챔버 오염 측정 센서 용 히트 싱크

    公开(公告)号:KR102246339B1

    公开(公告)日:2021-04-29

    申请号:KR1020190170595

    申请日:2019-12-19

    Abstract: 본발명은베이크아웃시험시 오염물질을흡착하고, 흡착된오염물질을정량적으로측정하는센서의온도제어를위해구비되는히트싱크에관한것으로, 본발명의목적은, 펠티어효과를이용하여베이크아웃시험시 발생하는이물질이흡착되는저온면의온도를유지하도록하기위해센서와결합하는히트싱크를제공함에있다. 또한, 히트싱크는높이조절이가능하도록설치되어시편의위치와관계없이베이크아웃시험을진행할수 있는히트싱크를제공할수 있으며, 표면에복사열을차단하는 MLI를설치하여챔버내부온도에의해히트싱크의온도가상승하는것을방지할수 있는히트싱크를제공하는것을목적으로한다.

    설정 기압을 제공하는 저압 챔버

    公开(公告)号:KR101719911B1

    公开(公告)日:2017-03-24

    申请号:KR1020150103501

    申请日:2015-07-22

    CPC classification number: B01J20/02 B01L1/02 F04B37/04

    Abstract: 저압챔버의설정기압을유지하는방법이제공된다. 상기방법은상기저압챔버의내부기압을측정하는단계, 상기내부기압과상기설정기압의차이가임계치이상인경우, 상기저압챔버의내부에배치되는열전도부를이용하여상기저압챔버의내부온도를조절하는단계및 게터를이용하여상기온도조절에따라상기저압챔버내부의분자를흡착하거나방출하여상기차이가임계치미만이되도록하는단계를포함할수 있다.

    저온 펌프의 온도 제어 장치 및 방법
    78.
    发明公开
    저온 펌프의 온도 제어 장치 및 방법 无效
    控制CRYOPUMP温度的装置和方法

    公开(公告)号:KR1020170011237A

    公开(公告)日:2017-02-02

    申请号:KR1020150103504

    申请日:2015-07-22

    CPC classification number: B64G7/00 F04B37/14 F04B39/06

    Abstract: 턴-오프된 경우에도, 일정시간동안설정온도를유지하도록하는저온펌프가제공된다. 상기저온펌프는내부에존재하는냉매를순환시켜외부온도를조절하는디스플레이서, 상기저온펌프의외부의열을상기냉매로전달하는열전도부및 상기디스플레이서가턴-오프된 경우, 상기냉매로전달되는상기외부의열을흡수하여상태변화에너지로이용하는열전도버퍼부를포함할수 있다.

    Abstract translation: 提供了即使在关闭时也能够在预设时间内保持预设温度的低温泵。 低温泵可以包括:置换器,其通过使存在于其中的制冷剂循环来调节外部温度; 将低温泵外的热传递给制冷剂的导热部; 以及导热缓冲部,如果置换器被关闭,则吸收传递到制冷剂的外部热量,并且将其用于改变状态的能量。

    설정 기압을 제공하는 저압 챔버
    79.
    发明公开
    설정 기압을 제공하는 저압 챔버 有权
    用于提供和保持预定压力的低压室

    公开(公告)号:KR1020170011234A

    公开(公告)日:2017-02-02

    申请号:KR1020150103501

    申请日:2015-07-22

    CPC classification number: B01J20/02 B01L1/02 F04B37/04

    Abstract: 저압챔버의설정기압을유지하는방법이제공된다. 상기방법은상기저압챔버의내부기압을측정하는단계, 상기내부기압과상기설정기압의차이가임계치이상인경우, 상기저압챔버의내부에배치되는열전도부를이용하여상기저압챔버의내부온도를조절하는단계및 게터를이용하여상기온도조절에따라상기저압챔버내부의분자를흡착하거나방출하여상기차이가임계치미만이되도록하는단계를포함할수 있다.

    Abstract translation: 提供了一种用于保持低压室的预设气压的方法。 该方法可以包括以下步骤:测量低压室的内部空气压力; 如果内部空气压力和预设空气压力之间的差异等于或高于阈值,则通过使用设置在低压室内部的导热部分来调节低压室的内部温度; 并且通过使用吸气剂,通过根据温度的调节吸附或释放低压室内的分子,使差异低于阈值。

    자동 개폐형 열진공챔버장치 및 이를 이용한 인공위성 설치방법
    80.
    发明授权
    자동 개폐형 열진공챔버장치 및 이를 이용한 인공위성 설치방법 有权
    自动开启和关闭类型的热真空室设备及使用其的卫星安装方法

    公开(公告)号:KR101680490B1

    公开(公告)日:2016-11-28

    申请号:KR1020150167850

    申请日:2015-11-27

    Abstract: 본발명은자동개폐형열진공챔버장치및 이를이용한인공위성설치방법에관한것으로써, 더욱상세하게는도어의개폐가자동으로이루어질수 있도록하는한편, 본체에형성되는유출입구가수직을이루는상태로부터본체의후면부방향으로하향경사를이루도록하여열진공챔버의내부로위성의인입및 그열진공챔버로부터위성의인출이원활하게이루어질수 있도록하며, 유출입구의차단시도어의자체하중에의해별도의잠금수단없이진공밀폐가가능하도록하기위한자동개폐형열진공챔버장치및 이를이용한인공위성설치방법에관한것이다.

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