Abstract:
본 발명은 자외선 LED를 이용한 선형광원, 이를 포함하는 광중합형 3D 프린터가 개시된다. 본 발명의 선형광원은 광중합형 3D 프린터의 폴리머 케이스와 이격되게 배치되는 기판 및 폴리머 케이스 방향으로 자외선을 투사하는 복수 개의 자외선 LED가 기판에 X축 방향으로 복수의 행으로 배치되되, Y축 방향으로 복수의 행과 비스듬한 각도로 복수의 열이 배치되는 자외선 LED 어레이를 포함한다.
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본발명은자외선 LED를이용한선형광원, 이를포함하는광중합형 3D 프린터가개시된다. 본발명의선형광원은광중합형 3D 프린터의폴리머케이스와이격되게배치되는기판및 폴리머케이스방향으로자외선을투사하는복수개의자외선 LED가기판에 X축방향으로복수의행으로배치되되, Y축방향으로복수의행과비스듬한각도로복수의열이배치되는자외선 LED 어레이를포함한다.
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본발명에서는하부기판, 투명전극, 유기박막층및 금속전극이순차적으로적층된유기발광다이오드(OLED)로서, 상기하부기판이유기광산란물질을포함하는유연기재를포함하는것을특징으로하는유기발광다이오드를제공한다. 본발명에따르는유기발광다이오드는광효율이우수하면서도제조시투명전극층또는유기박막층(발광층)에가해지는손상을피할수 있고, 또한, 유연유기발광다이오드에반복적으로휨응력이가하여지는경우에발생하는기판의크랙(crak)을방지할수 있다.
Abstract:
A micro pattern transfer apparatus capable of varying a line width is provided to control a contact area between a substrate and a probe by using elasticity of a probe support unit and a connection unit of the probe, thereby forming a micro pattern on the substrate as controlling the line width. A first ink keeping unit(320) contains ink. A probe unit(310) includes a hole and a probe. The hole transfers ink, applied from the first ink keeping unit, onto a substrate(350). The probe is for opening/closing the hole. A probe support unit fixes the probe unit to a lower part of the first ink keeping unit. An optical unit(330) includes a CCD(Charge Coupled Device) camera for confirming a location and processing state of the probe unit.
Abstract:
본 발명은 액체에서 사용가능한 고 종횡비 단전자 트랜지스터 구조를 갖는 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법에 관한 것으로, 100㎚ 이하의 극소 채널을 갖는 전계 효과 트랜지스터가 내장된 원자간력 현미경용 캔틸레버를 구현할 수 있어, 바이오 분자를 분석할 수 있고, 극소 채널로 야기되는 쇼트 채널(Short channel) 효과의 발생을 방지할 수 있으며, 탐침의 종횡비를 크게 하여, 정보의 센싱도를 향상시키는 원자간력 현미경용 캔틸레버 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 액체에서 사용가능한 고 종횡비 단전자 트랜지스터 구조를 갖는 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법은 (a) 캔틸레버 지지대의 상부에 탐침을 형성하는 단계; (b) 상기 캔틸레버 지지대의 상부에 다층막 형성후, 2회에 걸친 패턴 형성 및 불순물 주입으로 전계효과 트랜지스터의 채널 영역에 탐침이 위치하며 탐침의 양측 경사면에 소스 및 드레인 영역이 형성되도록 캔틸레버 아암을 형성하는 단계; (c) 상기 기판 상부에 동일한 두께의 포지티브 포토레지스트를 도포하여 탐침의 첨두부만 보이도록 하거나 포지티브 포토레지스트를 두껍게 도포한 후에 애싱하여 탐침의 첨두부를 노출시키는 단계; (d) 상기 포지티브 포토레지스트 상부에 네거티브 포토레지스트를 도포한 후에 마스크를 패터닝하여 탐침의 첨두부의 상기 네거티브 포토레지스트를 제거하는 단계; (e) 상기 네거티브 포토레지스트가 제거된 탐침의 첨두부에만 금속점을 증착하는 단계; 및 (e) 상기 캔틸레버 아암의 일부를 제거하여 캔틸레버 아암을 부상시키는 단계를 포함하는 액체에서 사용가능한 고 종횡비 단전자 트랜지스터 구조를 갖는 원자간력 현미경 캔틸레버 제조방법에 의해 달성된다. 따라서, 본 발명의 액체에서 사용가능한 고 종횡비 단전자 트랜지스터 구조를 갖는 원자간력 현미경 캔틸레버 및 그 제조방법은 바이오 분자들 간의 상호작용에 따른 전기적 효과를 측정함으로써 단일 분자를 탐침에 부착하는 장점이 있고, 수신 감도가 증대되는 효과가 있다. AFM, 캔틸레버, 전하량 측정, 종횡비, 현미경, 트랜지스터
Abstract:
A read/write enabled atomic force microscopy cantilever is provided to improve the sensitivity by embedding a MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor) in the atomic force microscopy cantilever. An atomic force microscopy cantilever includes a cantilever support, a cantilever arm, a probe(150), a metal layer(160), a channel(170), a source(180), a drain(190), and a gate(200). A first silicon layer, an oxide layer, and a second silicon layer are sequentially stacked in the cantilever support. The cantilever arm is formed by extending the second silicon layer of the cantilever support. The probe is formed in the second silicon layer of the cantilever arm. The metal layer is formed in the cantilever support. The channel is formed at a lower portion of the probe. Impurities are doped in the source and the drain. The gate is formed between the source and the drain.
Abstract:
An information storage device is provided to achieve the storage of information in the tera-bit range by manufacturing media using a spin-coated polymer thin film, a phase transition layer, or a ferroelectric thin film. An information storage device is configured to read and write information using media(210) formed on a silicon substrate(220). The media are formed of a polymer thin film, a phase transition layer, a dielectric/ferroelectric thin film, or a conductive transition oxide thin film. The information storage device has an atomic microscopic cantilever including a cantilever support, a cantilever arm, a probe(150), a metal layer(160) formed on the cantilever support, a channel formed below the probe, a source(180), a drain(190), and a gate(200) formed between the source and drain.