연속파 신호 감지 가능한 펄스 생성장치
    78.
    发明公开
    연속파 신호 감지 가능한 펄스 생성장치 有权
    连续波信号可检测脉冲发生器

    公开(公告)号:KR1020170074504A

    公开(公告)日:2017-06-30

    申请号:KR1020150183855

    申请日:2015-12-22

    Abstract: 본기재의연속파신호감지가능한펄스생성장치는, 광을출력하는레이저다이오드와, 펄스의편광을조절하여모드잠금펄스또는잡음펄스를생성할수 있는모드잠금부를포함하는공진기, 및상기공진기의출력단에광학적으로연결되고, 상기공진기로부터출력되는상기모드잠금펄스또는잡음펄스와함께생성된연속파가포함됨에따라간섭신호를생성하는간섭계부를포함하는연속파신호감지기를포함한다.

    Abstract translation: 脉冲产生装置检测所述基材成为可能,光学光至谐振器的输出端,以及包括该激光二极管的谐振器的连续波信号,调整该脉冲锁模脉冲的偏振,或者可以产生一个噪声脉冲锁模部分,其输出 并且包括连接到谐振器并产生干扰信号的干涉仪作为模式锁定脉冲或与噪声脉冲一起产生的连续波。

    웨이퍼 본딩 장치
    79.
    发明授权
    웨이퍼 본딩 장치 有权
    晶圆接合装置

    公开(公告)号:KR101681024B1

    公开(公告)日:2016-12-01

    申请号:KR1020150151230

    申请日:2015-10-29

    Abstract: 본발명의일 실시예에따르면, 본딩헤드와본딩스테이지를구비하여, 적층된웨이퍼를본딩하는웨이퍼본딩장치로서, 상기본딩스테이지가, 판재형상의메탈폼(foam); 상기메탈폼의상부에부착되어웨이퍼를지지하는판재형상의메탈시트; 및상기메탈시트상부에배치되고상기웨이퍼의측면을둘러싸는외측지지부재;를포함하고, 상기외측지지부재의상부면높이가상기적층된웨이퍼의상부면높이와동일한웨이퍼본딩장치를제공한다.

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