公开(公告)号：KR100285348B1

公开(公告)日：2001-04-02

申请号：KR1019980057580

申请日：1998-12-23

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 ,  철강융합신기술연구조합

Inventor： 정우철 ,  김광일 ,  김중구

IPC: G01D21/02 ,  G01R33/00 ,  G01R33/07 ,  G01H11/02 ,  G01P15/12 ,  H01L43/04 ,  H01L43/06 ,  H01L41/02

Abstract: 본 발명은 자장의 세기 및 진동의 크기를 하나의 센서로 동시에 측정할 수 있는 자장 및 진동량 복합센서를 제조하는 방법에 관한 것으로서, SDB 웨이퍼(1) 표면에 열산화막인 실리콘 산화막(2)을 형성하는 단계와; 상기 실리콘 산화막(2) 상에 n형 실리콘층(3)을 증착시키는 단계; 상기 n형 실리콘층(3)에 불순물을 주입 열확산시켜 p-월(4)을 형성하는 단계; 포토레지스트를 도포하고 TMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide)용액에서 상기 n형 실리콘층(3)을 이방성 식각하여 매스(6)를 형성한 후 매스(6) 아래의 n형 실리콘층(3)을 BHF 용액으로 제거하는 단계 및; 이온주입 공정으로 센서의 전극부분을 형성하고 A1을 증착하여 외부 전극용 패드(5)를 형성하는 단계로 이루어져 소자의 제조시 고려하여야 하는 제조공정상의 불일치 문제점을 해결 하여 자기센서 및 진동센서를 동일한 제조공정으로 하나의 반도체 웨이퍼에 형성시킬 수 있어서 차량용 센서로 채용할 경우 설치 및 배선처리가 간편할 뿐만 아니라 차량제작 및 유지보수를 용이하게 할 수 있는 장점이 있는 것이다.

公开(公告)号：KR100276645B1

公开(公告)日：2001-02-01

申请号：KR1019980057581

申请日：1998-12-23

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 ,  철강융합신기술연구조합

Inventor： 정우철

IPC: H01L27/04

Abstract: 본 발명은 전계에 의한 냉전자방출(cold electron emission)을 이용하는 자기센서의 제조방법에 관한 것으로서, SDB(Silicon Direct Bonding)에 의해 제작된 SOI층(13)을 갖는 실리콘 웨이퍼(11)를 이용하여 SOI층(13) 표면에 SiO
2 열산화막(14)을 형성하는 단계와; 전극으로 사용할 몰리브덴(MO)막(15)을 증착에 의해 증착시키는 단계; 몰리브덴막(15)을 식각하고 아래의 산화막인 SiO
2 열산화막(14)을 식각하는 단계; TMAH(Tetra Methyl Ammonium Hydroxide) 용액을 가열한 식각용액에 담구어 SOI층(13)을 에칭하여 전자이동 및 그리드 형성공간을 만들어 전극구조물을 형성하는 단계; 형성된 전극구조물 위로 하부 그리드용 몰리브덴막(16)을 증착하고 식각하는 단계로 이루어져 종래의 제조방법에 비하여 매우 단순화된 공정으로 센서를 제작 할 수 있다는 장점이 있으며, SDB 웨이퍼를 사용하므로 종래 산화막의 에칭으로 얻어지는 공간에 그리드를 형성하는 것 보다 균일하고 안정적인 표면에 그리드를 형성 할 수 있어 센서제조시 수율을 향상시킬 수 있는 장점이 있는 것이다.

公开(公告)号：KR100276646B1

公开(公告)日：2001-01-15

申请号：KR1019980057585

申请日：1998-12-23

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 ,  철강융합신기술연구조합

Inventor： 정우철

IPC: B66C13/18

Abstract: 본 발명은 크레인의 위치를 검출하는 장치에 관한 것으로서, 이송축(1)을 따라 이동하는 크레인(2)의 하부에 지지대(3)를 설치하여 지지대(3)의 일단 아래에 자석(4)을 설치함과 더불어 상기 이송축(1)의 상면에 다수의 자기센서(5)를 나열하여 자기센서 어레이부(6)를 구성하고, 상기 자기센서 어레이부(6)에 검출신호처리회로(7)를 연결하며, 상기 검출신호처리회로(7)에다 제어기(8)를 연결하여 이루어진 것으로 자기센서의 일반적인 동작온도가 약 120℃ 정도이기 때문에 용융로 이송크레인 외부환경의 온도변화에 충분하게 대응 할 수 있으며, 자기센서의 동작특성상 외부의 분진, 연기 및 유사한 장애요인으로 인한 검출의 문제가 발생하지 않으므로 열악한 외부 환경요인에 대하여 안정적인 동작이 가능한 장점이 있는 것이다.

公开(公告)号：KR100273101B1

公开(公告)日：2000-12-01

申请号：KR1019970075000

申请日：1997-12-27

Applicant: 철강융합신기술연구조합 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 김영덕 ,  정우철

IPC: G01P15/09

Abstract: PURPOSE: A high power shearing type acceleration sensor is provided to be capable of enabling high power acceleration sensing by positioning two inertia masses between a center supporter and coupling jigs and mounting four piezoelectric elements on both sides of the two inertia masses. CONSTITUTION: Two coupling jigs(4), two hexagonal inertia mass(6) and four rectangular piezoelectric elements(7) are aligned and then are fastened with a constant torque of about 4kgf-cm by using fixing bolts(15) and fixing nuts(14). The piezoelectric elements(7) are disposed on both sides of respective inertia mass(6). Further, the respective coupling jigs(4) are disposed on both sides of a center supporter(3) and between two inertia mass(6) having the piezoelectric elements(7) on its both sides for coupling the inertia mass and the piezoelectric elements.

Abstract translation: 目的：提供高功率剪切式加速度传感器，通过在中心支架和联轴器夹具之间放置两个惯性块，并在两个惯性块的两侧安装四个压电元件，能够实现高功率加速度检测。 构成：将两个耦合夹具（4），两个六边形惯性块（6）和四个矩形压电元件（7）对齐，然后通过使用固定螺栓（15）和固定螺母（15）以约4kgf-cm的恒定扭矩紧固 14）。 压电元件（7）设置在相应惯性块（6）的两侧。 此外，相应的联接夹具（4）设置在中心支撑件（3）的两侧以及在其两侧具有压电元件（7）的两个惯性块（6）之间，用于联接惯性块和压电元件。

公开(公告)号：KR2020000013075U

公开(公告)日：2000-07-15

申请号：KR2019980026202

申请日：1998-12-23

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 ,  철강융합신기술연구조합

Inventor： 정우철 ,  김광일

IPC: G01R33/00

Abstract: 본 고안은 전류를 검출하여 검출된 전류가 작업의 위험요인으로 작용할 가능성이 있을 때 경보하여 주는 전류검출ㆍ경보장치에 관한 것으로서, 전력선 근처에 자기센서(1)를 설치하고, 기준전원(2)에 싸인파발생기(3)를 통해 전압/전류변환기(4)를 연결하여 전압/전류변환기(4)의 출력전류를 상기 자기센서(1)의 구동전류로 자기센서(1)에 공급하며, 상기 자기센서(1)에다 증폭기(5)를 연결하고, 증폭기(5)의 출력단에 대역통과필터(6)를 거쳐 교류/직류변환기(7)를 연결함과 더불어 교류/직류변환기(7)에다 디스플레이부(8)와 경보부(9)를 연결한 구성으로 전체회로를 하이브리드 IC로 제작하여 소형화로 휴대성 및 사용성이 높고, 외부의 전계 및 전력선의 전류흐름으로 발생하는 자장의 세기를 정밀하게 측정할 수 있어서 외부 대전류 및 강전계 발생지역 작업� �들의 작업 안전도를 향상시킬 수 있는 장점이 있는 것이다.

公开(公告)号：KR1020000038765A

公开(公告)日：2000-07-05

申请号：KR1019980053866

申请日：1998-12-09

Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 김중구 ,  최종수 ,  주문갑 ,  정우철

IPC: G01B11/24

Abstract: PURPOSE: A method for measuring a size of a tile using a scan laser and a CCD camera is provided to improve the size measuring efficiency by using the scan laser and the CCD camera. CONSTITUTION: In a method for measuring a size of a tile using a scan laser and a CCD camera, a laser beam is radiated to the tile(1) by the scan laser(2) and a reflected light from the tile(1) is captured by the camera(3). The capture light is image-processed. According to the processed-image, the size of the tile is calculated. The calculated size is displayed on a displayer. As the size is measured without using a tape line, the measuring safety can be obtained.

Abstract translation: 目的：提供使用扫描激光和CCD照相机测量瓷砖尺寸的方法，以通过使用扫描激光和CCD照相机来提高尺寸测量效率。 构成：在使用扫描激光器和CCD照相机测量瓦片的尺寸的方法中，通过扫描激光器（2）将激光束辐射到瓦片（1），并且来自瓦片（1）的反射光为 由相机（3）拍摄。 捕获光被图像处理。 根据经处理的图像，计算瓦片的尺寸。 计算的大小显示在显示器上。 由于在不使用带状线的情况下测量尺寸，因此可以获得测量安全性。

公开(公告)号：KR200174713Y1

公开(公告)日：2000-04-01

申请号：KR2019970041339

申请日：1997-12-27

Applicant: 철강융합신기술연구조합 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정우철 ,  김광일

IPC: G01N27/72

Abstract: 본 고안은 여기코일에서 발생되는 자장에 의한 금속편의 반응을 반도체 자기센서인 홀소자를 이용하여 검출하는 금속편 검출장치에 관한 것이다.
본 고안은 기본적으로 검출코일(12) 대신에 다수 개의 홀소자를 일렬로 배치하여 구성된 검출부(40)를 설치하고, 상기 각각의 홀소자에 정전류원을 인가함을 원리로 한다.
본 고안에 의하면 검출코일 대신에 홀(Hall)소자를 사용하여 검출부를 구성함으로써, 고주파 발생지역, 열악한 환경에서도 외부잡음의 유입이 최대한 억제되므로 검출장치의 적용이 보다 용이해지고, 컨베이어 벨트의 폭 전체에 대하여 보다 정확하고 안정적이며 균일한 금속편 검출이 가능하므로 분체 내부에서의 금속편의 위치 및 형상에 따른 오동작이 감소되는 매우 획기적인 효과가 있다.

公开(公告)号：KR2019990028697U

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR2019970041333

申请日：1997-12-27

Applicant: 철강융합신기술연구조합 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 정우철 ,  김광일

IPC: G01H17/00

Abstract: 본 고안은 중/소규모의 산업현장에서 생산설비에 부착된 각종 회전체의 진동값을 측정하여 기기의 상태 및 잔여 수명을 예측하기 위한 소규모의 상태진단 시스템에 관한 것으로서, 회전체(2)가 연결된 진동센서(1)에다 정전류원(11)을 연결함과 더불어 프리앰프(12)를 통해 신호처리 유닛(13)을 연결하여 구성으로 본 고안에서는 기존의 상태진단 시스템을 간략화 하여 진동센서 및 이를 구동하기 위한 부분과 검출한 진동신호를 처리하기 위한 기본적인 신호처리 시스템 그리고 이렇게 얻어진 신호를 받아들여 정상상태와 비교하여 이상발생시 외부로 출력신호를 발생시키는 부분으로 구성된 소규모의 상태진단 시스템을 고안하여 기존의 대형 시스템에서 이루어지던 여러 가지의 기능 중 가장 필요로 하는 기능만을 가지고 소형화 저가격화 하도록 하였� �. 이상에서 고안한 진동센서를 이용한 소규모 기기 상태 진단시스템을 적용하는 경우에는 기존의 대형설비를 적용하기 어려운 중/소규모의 산업현장에서의 기기 상태 진단이 원활해질 것이며, 이에 따라 산업전반에서의 생산성 향상 및 조업의 안정화를 이룰 수 있으며 현재 지속적으로 추진되고 있는 산업의 자동화에도 기여할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.

公开(公告)号：KR1019990055093A

公开(公告)日：1999-07-15

申请号：KR1019970075000

申请日：1997-12-27

Applicant: 철강융합신기술연구조합 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 김영덕 ,  정우철

IPC: G01P15/09

Abstract: 본 발명은 조립작업성이 우수하고 출력 특성이 개선된 고 출력 전단형 가속도 센서에 관한 것이다.
본 발명의 특징은 2개의 관성 질량의 양면에 각각 1개씩 모두 4개의 압전소자를 배치하고, 이들 압전소자는 볼트-너트 홈과 볼트 관통공이 마련된 한쌍의 센서 베이스에 의해 압박 지지되게 볼트체결하여 간단하게 전단형 가속도 센서를 제조 조립한다는데있다.
이러한 본 발명 센서구조는 형상기억 합금의 복원력을 이용한 조립을 위한 저온처리 등의 특별한 부가 공정을 생략하고 직접 볼트를 사용하여 압전소자와 중앙지지대 그리고 관성질량을 일정한 토크로 체결함으로써 출력특성이 우수하고 제조 조립공정이 간단하다는 잇점이 있다.

公开(公告)号：KR1019980051088A

公开(公告)日：1998-09-15

申请号：KR1019960069953

申请日：1996-12-23

Applicant: 주식회사 포스코 ,  재단법인 포항산업과학연구원

Inventor： 김중규 ,  권영규 ,  정우철

IPC: B21B1/22

Abstract: 본 발명은 압연시 후판자세를 측정하는 방법으로서, N×M 패턴으로서,

의 패턴을 이용하여

의 식으로 패턴과 영상을 컨벌루션하여 후판영상에서 오른쪽과 아래에 해당하는 면만을 검출한 후, 오차함수

를 최소화하는 a, b를 찾아서 직선의 식을 구한 후, α= tan
-1 (a)식으로 χ축과후판의 밑면이 이루는 각도 α를 구하여 후판자세를 측정함으로써 수동조작시 발생하는 정밀도의 문제를 컴퓨터의 정확한 계산을 통해 높여줄 수 있으며, 수동작업에 비해 측정시간을 획기적으로 단축시킬 수 있는 것이다.