인쇄 장치
    3.
    发明授权
    인쇄 장치 有权
    打印设备

    公开(公告)号:KR101714586B1

    公开(公告)日:2017-03-09

    申请号:KR1020140063455

    申请日:2014-05-27

    Abstract: 본발명의인쇄장치는롤의회전을통해기판에패턴을전이하는인쇄장치로서블랑켓롤의외면을둘러싸도록위치되는시트, 시트의양단과결합되어시트를고정하는고정부재, 블랑켓롤의외주면에서내측방향으로파인롤홈에구비되고, 고정부재를블랑켓롤에지지하는결합부를포함한다. 이와같이, 본발명의인쇄장치는롤 예컨대, 블랑켓롤 내부에시트고정장치가제작된다. 이때, 시트고정장치는시트의양단을집어고정하는고정부재가마련되고, 블랑켓롤의외주면에서내측방향으로파인롤홈에고정부재와결합되어고정부재를고정시키는결합부를포함할수 있다. 이에, 블랑켓롤 외면에시트를고정하기위해플레이트와너트를사용하지않고, 용이하게시트를고정할수 있다. 또한, 시트고정장치는결합된고정부재와결합부를시트의폭과교차하는방향으로이동시킬수 있는구동부재를구비하여시트의장력또는압력의조절이가능하다.

    Abstract translation: 印刷装置技术领域本发明涉及一种印刷装置,具体涉及一种用于通过辊的旋转将图案转印到基材上的印刷装置,包括:位于包覆橡皮布卷的外表面的片材; 与片材的两端结合的固定构件,用于固定片材; 以及组合部,其配置在在所述橡皮布辊的外周面中向内凹入的辊槽中,并且用于将所述固定构件支撑到所述橡皮布辊。 根据本发明,印刷装置能够在辊内例如橡皮布辊上制造片材定影装置。 此时,在片材定影装置中准备用于夹持片材的两端固定的固定构件,以及与固定构件结合的组合部分,该固定构件在辊子槽中向内凹入到用于固定的橡皮布辊的外周表面 可以包括固定构件。 因此,为了将片材固定在橡皮布辊的外侧,可以容易地固定片材而不使用板和螺母。 此外,由于片材定影装置包括用于使组合的固定构件和组合部分沿与片材的宽度交叉的方向移动的驱动构件,可以调节片材的张力或压力。

    인쇄 장치 및 이를 이용한 인쇄 방법
    5.
    发明授权
    인쇄 장치 및 이를 이용한 인쇄 방법 有权
    打印装置和使用它的打印方法

    公开(公告)号:KR101699871B1

    公开(公告)日:2017-01-25

    申请号:KR1020140046071

    申请日:2014-04-17

    Abstract: 본발명의인쇄장치는기판에패턴을형성하는인쇄장치로서, 외면에패턴이형성되고, 기판에패턴을전이하는롤 및롤 내부에적어도일부가설치되고외측으로빛을방출하는조사부를포함한다. 이와같이, 본발명의인쇄장치는롤 예컨대, 블랑켓롤 내부에건조장치가제작된다. 이때, 건조장치는빛을발하는조사부로구비되어블랑켓롤과일체형으로제작될수 있다. 이로부터, 블랑켓롤이회전을통해기판에패턴을전이하는과정에서패턴전이와동시또는연속적으로기판에빛을조사하여건조시킬수 있다. 이에, 인쇄장치는별도의건조장치가필요하지않고, 기판에패턴인쇄후에별도의건조과정이필요하지않음으로써, 인쇄과정에서의시간이단축될수 있다.

    Abstract translation: 本发明的在基板上形成图案的印刷装置包括在外表面上形成图案的辊,并将图案转印到基板上; 以及辐射部,其具有至少一个部分安装在所述辊内部,并且在外部发射光。 本发明的印刷装置具有在辊内制造的干燥装置,例如橡皮布辊。 干燥装置形成在发射光的辐射部分上并且与橡皮布辊一体制造。 同样地,橡皮布辊通过在橡皮布辊通过旋转将图案转移到基板的处理中同时或连续地在基板上照射光而干燥基板。 因此,印刷装置不需要额外的干燥装置,并且通过在将图案印刷在基板上之后不需要额外的干燥处理来缩短打印过程中的时间。

    인쇄 장치 및 이를 이용한 인쇄 방법
    6.
    发明公开
    인쇄 장치 및 이를 이용한 인쇄 방법 有权
    打印设备和使用它的打印方法

    公开(公告)号:KR1020150120174A

    公开(公告)日:2015-10-27

    申请号:KR1020140046071

    申请日:2014-04-17

    CPC classification number: B41F3/34 B41F3/20 B41F3/46 H05K3/007

    Abstract: 본발명의인쇄장치는기판에패턴을형성하는인쇄장치로서, 외면에패턴이형성되고, 기판에패턴을전이하는롤 및롤 내부에적어도일부가설치되고외측으로빛을방출하는조사부를포함한다. 이와같이, 본발명의인쇄장치는롤 예컨대, 블랑켓롤 내부에건조장치가제작된다. 이때, 건조장치는빛을발하는조사부로구비되어블랑켓롤과일체형으로제작될수 있다. 이로부터, 블랑켓롤이회전을통해기판에패턴을전이하는과정에서패턴전이와동시또는연속적으로기판에빛을조사하여건조시킬수 있다. 이에, 인쇄장치는별도의건조장치가필요하지않고, 기판에패턴인쇄후에별도의건조과정이필요하지않음으로써, 인쇄과정에서의시간이단축될수 있다.

    Abstract translation: 本发明的在基板上形成图案的印刷装置包括在外表面上形成图案的辊,并将图案转印到基板上; 以及辐射部,其具有至少一个部分安装在所述辊内部,并且在外部发射光。 本发明的印刷装置具有在辊内制造的干燥装置,例如橡皮布辊。 干燥装置形成在发射光的辐射部分上并且与橡皮布辊一体制造。 同样地,橡皮布辊通过在橡皮布辊通过旋转将图案转移到基板的处理中同时或连续地在基板上照射光而干燥基板。 因此,印刷装置不需要额外的干燥装置,并且通过在将图案印刷在基板上之后不需要额外的干燥处理来缩短打印过程中的时间。

    선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치
    7.
    发明授权
    선폭을 가변할 수 있는 미세 패턴 전사 장치 失效
    精细图案印刷设备

    公开(公告)号:KR100855602B1

    公开(公告)日:2008-09-01

    申请号:KR1020070054677

    申请日:2007-06-04

    Abstract: A micro pattern transfer apparatus capable of varying a line width is provided to control a contact area between a substrate and a probe by using elasticity of a probe support unit and a connection unit of the probe, thereby forming a micro pattern on the substrate as controlling the line width. A first ink keeping unit(320) contains ink. A probe unit(310) includes a hole and a probe. The hole transfers ink, applied from the first ink keeping unit, onto a substrate(350). The probe is for opening/closing the hole. A probe support unit fixes the probe unit to a lower part of the first ink keeping unit. An optical unit(330) includes a CCD(Charge Coupled Device) camera for confirming a location and processing state of the probe unit.

    Abstract translation: 提供能够改变线宽的微图形转印装置,通过使用探针支撑单元和探针的连接单元的弹性来控制基板和探针之间的接触面积,由此在基板上形成微图案作为控制 行宽。 第一墨水保持单元(320)包含墨水。 探针单元(310)包括孔和探针。 该孔将从第一墨水保持单元施加的墨水转印到基底(350)上。 探头用于打开/关闭孔。 探针支撑单元将探针单元固定到第一墨水保持单元的下部。 光学单元(330)包括用于确认探针单元的位置和处理状态的CCD(电荷耦合器件)照相机。

    액체에서 사용가능한 고 종횡비 단전자 트랜지스터 구조를갖는 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법
    8.
    发明授权
    액체에서 사용가능한 고 종횡비 단전자 트랜지스터 구조를갖는 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법 失效
    具有用于液体的高纵横比的FET结构的AFM悬臂及其制造方法

    公开(公告)号:KR100695623B1

    公开(公告)日:2007-03-15

    申请号:KR1020040049780

    申请日:2004-06-29

    Abstract: 본 발명은 액체에서 사용가능한 고 종횡비 단전자 트랜지스터 구조를 갖는 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것으로, 100㎚ 이하의 극소 채널을 갖는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경용 캔틸레버를 구현할 수 있어, 바이오 분자를 분석할 수 있고, 극소 채널로 야기되는 쇼트 채널(Short channel) 효과의 발생을 방지할 수 있으며, 탐침의 종횡비를 크게 하여, 정보의 센싱도를 향상시키는 원자간력 현미경용 캔틸레버 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
    본 발명의 액체에서 사용가능한 고 종횡비 단전자 트랜지스터 구조를 갖는 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법은 (a) 캔틸레버 지지대의 상부에 탐침을 형성하는 단계; (b) 상기 캔틸레버 지지대의 상부에 다층막 형성후, 2회에 걸친 패턴 형성 및 불순물 주입으로 전계효과 트랜지스터의 채널 영역에 탐침이 위치하며 탐침의 양측 경사면에 소스 및 드레인 영역이 형성되도록 캔틸레버 아암을 형성하는 단계; (c) 상기 기판 상부에 동일한 두께의 포지티브 포토레지스트를 도포하여 탐침의 첨두부만 보이도록 하거나 포지티브 포토레지스트를 두껍게 도포한 후에 애싱하여 탐침의 첨두부를 노출시키는 단계; (d) 상기 포지티브 포토레지스트 상부에 네거티브 포토레지스트를 도포한 후에 마스크를 패터닝하여 탐침의 첨두부의 상기 네거티브 포토레지스트를 제거하는 단계; (e) 상기 네거티브 포토레지스트가 제거된 탐침의 첨두부에만 금속점을 증착하는 단계; 및 (e) 상기 캔틸레버 아암의 일부를 제거하여 캔틸레버 아암을 부상시키는 단계를 포함하는 액체에서 사용가능한 고 종횡비 단전자 트랜지스터 구조를 갖는 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법에 의해 달성된다.
    따라서, 본 발명의 액체에서 사용가능한 고 종횡비 단전자 트랜지스터 구조를 갖는 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법은 바이오 분자들 간의 상호작용에 따른 전기적 효과를 측정함으로써 단일 분자를 탐침에 부착하는 장점이 있고, 수신 감도가 증대되는 효과가 있다.
    AFM, 캔틸레버, 전하량 측정, 종횡비, 현미경, 트랜지스터

    읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버
    9.
    发明公开
    읽기/쓰기가 가능한 원자력 현미경 캔틸레버 失效
    原子力显微镜可以读取/写入

    公开(公告)号:KR1020070009788A

    公开(公告)日:2007-01-19

    申请号:KR1020050063670

    申请日:2005-07-14

    CPC classification number: G01Q60/38 H01L21/22

    Abstract: A read/write enabled atomic force microscopy cantilever is provided to improve the sensitivity by embedding a MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) in the atomic force microscopy cantilever. An atomic force microscopy cantilever includes a cantilever support, a cantilever arm, a probe(150), a metal layer(160), a channel(170), a source(180), a drain(190), and a gate(200). A first silicon layer, an oxide layer, and a second silicon layer are sequentially stacked in the cantilever support. The cantilever arm is formed by extending the second silicon layer of the cantilever support. The probe is formed in the second silicon layer of the cantilever arm. The metal layer is formed in the cantilever support. The channel is formed at a lower portion of the probe. Impurities are doped in the source and the drain. The gate is formed between the source and the drain.

    Abstract translation: 通过在原子力显微镜悬臂中嵌入一个MOSFET(金属氧化物半导体场效应晶体管)来提供一个支持读/写的原子力显微镜悬臂,以提高灵敏度。 原子力显微镜悬臂包括悬臂支架,悬臂,探针(150),金属层(160),通道(170),源(180),排水口(190)和门 )。 第一硅层,氧化物层和第二硅层顺序堆叠在悬臂支架中。 悬臂是通过延伸悬臂支撑件的第二硅层而形成的。 探针形成在悬臂的第二硅层中。 金属层形成在悬臂支撑件中。 通道形成在探针的下部。 杂质掺杂在源极和漏极中。 栅极形成在源极和漏极之间。

    주사 탐침 현미경을 이용한 정보저장장치
    10.
    发明授权
    주사 탐침 현미경을 이용한 정보저장장치 失效
    주사탐침현미경을이용한정보저장장치

    公开(公告)号:KR100648041B1

    公开(公告)日:2006-11-23

    申请号:KR1020050063675

    申请日:2005-07-14

    Abstract: An information storage device is provided to achieve the storage of information in the tera-bit range by manufacturing media using a spin-coated polymer thin film, a phase transition layer, or a ferroelectric thin film. An information storage device is configured to read and write information using media(210) formed on a silicon substrate(220). The media are formed of a polymer thin film, a phase transition layer, a dielectric/ferroelectric thin film, or a conductive transition oxide thin film. The information storage device has an atomic microscopic cantilever including a cantilever support, a cantilever arm, a probe(150), a metal layer(160) formed on the cantilever support, a channel formed below the probe, a source(180), a drain(190), and a gate(200) formed between the source and drain.

    Abstract translation: 提供信息存储装置以通过使用旋涂聚合物薄膜,相变层或铁电薄膜制造介质来实现在四比特范围内的信息存储。 信息存储装置被配置为使用形成在硅衬底(220)上的介质(210)读取和写入信息。 介质由聚合物薄膜,相变层,电介质/铁电薄膜或导电过渡氧化物薄膜形成。 该信息存储装置具有包括悬臂支撑,悬臂,探针(150),形成在悬臂支撑上的金属层(160),形成在探针下方的通道,源(180), 漏极(190)以及在源极和漏极之间形成的栅极(200)。

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