可变光源(1A)具备由第1激光媒介物(M1)和全反射镜(K1A)以及半反射镜(K2)构成的第1光共振器(R1)、由第2激光媒介物(M2)和全反射镜(K1B)以及半反射镜(K2)构成的第2光共振器(R2)、具有一对第1反射镜(S1a,S1b)并且选择性地使第1光(L1)以及第2光(L2)透过以及反射的第1滤光器(FP1)、具有一对第2反射镜(S2a,S2b)并且选择性地使第1光(L1)以及第2光(L2)透过以及反射的第2滤光器(FP2)、使第1反射镜(S1a)以及第2反射镜(S2a)联动而动作的第1驱动机构(A1)、使第2反射镜(S2b)进行动作的第2驱动机构(A2)。
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公开(公告)号：CN104272070B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201380023137.2
申请日：2013-05-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0259 , G01J3/0291 , G01J3/36 , G01J3/45
Abstract: 分光传感器(1A)包括：具有腔层(21)以及第1和第2镜层(22、23)的干涉滤光部(20A)；以及具有透过了干涉滤光部(20A)的光进行入射的受光面(32a)的光检测基板(30)。干涉滤光部(20A)包括与受光面(32a)对应的第1滤光区域(24)和包围第1滤光区域(24)的环状的第2滤光区域(25)。第1滤光区域(24)中，第1镜层(22)和第2镜层(23)之间的距离变化，第2滤光区域(25)中，第1镜层(22)和第2镜层(23)之间的距离固定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104034423B
公开(公告)日：2016-03-09
申请号：CN201410284098.8
申请日：2014-06-23
Applicant: 中国科学院光电研究院
Abstract: 本发明公开了一种高稳定性转镜干涉仪，包括分束器、第一平面反射镜、第二平面反射镜、倾斜反射镜、第三平面反射镜以及能量收集镜，其中，所述第一平面反射镜与所述第二平面反射镜平行设置构成旋转反射镜组，所述旋转反射镜组固定连接转轴，通过所述转轴的旋转所述旋转反射镜组转动，所述倾斜反射镜具有倾角，所述旋转反射镜组的出射光垂直入射所述倾斜反射镜。采用一对平行平面镜保证了入射光线和出射光线平行，平面镜组的旋转保证了系统自稳定性和减少了探测时间，系统结构简单，降低了加工装调难度和生产成本的。
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公开(公告)号：CN105339829A
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201480036511.7
申请日：2014-06-24
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G02B26/001 , G01J3/26
Abstract: 本发明所涉及的法布里-珀罗干涉滤光片(10A)的特征在于：具备：第1反射镜(31)、经由空隙(S)与第1反射镜(31)相对的第2反射镜(41)、以包围光透过区域(11)的形式被形成于第1反射镜(31)的第1电极(17)、以包含光透过区域(11)的形式被形成于第1反射镜(31)的第2电极(18)、以与第1电极(17)以及第2电极(18)相对的形式被形成于第2反射镜(41)并以同电位与第2电极(18)相连接的第3电极(19)；第2电极(18)在第1反射镜(31)与第2反射镜(41)相对的相对方向(D)上相对于第1电极(17)位于第3电极(19)的一侧或者其相反侧。
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公开(公告)号：CN103229029B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201180056110.4
申请日：2011-09-21
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/28 , G01J3/26 , G02B5/201 , G02B5/288 , Y10T156/1111 , Y10T156/1195
Abstract: 分光传感器（1）的制造方法具备：在处理基板上通过纳米印刷法形成腔体层（21）的第1工序；在第1工序后，在腔体层（21）上形成第1镜面层（22）的第2工序；在第2工序后，在第1镜面层（22）上接合光透过基板（3）的第3工序；在第3工序后，从腔体层（21）除去处理基板的第4工序；在第4工序后，在除去了处理基板的腔体层（21）上形成第2镜面层（23）的第5工序；以及在第5工序后，在第2镜面层（23）上接合光检测基板（4）的第6工序。
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公开(公告)号：CN104272069A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201380023041.6
申请日：2013-05-08
Applicant: 浜松光子学株式会社
CPC classification number: G01J3/26 , G01J3/0213 , G01J3/2803 , G01J3/45 , G01J2003/1234
Abstract: 分光传感器(1A)具备：具有腔层(21)以及第1和第2镜层(22、23)的干涉滤光部(20A)；具有透过了干涉滤光部(20A)的光进行入射的受光面(32a)的光检测基板(30)。干涉滤光部(20A)包含：与受光面(32a)相对应的第1滤光区域(24)；以及包围第1滤光区域(24)的环状的第2滤光区域(25)。光检测基板(30)的垫片部(33a)以包含于第2滤光区域(25)的方式设置有多个，在第2滤光区域(25)，形成有用于使垫片部(33a)露出至外部的贯通孔(6)。
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公开(公告)号：CN102822720B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201180017455.9
申请日：2011-03-15
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 若井浩志
Abstract: 第1传感器（31）与第3传感器（33）、第2传感器（32）与第4传感器（34）被配置在以连接一对光学基板（2）的相对的面的重心的线为轴而对称的位置处，第1～第4致动器（41～44）分别配置在从一对光学基板（2）的相对的面的重心向第1～第4传感器（31～34）各自的中心方向延伸的线的线上，该可变分光元件具有控制部，该控制部根据第1～第4传感器（31～34）的信号计算一对光学基板（2）的相对的面的重心彼此之间的间隔（x），根据第1传感器（31）的信号和第3传感器（33）的信号计算移动的光学基板的相对的面和与连接重心的线垂直的面所成的第1角度（θ），根据第2传感器（32）的信号和第4传感器（34）的信号计算移动的光学基板的相对的面和与连接重心的线垂直的面所成的第2角度根据间隔（x）、角度（θ和）对第1～第4致动器（41～44）进行驱动，对间隔（x）、角度（θ和）进行FB控制和FF控制。
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