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公开(公告)号：KR101307986B1
公开(公告)日：2013-09-13
申请号：KR1020120079275
申请日：2012-07-20
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A method of manufacturing a cathode electrode in a field emission surface light source reduces process time and costs by selecting and spreading an electrode unit and/or a non-electrode unit when a carbon nanotube ink layer is formed. CONSTITUTION: An electroless plating layer (120) is formed by electroless-plating a substrate. An electrode pattern (130) divided into an electrode unit and a non-electrode unit is formed on the electroless plating layer. A first metal layer (140) is formed on the electrode unit by performing first electroplating. A second metal layer (150) is formed on the first metal layer through second electroplating. A carbon nanotube ink layer (160) is formed on the electrode unit, or the carbon nanotube ink layer is formed on the electrode unit and the non-electrode unit. The non-electrode unit is removed.
Abstract translation: 目的：通过在形成碳纳米管油墨层时选择并扩展电极单元和/或非电极单元，在场致发射面光源中制造阴极电极的方法缩短了工艺时间和成本。 构成：通过无电镀基板形成化学镀层（120）。 在化学镀层上形成分为电极单元和非电极单元的电极图案（130）。 通过进行第一次电镀，在电极单元上形成第一金属层（140）。 通过第二次电镀在第一金属层上形成第二金属层（150）。 在电极单元上形成碳纳米管油墨层（160），或者在电极单元和非电极单元上形成碳纳米管油墨层。 去除非电极单元。
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公开(公告)号：KR101280898B1
公开(公告)日：2013-07-02
申请号：KR1020120013471
申请日：2012-02-09
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H02N11/00
CPC classification number: H02N11/002 , B82Y30/00 , H01L29/0665
Abstract: PURPOSE: A nano generator using a film type zinc oxide nanowire and a manufacturing method thereof are provided to reduce the number of processes by eliminating a gap between electrodes. CONSTITUTION: A substrate is prepared. A first electrode layer (12) is formed. An aluminum dopped ZnO (AZO) catalyst layer (13) is formed on the first electrode layer. The surface of the AZO catalyst layer is treated with atmospheric pressure plasma. A film type zinc oxide nanowire layer (14) is formed on the AZO catalyst layer.
Abstract translation: 目的：提供使用膜型氧化锌纳米线的纳米发生器及其制造方法，通过消除电极间的间隙来减少工序数。 构成：制备底物。 形成第一电极层（12）。 在第一电极层上形成铝掺杂的ZnO（AZO）催化剂层（13）。 AZO催化剂层的表面用大气压等离子体处理。 在AZO催化剂层上形成膜状氧化锌纳米线层（14）。
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公开(公告)号：KR101249723B1
公开(公告)日：2013-04-02
申请号：KR1020110110900
申请日：2011-10-28
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a nozzle for discharging droplets and a capacitive droplet discharging device using the nozzle manufactured by the same are provided to solve problems of applying current by using an insulator as a nozzle, and to form minute patterns directly on a substrate by discharging droplets of a micrometer size on the substrate. CONSTITUTION: A method for manufacturing a nozzle for discharging droplets comprises the following steps: a step for forming one or more silicon columns(203) on a substrate; a step for filling a filler around the silicon columns; a step for exposing the upper part of the silicon columns by flattening the top of the fillers; a step for exposing the rear portion of the silicon columns by drilling holes on the rear surface of the substrate where the silicon columns are arranged; and a step for removing the silicon columns.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造用于喷射液滴的喷嘴的方法和使用其制造的喷嘴的电容式液滴喷射装置，以解决通过使用绝缘体作为喷嘴来施加电流的问题，并且通过以下方式直接在基板上形成微小图案 在基板上排出微米尺寸的液滴。 构成：用于制造用于排出液滴的喷嘴的方法包括以下步骤：在基板上形成一个或多个硅柱（203）的步骤; 在硅柱周围填充填料的步骤; 通过使填料的顶部平坦化来暴露硅柱的上部的步骤; 通过在衬底的后表面上钻出硅柱来暴露硅柱的后部以暴露硅柱的步骤; 以及去除硅柱的步骤。
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公开(公告)号：KR101233100B1
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：KR1020100083259
申请日：2010-08-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B05B5/00 , B05C11/10 , H01L21/027
Abstract: 액적 토출 장치가 제공된다. 본 액적 토출 장치는, 하부 기판 및 액적을 토출하기 위한 수단이 하부 기판의 외곽에 평행하게 형성된 상부 기판을 포함한다. 이에 의해, 액적 토출 수단이 기판의 외곽에 평행하게 형성되어, 고종횡비를 요하는 식각 공정이 불필요하여 액적 토출 장치 제작이 용이해진다.
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR101125139B1
公开(公告)日：2012-03-20
申请号：KR1020100008851
申请日：2010-01-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/3205 , H01L21/31
Abstract: 탄소나노튜브를 이용한 마이크로 전자기계 소자(MEMS:Micro Electo Mechanical System)의 층간 배선 형성방법이 개시된다. 탄소나노튜브를 용매에 분산시켜 탄소나노튜브 용액을 제조하는 단계와, 하부 전극패드와 상기 하부 전극패드와 소정의 단차가 존재하는 구조물 상의 상부 전극패드 사이에 탄소나노튜브 용액을 젯 프린팅하여 도전성 배선을 형성하는 단계를 포함한다. 본 발명에 따르면 MEMS 소자의 배선형성 공정을 단순화하여 공정비용을 줄일 수 있고, 정밀한 패터닝이 가능하여 MEMS 소자의 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
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公开(公告)号：KR101091765B1
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：KR1020090133454
申请日：2009-12-29
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/0445
CPC classification number: Y02E10/50
Abstract: 본발명은실리콘박막을가지는태양전지소자및 그제작방법에관한것으로, 이러한본 발명은기판상에광전전환의역할을수행하는비정질특성을가지는비정질실리콘층을형성하는과정과, 상기비정질실리콘층상에무전해도금방법으로메탈촉매층을형성하는과정과, 상기메탈촉매층이형성된비정질실리콘층을열처리하여다결정실리콘층을형성하는과정을포함하는것을특징으로하는실리콘박막태양전지소자제작방법및 이러한방법으로제작된실리콘박막태양전지소자를제공한다.
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公开(公告)号：KR1020110089222A
公开(公告)日：2011-08-05
申请号：KR1020100008851
申请日：2010-01-30
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/3205 , H01L21/31
CPC classification number: H01L21/288 , B82Y40/00 , H01L21/02606 , H01L21/76838
Abstract: PURPOSE: An inter-layer wiring formation method of a micro electro mechanical device using a carbon nanotube is provided to reduce processing cost by simplifying a wiring formation process, thereby enabling to perform more precise patterning than a wiring formation method using a shadow mask. CONSTITUTION: A carbon nanotube solution is manufacture by dispersing a carbon nanotube into a solvent. A conductive wiring is formed between a lower electrode pad(110) and upper electrode pad(120) by jet printing the carbon nanotube solution. The printed conductive wiring between the lower electrode pad and upper electrode pad is dried.
Abstract translation: 目的：提供使用碳纳米管的微机电装置的层间布线形成方法，通过简化布线形成处理来降低处理成本，从而能够进行比使用荫罩的布线形成方法更精确的图案化。 构成：通过将碳纳米管分散到溶剂中制造碳纳米管溶液。 通过喷射印刷碳纳米管溶液，在下电极焊盘（110）和上电极焊盘（120）之间形成导电布线。 下电极焊盘和上电极焊盘之间的印刷导电布线被干燥。
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公开(公告)号：KR1020100097549A
公开(公告)日：2010-09-03
申请号：KR1020090016542
申请日：2009-02-26
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L31/0445 , B82Y40/00
CPC classification number: Y02E10/50 , H01L31/0445 , B82Y40/00
Abstract: PURPOSE: A thin film Si solar cell using Zno nanowire and a fabrication method thereof are provided to form the effective area per unit area of a cell to be bigger by growing the nanowire vertically. CONSTITUTION: A ZnO seed layer(13) is formed at the upper part of a substrate(11). The zinc oxide seed layer is heat-treated. The heat-treated seed layer is putted into the aqueous solution and a plurality of ZnO nanowires(15) is grown up. The zinc oxide nanowire is included and the thin-film silicon of multilayer are formed on the zinc oxide seed layer.
Abstract translation: 目的：提供一种使用Zno纳米线的薄膜Si太阳能电池及其制造方法，通过垂直生长纳米线，形成电池单位面积的有效面积更大。 构成：在衬底（11）的上部形成ZnO种子层（13）。 氧化锌种子层进行热处理。 将热处理的种子层放入水溶液中，并使多个ZnO纳米线（15）长大。 包括氧化锌纳米线，在氧化锌种子层上形成多层薄膜。
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公开(公告)号：KR100972390B1
公开(公告)日：2010-07-27
申请号：KR1020100003067
申请日：2010-01-13
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: 젯 프린팅을 이용한 냉음극 제조방법이 개시된다. 본 발명에 따른 냉음극 제조방법은 탄소나노튜브를 물에 분산시켜 탄소나노튜브 용액을 제조하고, 기판의 표면에 금속층, 금속산화물층 또는 무기물층 중 어느 하나의 접착층을 형성한 후, 제조된 탄소나노튜브 용액을 접착층이 형성된 기판 상에 젯 프린팅 한다. 본 발명에 따르면 냉음극의 아웃 개싱(out-gassing), 탄소나노튜브 에미터와 기판의 접착, 냉음극의 전계방출 수명 등의 문제점을 효과적으로 해결할 수 있는 동시에 냉음극 제조공정을 단순화할 수 있다.
Abstract translation: 公开了使用喷墨印刷的冷阴极制造方法。 根据本发明的冷阴极制造方法中，之后形成碳纳米管在水中的分散体的粘合剂层中的任一个以制备碳纳米管溶液，和基板，金属氧化物层或无机层的表面上的金属层，产生碳 将纳米管溶液喷射到其上形成有粘合剂层的基底上。 根据本发明，它能够简化的冷阴极，发射极和基片，所述场致发射冷阴极寿命的同时能够有效地解决的碳纳米管的粘附的冷阴极制造过程中的问题，例如除气（脱气）。
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