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公开(公告)号：KR2019970046628U
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR2019950048857
申请日：1995-12-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/20
Abstract: 본고안은반도체웨이퍼상에막을형성하는스퍼터링장치에적용된스텝모터의보호회로에관한것으로서, 상기스텝모터(40)를구동하는모터구동부(30)와이 구동부에직류전원을공급하는직류전원공급부(10)사이에과전류보호수단으로서퓨우즈(50)가설치되어있는구성을갖는다. 상술한보호회로에의하면, 과전류가상기과전류보호수단에의해차단되기때문에상기모터구동부(30)로제공되지않게되고, 이로써상기모터구동부(30)는물론상기스텝모터(40)가타지않게된다.
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公开(公告)号：KR1020060028569A
公开(公告)日：2006-03-30
申请号：KR1020040077579
申请日：2004-09-25
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G09G3/006
Abstract: 다양한 크기를 갖는 디스플레이 패널을 수직 방향으로 고정할 수 있는 팔레트 및 그의 이송 방법을 제공한다. 팔레트는 디스플레이 패널을 고정하기 위한 제 1 지지 수단 및 제 2 지지 수단, 제 1 지지 수단 및 제 2 지지 수단에 포함되어 디스플레이 패널의 하단을 지지하는 제 1 패널 고정부 및 제 1 지지 수단 및/또는 제 2 지지 수단에 하나 이상 포함되어 상기 디스플레이 패널의 양쪽 중 적어도 어느 한쪽을 고정하는 복수개의 디스크들로 이루어진 제 2 패널 고정부를 포함한다. 이러한 팔레트를 이용하여 디스플레이 패널을 고정하는 방법 및 디스플레이 패널이 고정된 팔레트의 이송 방법을 또한 제공한다.
디스플레이 패널, 팔레트, 패널 고정부, 디스크-
公开(公告)号：KR1019990065405A
公开(公告)日：1999-08-05
申请号：KR1019980000678
申请日：1998-01-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/203
Abstract: 본 발명은 배킹플레이트(Backing Plate)와 타겟(Target)을 일체화하여 냉각효율을 향상시키게 하는 반도체 스퍼터링설비의 타겟판에 관한 것이다.
본 발명에 따른 반도체 스퍼터링설비의 타겟판은, 일면에 냉각수가 흐르도록 형성되는 배킹플레이트(Backing Plate)와 상기 배킹플레이트의 다른 일면에 접촉되어 냉각되고, 웨이퍼의 금속박막의 재료가 되는 타겟(Target)을 구비하는 반도체 스퍼터링설비의 타겟판에 있어서, 상기 배킹플레이트와 상기 타겟 사이가 밀착되도록 상기 배킹플레이트와 상기 타겟 사이의 접촉면을 용접시켜서 일체화하는 것을 특징으로 한다.
따라서, 타켓의 냉각효과를 향상시키고, 제품의 수명을 향상시키며, 파티클의 발생을 방지하여 웨이퍼의 수율을 향상시키고, 부품의 갯수를 줄이게 하는 효과를 갖는다.-
公开(公告)号：KR1019990039104A
公开(公告)日：1999-06-05
申请号：KR1019970059066
申请日：1997-11-10
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/20
Abstract: 반도체 장치 제조용 스퍼터(sputter)를 개시한다. 본 발명은, 챔버(chamber)와, 챔버 내에 도입되는 타겟부(target part)와, 타겟부에 대향되게 설치되며 회전하는 척부(chuck part) 및 척부를 회전시키는 모터(motor) 등과 같은 구동 수단을 포함한다. 이때, 척부로는 가열 수단을 가지는 히터 테이블(heater table)을 이용한다.
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公开(公告)号：KR2019970046636U
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR2019950048843
申请日：1995-12-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/203
Abstract: 본고안은반도체장치의제조에사용되는스퍼터링시스템의기능을제어하는 CPU어셈블리구조에관한것으로서, 그구성은기능제어수단으로서 CPU를내장하고있는 CPU어셈블리랙(10)내의발열상태를냉각시킬수 있도록설치된냉각용에어팬(16)을구비한다. 상술한 CPU어셈블리랙구조에의하면, CPU어셈블리랙내의과열을냉각시켜서전원공급부의부작동을방지할수 있어서스퍼터링시스템의가동율을증가시킬수 있다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR2019970046590U
公开(公告)日：1997-07-31
申请号：KR2019950048862
申请日：1995-12-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: 본고안은전원공급장치와컴프레서사이의전원접속라인에접촉저항을감소시킬수 있는전원접속장치에관한것으로서, 전원공급장치에서플러그(16)를통하여컴프레서로전원을공급할경우상기컴프레서(30)의전원공급라인(22)이상기전원공급장치의플러그(16)에직접접속되어있는구성을갖는다. 상술한전원접속장치에의하면, 컴프레서와전원공급장치의접촉저항을감소시켜서브레이크가트립되거나또는그 접속부분이타버리는것을방지할수 있다.
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公开(公告)号：KR1019970030614A
公开(公告)日：1997-06-26
申请号：KR1019950045828
申请日：1995-11-30
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/68
Abstract: 반도체 소자 제조용 링(ring)형 클램프(clamp)에 관하여 기재하고 있다. 반도체 제조장비 내에 설치되고 웨이퍼를 지지하기 위한 척, 막(film)을 형성하기 위해 상기 척 상에 위치한 웨이퍼, 및 상기 웨이퍼를 고정시키기 위해 상기 웨이퍼 상에 설치된 클램프(clamp)를 구비하는 반도체 소자 제조장치에 있어서, 상기 클램프는 웨이퍼의 가장 자리 전면에 걸쳐 직접 웨이퍼와 접촉되도록, 그 내면의 직경이 웨이퍼의 직경보다 작은 크기를 갖는 링(ring) 부와 상기 링부를 반도체 장치와 연결하여 고정시키는 고정핀(pin)으로 구성된 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 클램프가 제공된다. 따라서, 국부적인 힘의 집중을 방지하여 웨이퍼의 깨짐 등의 불량 현상을 방지하여 보다 신뢰성 있는 반도체 소자를 제조할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101113963B1
公开(公告)日：2012-03-05
申请号：KR1020040077579
申请日：2004-09-25
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: G09G3/006
Abstract: 다양한크기를갖는디스플레이패널을수직방향으로고정할수 있는팔레트및 그의이송방법을제공한다. 팔레트는디스플레이패널을고정하기위한제 1 지지수단및 제 2 지지수단, 제 1 지지수단및 제 2 지지수단에포함되어디스플레이패널의하단을지지하는제 1 패널고정부및 제 1 지지수단및/또는제 2 지지수단에하나이상포함되어상기디스플레이패널의양쪽중 적어도어느한쪽을고정하는복수개의디스크들로이루어진제 2 패널고정부를포함한다. 이러한팔레트를이용하여디스플레이패널을고정하는방법및 디스플레이패널이고정된팔레트의이송방법을또한제공한다.
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公开(公告)号：KR1020010027316A
公开(公告)日：2001-04-06
申请号：KR1019990039016
申请日：1999-09-13
Applicant: 삼성전자주식회사
Inventor： 정용화
IPC: H01R13/719
Abstract: PURPOSE: A line filter for a large electric current is provided to minimize a noise signal transmitted through a power line of an electronic appliance consuming a large electric current, and to reduce size of the line filter. CONSTITUTION: A core(10) is formed in a hexahedral shape having a rectangular through-hole(12). A bobbin(20) is divided longitudinally into two pieces so as to be easily fixed to a base portion of the core(10) through the hole(12). The inner surface of the bobbin(20) is formed in a gear shape, and the outer surface thereof is formed with a plurality of stepped portions(22). Coils(30) are wound around the bobbin(20) between the stepped portions(22) in a state of that the bobbin(20) is coupled to the core(10). The core(10) and the bobbin(20) are fixedly mounted to a base member(40), for example, by means of an epoxy resin. The base member(40) has a plurality of terminal pins(46) which are fitted in coupling holes(52) of a PCB(50).
Abstract translation: 目的：提供用于大电流的线路滤波器，以最小化通过消耗大电流的电子设备的电力线路传输的噪声信号，并减小线路滤波器的尺寸。 构成：芯体（10）形成为具有矩形通孔（12）的六面体形状。 线轴（20）纵向分成两部分，以便通过孔（12）容易地固定到芯部（10）的基部。 线轴（20）的内表面形成为齿轮状，其外表面形成有多个阶梯部（22）。 在线轴（20）联接到芯（10）的状态下，线圈（30）围绕台阶部分（22）缠绕在线轴（20）上。 芯（10）和线轴（20）例如通过环氧树脂固定地安装到基座构件（40）上。 基部构件（40）具有多个端子销（46），其安装在PCB（50）的联接孔（52）中。
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公开(公告)号：KR1020000056853A
公开(公告)日：2000-09-15
申请号：KR1019990006551
申请日：1999-02-26
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: H01L21/00
Abstract: PURPOSE: A radio frequency chamber is provided to easily remove particles generated during performing a process and make it possible to use a chamber for a long-term, thereby decreasing the maintenance cost and conservation cost of the chamber. CONSTITUTION: A radio frequency chamber(100) comprises: a body having a region for generating a plasma; a wafer holder(104) established inside the body, for holding a wafer(102); an inlet into which a process gas is introduced; a coil(106) established at the side wall of the body outside the body, for generating a high frequency; a plasma shield(108) made of quartz, established within the body, for forming the plasma region; and a circular permanent magnet installed at an external surface(108a) of the plasma shield, for forming an electrostatic force and allowing a byproduct generated during a process to be attached inside the body.
Abstract translation: 目的：提供无线电频率室以容易地去除在执行过程中产生的颗粒，并且可以长期使用室，从而降低室的维护成本和节约成本。 构成：射频室（100）包括：具有用于产生等离子体的区域的主体; 建立在体内的用于保持晶片（102）的晶片保持器（104）; 引入工艺气体的入口; 建立在身体外部的侧壁的线圈（106），用于产生高频; 建立在体内的用石英制成的等离子体屏蔽件（108），用于形成等离子体区域; 以及安装在所述等离子体屏蔽件的外表面（108a）处的用于形成静电力并允许在工艺期间产生的副产物附接到所述主体内的圆形永磁体。
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