슬러리용 첨가제 조성물, 이를 포함하는 슬러리 조성물 및연마 방법
    71.
    发明公开
    슬러리용 첨가제 조성물, 이를 포함하는 슬러리 조성물 및연마 방법 有权
    用于浆料的添加剂组合物,包含组合物和抛光方法的硫酸盐组合物

    公开(公告)号:KR1020030039999A

    公开(公告)日:2003-05-22

    申请号:KR1020020023087

    申请日:2002-04-26

    CPC classification number: C09G1/02 B24B37/044 B24B37/24 C09K3/1463 H01L21/3212

    Abstract: PURPOSE: An additive composition for slurry, a slurry composition containing the additive composition and a polishing method using the slurry composition are provided, to improve the polishing selectivity to a specific layer. CONSTITUTION: The additive composition comprises 50-95 wt% of a salt of first polymeric acid containing a first polymeric acid having first mass average molecular weight and a first basic material; and 5-50 wt% of a salt of second polymeric acid containing a second polymeric acid having second mass average molecular weight larger than the first mass average molecular weight and a second basic material. Preferably the first and second polymeric acids are selected from the group consisting of poly(acrylic acid), poly(acrylic acid-co-maleic acid) or poly(methyl vinyl ether-alt-maleic acid); and the first and second basic materials are at least one selected from the group consisting of NaOH, KOH, NH4OH and a basic amine. The slurry composition comprises the additive composition; a polishing particle composition; and water.

    Abstract translation: 目的:提供用于浆料的添加剂组合物,含有添加剂组合物的浆料组合物和使用该浆料组合物的抛光方法,以提高对特定层的抛光选择性。 构成:添加剂组合物包含50-95重量%的第一聚合酸盐,其含有具有第一质均分子量和第一碱性物质的第一聚合酸; 和5-50重量%的第二聚合酸盐,其含有第二重质均分子量大于第一质均分子量的第二聚合酸和第二碱性物质。 优选地,第一和第二聚合酸选自聚(丙烯酸),聚(丙烯酸 - 共 - 马来酸)或聚(甲基乙烯基醚 - 马来酸 - 马来酸); 并且第一和第二基本材料是选自NaOH,KOH,NH 4 OH和碱性胺中的至少一种。 浆料组合物包含添加剂组合物; 抛光颗粒组合物; 和水。

    교환시스템의 로딩 시간 단축 방법
    72.
    发明授权
    교환시스템의 로딩 시간 단축 방법 失效
    交换机系统装载时间的方法

    公开(公告)号:KR100295762B1

    公开(公告)日:2001-07-12

    申请号:KR1019990012308

    申请日:1999-04-08

    Inventor: 이동준

    Abstract: 본발명은교환시스템에관한것으로서, 특히프로세서별로진행되는로딩시간을단축하는방법에관한것이다. 본발명은프로세서별로데이타를공유할수 있도록하기위한데이터베이스관리시스템을구비하며, 운용및 유지보수역할을수행하는운용및 유지보수프로세서와, 다수의프로세서를구비한교환시스템의로딩시간단축방법에있어서, 상기다수의프로세서중하나의프로세서로부터로딩요구가인입될경우상기로딩요구를검사하여초기화로딩요구일경우상기로딩요구를발생한프로세서로프로세서의상태를나타내는정보를요구하는프로세서상태요구메시지를송신하는과정과, 상기프로세서상태요구메시지를송신한후 상기프로세서로부터상기프로세서상태응답메시지수신에상응하여발생한프로세서상태응답메시지를수신하는과정과, 상기프로세서상태응답메시지를수신한후 씨알오에스운용체제텍스트와, 프로세서로더데이터와, 데이터베이스커널그룹데이터와, 프로세서로드데이터의데이터및 텍스트사이즈를상기프로세서로전송하는과정과, 상기프로세서에서상기운용및 유지보수프로세서에서전송한상기씨알오에스운용체제텍스트와, 프로세서로더데이터와, 데이터베이스커널그룹데이터와, 프로세서로드데이터의데이터및 텍스트사이즈를메모리에로딩하는과정과, 상기씨알오에스운용체제텍스트와, 프로세서로더데이터와, 데이터베이스커널그룹데이터와, 프로세서로드데이터의데이터및 텍스트사이즈를메모리에로딩한후 상기씨알오에스운용체제를실행하는과정과, 상기씨알오에스운용체제를실행한후 상기로딩받은프로세서로드데이터의텍스트사이즈를근거로하여프로세서로드데이터빈영역사이즈를계산하는과정과, 상기계산한프로세서로드데이터빈영역사이즈를근거로하여해당하는영역에프로세서로드데이터빈영역및 시스템버퍼영역을할당하는과정과, 상기프로세서로드데이터빈영역및 시스템버퍼영역을할당한후 프로세서로더블록이실행되면상기할당되어있는프로세서로드데이터빈영역을초기화하는과정으로이루어진다.

    반도체 스퍼터링설비의 타겟판
    74.
    发明公开
    반도체 스퍼터링설비의 타겟판 无效
    半导体溅射设备的靶板

    公开(公告)号:KR1019990065405A

    公开(公告)日:1999-08-05

    申请号:KR1019980000678

    申请日:1998-01-13

    Inventor: 이동준 정용화

    Abstract: 본 발명은 배킹플레이트(Backing Plate)와 타겟(Target)을 일체화하여 냉각효율을 향상시키게 하는 반도체 스퍼터링설비의 타겟판에 관한 것이다.
    본 발명에 따른 반도체 스퍼터링설비의 타겟판은, 일면에 냉각수가 흐르도록 형성되는 배킹플레이트(Backing Plate)와 상기 배킹플레이트의 다른 일면에 접촉되어 냉각되고, 웨이퍼의 금속박막의 재료가 되는 타겟(Target)을 구비하는 반도체 스퍼터링설비의 타겟판에 있어서, 상기 배킹플레이트와 상기 타겟 사이가 밀착되도록 상기 배킹플레이트와 상기 타겟 사이의 접촉면을 용접시켜서 일체화하는 것을 특징으로 한다.
    따라서, 타켓의 냉각효과를 향상시키고, 제품의 수명을 향상시키며, 파티클의 발생을 방지하여 웨이퍼의 수율을 향상시키고, 부품의 갯수를 줄이게 하는 효과를 갖는다.

    전전자교환기에서 시스템 장애관리 및 복구방법
    75.
    发明公开
    전전자교환기에서 시스템 장애관리 및 복구방법 失效
    电子交换机中的系统故障管理和恢复方法

    公开(公告)号:KR1019980057414A

    公开(公告)日:1998-09-25

    申请号:KR1019960076703

    申请日:1996-12-30

    Inventor: 이동준

    Abstract: 가. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야:
    전전자 교환기에서 시스템 장애관리 및 복구방법
    나. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제:
    전전자 교환기에서 발생할 수 있는 하드웨어 및 소프트웨어 장애 등의 시스템 장애를 신속하게 복구 처리를 할 수 있도록 한다.
    다. 그 발명의 해결방법의 요지:
    전전자 교환기에서 발생할 수 있는 하드웨어 및 소프트웨어 장애 등의 시스템 장애를 검출하여 보관하고 있다가 시스템의 장애내역을 분석하여 시스템의 장애를 신속하게 복구 처리한다.
    라. 발명의 중요한 용도:
    전전자교환기 유지보수

    전전자교환기에서 다수의 종류 테이프 구동방법 및 장치

    公开(公告)号:KR1019970068411A

    公开(公告)日:1997-10-13

    申请号:KR1019960006357

    申请日:1996-03-11

    Inventor: 이동준

    Abstract: 1. 청구범위에 기재된 발명이 속한 기술분야:
    전전자교환기에서 MT, CT, DAT등과 같은 여러종류의 테이프를 공동으로 사용할 수 있도록 테이프를 구동하는 기술이다.
    2. 발명이 해결하려고 하는 기술적 과제:
    외부로부터 제공되는 백업 및 덤프데이타에 따라 유지보수프로세서는 스카시어뎁터를 제어하여 MT만을 구동시킬 수 있기 때문에 다른종류의 테이프 구동장치를 장착하였을시 시스템 운용에 큰 장애를 초래할 수 있었다.
    3. 발명의 해결방법의 요지:
    데이타를 백업하거나 덤프하기 위한 제어명령을 받아 장착된 테이프형태를 검출하고, 상기 장착된 테이프를 구동하기 위한 제어데이타를 구성한 후 테이프 구동장치로 전송하여 상기 장착된 테이프를 구동한다.
    4. 발명의 중요한 용도:전전자교환기

    금속-공기 전지
    77.
    发明授权

    公开(公告)号:KR102255300B1

    公开(公告)日:2021-05-24

    申请号:KR1020140059304

    申请日:2014-05-16

    Abstract: 금속-공기전지를제공한다. 본금속-공기전지는, 내부에복수개의채널이형성되어있는허니컴형태의몸체; 및금속을포함한음극, 상기음극과이격배치되며산소를활물질로사용하는양극및 상기음극과상기양극사이에배치되는음극전해질을포함하는복수개의전지셀;을포함하고, 상기채널과몸체사이에상기전지셀이하나씩배치되어있다.

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