公开(公告)号：WO2017044283A1

公开(公告)日：2017-03-16

申请号：PCT/US2016/047619

申请日：2016-08-18

Applicant: KLA-TENCOR CORPORATION

Inventor： LEVINSKI, Vladimir ,  PASKOVER, Yuri ,  LUBASHEVSKY, Yuval ,  MANASSEN, Amnon

IPC: G01N21/47 ,  G01J3/44

CPC classification number: G01B11/272 ,  G01B9/0201 ,  G01N21/4788 ,  G03F7/70633

Abstract: Metrology measurement methods and tools are provided, which illuminate a stationary diffractive target by a stationary illumination source, measure a signal composed of a sum of a zeroth order diffraction signal and a first order diffraction signal, repeat the measuring for a plurality of relations between the zeroth and the first diffraction signals, while maintaining the diffractive target and the illumination source stationary, and derive the first order diffraction signal from the measured sums. Illumination may be coherent and measurements may be in the pupil plane, or illumination may be incoherent and measurements may be in the field plane, in either case, partial overlapping of the zeroth and the first diffraction orders are measured. Illumination may be annular and the diffractive target may be a one cell SCOL target with periodic structures having different pitches to separate the overlap regions.

Abstract translation: 提供了测量方法和工具，其通过固定照明源照射固定衍射靶，测量由零级衍射信号和一级衍射信号的和组成的信号，重复测量多个关系 同时保持衍射目标和照明源平稳，并从测量的和导出一阶衍射信号。 照明可以是相干的，并且测量可以在光瞳平面中，或者照明可能不相干，并且测量可能在场平面中，在任一情况下，测量第零和第一衍射级的部分重叠。 照明可以是环形的，并且衍射靶可以是具有不同间距的周期性结构以分离重叠区域的单细胞SCOL靶。

公开(公告)号：WO2014198781A1

公开(公告)日：2014-12-18

申请号：PCT/EP2014/062146

申请日：2014-06-11

Applicant: MEDLUMICS S.L.

Inventor： LLORET SOLER, Juan ,  ZINOVIEV, Kirill ,  RUBIO GUIVERNAU, José Luis ,  MARGALLO BALBÁS, Eduardo

IPC: A61B5/00 ,  G01B9/02 ,  G02F1/225

CPC classification number: G01B9/02091 ,  A61B5/0066 ,  G01B9/0201 ,  G02B2006/12142 ,  G02F1/025 ,  G02F1/2257 ,  G02F2201/06 ,  G02F2203/50

Abstract: Systems and methods are presented for modulating a beam of radiation, such that the modulated beam exhibits substantially null residual amplitude modulation (RAM). An electro-optical modulator (300) is presented that includes a waveguide (306), a first region associated with the waveguide and a second region associated with the waveguide. The waveguide is designed to guide a beam of radiation. A first electric potential applied (314a, 314b) to the first region causes a first modulation to the beam of radiation while a second electric potential applied (316a, 316b) to the second region causes a second modulation to the beam of radiation. The first modulation combined with the second modulation provides substantially null residual amplitude modulation of the beam of radiation.

Abstract translation: 呈现用于调制辐射束的系统和方法，使得调制的光束呈现基本上为零的残余幅度调制（RAM）。 提出了一种电光调制器（300），其包括波导（306），与波导相关联的第一区域和与波导相关联的第二区域。 波导被设计成引导辐射束。 施加到第一区域的第一电位（314a，314b）对辐射束施加第一调制，而向第二区施加的第二电位（316a，316b）对辐射束施加第二调制。 与第二调制组合的第一调制提供辐射束的基本上零的剩余幅度调制。

公开(公告)号：WO2010062860A3

公开(公告)日：2010-08-26

申请号：PCT/US2009065572

申请日：2009-11-23

Applicant: ZYGO CORP ,  DECK LESLIE L ,  DE GROOT PETER ,  DAVIDSON MARK ,  LIESENER JAN ,  COLONNA DE LEGA XAVIER

Inventor： DECK LESLIE L ,  DE GROOT PETER ,  DAVIDSON MARK ,  LIESENER JAN ,  COLONNA DE LEGA XAVIER

IPC: G01B9/04 ,  G01B9/02 ,  G02B21/00 ,  G02B21/06

CPC classification number: G01B9/0209 ,  G01B9/02007 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02027 ,  G01B9/02039 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02068 ,  G01B9/02077 ,  G01B11/2441 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  Y10T29/49002

Abstract: Apparatus include a microscope including an objective and a stage for positioning a test object relative to the objective, the stage being moveable with respect to the objective, and a sensor system including a sensor light source, an interferometric sensor configured to receive light from the sensor light source, to introduce an optical path difference (OPD) between first and second portions of the light, the OPD being related to a distance between the objective lens and the stage, and to combine the light portions to provide output light, a detector for detecting the output light from the interferometric sensor, a fiber waveguide for directing light between the sensor light source, the interferometric sensor and the detector, a tunable optical cavity between the sensor light source and the interferometric sensor, and an electronic controller configured to determine information related to the OPD based on the detected output light.

Abstract translation: 装置包括显微镜，其包括物镜和用于相对于物镜定位测试对象的台，所述台可相对于所述物镜移动;以及传感器系统，包括传感器光源，被配置为接收来自所述传感器的光的干涉传感器 光源，以在光的第一和第二部分之间引入光程差（OPD），OPD与物镜与舞台之间的距离相关，并且组合光部分以提供输出光;检测器，用于 检测来自所述干涉测量传感器的输出光，用于在所述传感器光源，所述干涉测量传感器和所述检测器之间引导光的光纤波导，所述传感器光源和所述干涉测量传感器之间的可调光学腔，以及被配置为确定信息的电子控制器 基于检测到的输出光与OPD相关。

公开(公告)号：WO2010046340A1

公开(公告)日：2010-04-29

申请号：PCT/EP2009/063659

申请日：2009-10-19

Applicant: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT ,  DUDECK, Sven, Gerhard ,  GERHARD, Detlef ,  HIRTH, Florian ,  JAKOBI, Martin

Inventor： DUDECK, Sven, Gerhard ,  GERHARD, Detlef ,  HIRTH, Florian ,  JAKOBI, Martin

IPC: G01B11/06 ,  G01B11/24 ,  G01N21/95

CPC classification number: G01B11/0691 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02014 ,  G01B9/02035 ,  G01B9/0209 ,  G01B11/2441 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/95684 ,  G01N2021/8438

Abstract: Die Erfindung betrifft ein Interferometrie-Verfahren zur optischen Untersuchung von Schichten. Dieses kann beispielsweise als Weißlichtinterferometrie- oder als spektrales Dünnschichtinterferometrie-Verfahren ausgeführt sein. Hierbei wird ein Messfleck (18) mit einem Durchmesser (d) erzeugt, mit dem die Oberfläche (12) eines Messobjektes (11) optisch untersucht wird. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das Verfahren bei einem mit der Geschwindigkeit (v) bewegten Messobjekt (11) durchgeführt wird, wobei die Beleuchtung des Messobjektes mit Lichtpulsen einer Dauer (t) erfolgt. Dabei ist zu bercksichtigen, dass die Ausdehnung (a) des zu untersuchenden Schichtabschnittes größer sein muss als d + vt, damit eine Messung erfolgen kann. Erfindungsgemäß werden die Parameter (d, v und t) bei einer vorgegebenen Geschwindigkeit (v) des Messobjektes in geeigneter Weise gewählt. Vorteilhaft lässt sich das Messverfahren daher in der laufenden kontinuierlichen Produktion von Schichtbauteilen anwenden.

Abstract translation: 本发明涉及一种用于层的光学检查的干涉方法。 这可以例如作为Weißlichtinterferometrie-或作为频谱Dünnschichtinterferometrie方法来实现。 在此，测量点（18）产生的，其直径（d）中，与测量对象（11）的表面（12）的目视检查。 根据本发明，它提供了该方法在（v）的移动测量对象（11）的速度，其中所述照明发生被测物体的具有持续时间（t）的光脉冲以进行。 考虑到的是，检查层部分的范围（a）中必须是大于d + VT时，使得测量可以制成是很重要的。 该参数是根据在给定速度的本发明（D，V和t）（V）以合适的方式选择测量对象的。 有利地，测量过程可因此应用在当前连续生产层组件。

公开(公告)号：WO2009016887A1

公开(公告)日：2009-02-05

申请号：PCT/JP2008/060198

申请日：2008-06-03

Applicant: 浜松ホトニクス株式会社 ,  岩井 秀直 ,  山内 豊彦

Inventor： 岩井 秀直 ,  山内 豊彦

IPC: G01N21/45 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02069 ,  G01B9/0201 ,  G01B11/06 ,  G01B2290/35 ,  G01N21/45

Abstract: 光学的特性計測装置１は、光源部１０、第１光カプラ２１、第２光カプラ２２、レンズ３１、レンズ３２、位相変調部４０、駆動部４１、光路長差調整部５０、制御部５１、受光部６０、同期検出部７０および測定部８０を備える。位相変調部４０は、周波数ｆで光を位相変調する。同期検出部７０は、受光部６０から出力される電気信号に含まれる周波数ｆの成分の大きさに応じた値の第１信号を出力するとともに、該電気信号に含まれる周波数２ｆの成分の大きさに応じた値の第２信号を出力する。制御部５１は、同期検出部７０から出力される第１信号または第２信号に基づいて、光路長差調整部５０により調整される光路長差が所定値となるように制御をする。

Abstract translation: 光学特性测量仪器（1）具有光源部分（10），第一光耦合器（21），第二光耦合器（22），透镜（31），透镜（32），相位调制器部分 （40），驱动部（41），光路长度差调整部（50），控制部（51），受光部（60），同步检测部（70） 80）。 相位调制器部分（40）执行频率f的光的相位调制。 同步检测器部分（70）输出与从光接收器部分（60）输出的电信号中包含的频率f分量的大小相对应的值的第一信号，并输出对应于 包含在电信号中的频率2f分量的大小。 控制部51根据第一信号将由光路长度差调整部50调整的光路长度差设为规定值，从同步检测部输出第二信号 （70）。

公开(公告)号：WO2007059479A3

公开(公告)日：2008-11-06

申请号：PCT/US2006060856

申请日：2006-11-14

Applicant: IMALUX CORP

Inventor： FELDCHTEIN FELIX I ,  GELIKONOV VALENTIN M ,  GELIKONOV GRIGORY V

IPC: G01B9/02

CPC classification number: G01B9/02057 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02011 ,  G01B9/02079 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/70 ,  G01N21/23 ,  G01N21/49

Abstract: Polarization-sensitive optical coherence devices for obtaining birefringence information are presented. The polarization state of the optical radiation outgoing from the optical radiation source is controlled such that the polarization state of the optical radiation incident on a sample has a 45 degrees angle with respect to the anisotropy axis of the sample. A combination optical radiation is produced in a secondary interferometer by combining a sample portion with a reference portion of optical radiation reflected from a tip of an optical fiber of the optical fiber probe. Subject to a preset optical path length difference of the arms of the secondary interferometer, a cross-polarized, and/or a parallel-polarized component of the combined optical radiation, are selected. Time domain and frequency domain registration are provided. The performance of the device is substantially independent from the orientation of the optical fiber probe with respect to the sample.

Abstract translation: 提出了用于获得双折射信息的偏振敏感光学相干装置。 控制从光辐射源出射的光辐射的偏振状态，使得入射到样品上的光辐射的偏振状态相对于样品的各向异性轴具有45度的角度。 通过将样品部分与从光纤探针的光纤的尖端反射的光辐射的参考部分组合，在二次干涉仪中产生组合光辐射。 受到二次干涉仪的臂的预设光程长度差异，组合光辐射的交叉极化和/或平行偏振分量的选择。 提供时域和频域注册。 器件的性能基本上与光纤探针相对于样品的取向无关。

公开(公告)号：WO2008010996A3

公开(公告)日：2008-04-03

申请号：PCT/US2007016146

申请日：2007-07-17

Applicant: BIOPTIGEN INC ,  IZATT JOSEPH A ,  BUCKLAND ERIC L ,  HAMO DAVID

Inventor： IZATT JOSEPH A ,  BUCKLAND ERIC L ,  HAMO DAVID

IPC: A61B5/00 ,  G01B9/02

CPC classification number: G01B9/0201 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/7203 ,  A61B5/7257 ,  G01B9/02011 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02078 ,  G01B9/02079 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/70 ,  G01N21/4795

Abstract: Methods, fourier domain optical coherence tomography (FDOCT) interferometers and computer program products are provided for removing undesired artifacts in FDOCT systems using continuous phase modulation. A variable phase delay is introduced between a reference arm and a sample arm of an FDOCT interferometer using continuous phase modulation. Two or more spectral interferograms having different phase delay integration times are generated. The spectral interferograms are combined using signal processing to remove the undesired artifacts. Systems and methods for switching between stepped and continuous phase shifting Fourier domain optical coherence tomography (FDOCT) and polarization-sensitive optical coherence tomography (PSOCT) are also provided herein.

Abstract translation: 方法，傅里叶域光学相干断层扫描（FDOCT）干涉仪和计算机程序产品提供用于消除使用连续相位调制的FDOCT系统中的不希望的伪影。 使用连续相位调制在FDOCT干涉仪的参考臂和样本臂之间引入可变相位延迟。 生成具有不同相位延迟积分时间的两个或更多个谱干涉图。 使用信号处理来组合光谱干涉图以去除不希望的伪影。 本文还提供了用于在阶跃和连续相移傅立叶域光学相干断层扫描（FDOCT）和偏振敏感光学相干断层扫描（PSOCT）之间切换的系统和方法。

公开(公告)号：WO2005095918A2

公开(公告)日：2005-10-13

申请号：PCT/US2005/010471

申请日：2005-03-29

Applicant: CARL ZEISS MEDITEC INC. ,  EVERETT, Matthew, J. ,  ZHOU, Yan

Inventor： EVERETT, Matthew, J. ,  ZHOU, Yan

IPC: G01M11/00

CPC classification number: G01M11/3181 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0084 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/40 ,  G01B2290/70 ,  G01N21/4795

Abstract: The present invention discloses simple and yet highly efficient configurations of optical coherence domain reflectometry systems. The combined use of a polarizing beam splitter with one or two polarization manipulator(s) that rotate the returned light wave polarization to an orthogonal direction, enables one to achieve high optical power delivery efficiency as well as fixed or predetermined output polarization state of the interfering light waves reaching a detector or detector array, which is especially beneficial for spectral domain optical coherence tomography. In addition, the system can be made insensitive to polarization fading resulting from the birefringence change in the sample and reference arms. Dispersion matching can also be easily achieved between the sample and the reference arm for high resolution longitudinal scanning.

Abstract translation: 本发明公开了光学相干畴反射系统的简单且高效的配置。 将偏振分束器与一个或两个偏振操纵器组合使用，其将返回的光波偏振旋转到正交方向，使得能够实现高光输出效率以及干涉的固定或预定的输出偏振状态 光波到达检测器或检测器阵列，这对于光谱域光学相干断层扫描是特别有益的。 此外，该系统可以对由样品和参考臂中的双折射变化导致的偏振衰落不敏感。 也可以在样品和参考臂之间轻松实现色散匹配，以实现高分辨率纵向扫描。

公开(公告)号：WO2004068187A3

公开(公告)日：2005-03-24

申请号：PCT/US2004002166

申请日：2004-01-27

Applicant: ZETETIC INST ,  HILL HENRY ALLEN

Inventor： HILL HENRY ALLEN

IPC: A45D8/00 ,  G01B9/02 ,  G01B9/04 ,  G02B17/08 ,  G02B21/00 ,  G02B21/14 ,  G02B27/01 ,  G02B27/10

CPC classification number: G01B9/02007 ,  A45D2008/006 ,  G01B9/02002 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02014 ,  G01B9/02022 ,  G01B9/02042 ,  G01B9/02079 ,  G01B9/04 ,  G01B2290/70 ,  G02B21/0056 ,  G02B21/14 ,  G02B27/017 ,  G02B27/108 ,  G02B27/126 ,  G02B27/143 ,  G02B27/144 ,  G02B27/145

Abstract: An interferometery system (110) for making interferometric measurements of an object, the system including: a beam generation module (124) which during operation delivers an output beam that includes a first beam at a first frequency and a second beam at a second frequency that is different from the first frequency, the first and second beams within the output beam being coextensive, the beam generation module including a beam conditioner (122) which during operation introduces a sequence of different shifts in a selected parameter of each of the first and second beams, the selected parameter selected from a group consisting of phase and frequency; a detector assembly having a detector element (170); and an interferometer constructed to receive the output beam at least a part of which represents a first measurement beam at the first frequency and a second measurement beam at the second frequency, the interferometer further constructed to image both the first and second measurement beams onto a selected spot on the object (160) to produce therefrom corresponding first and second return measurement beams, and to then simultaneously image the first and second return measurement beams onto said detector element (170).

Abstract translation: 一种用于对物体进行干涉测量的干涉仪系统（110），所述系统包括：光束产生模块（124），其在操作期间传送包括第一频率的第一光束和第二频率的第二光束的输出光束， 与第一频率不同的是，输出光束内的第一和第二光束是共同延伸的，光束产生模块包括光束调节器（122），其在操作期间引入第一和第二光束中每一个的选定参数中的不同偏移序列 所述参数选自由相位和频率组成的组; 具有检测器元件（170）的检测器组件; 以及干涉仪，其被构造为接收输出光束，所述输出光束的至少一部分表示第一频率处的第一测量光束和在第二频率处的第二测量光束，所述干涉仪还被构造成将所述第一和第二测量光束成像到所选择的 （160）上产生相应的第一和第二返回测量光束，然后将第一和第二返回测量光束同时成像到所述检测器元件（170）上。

公开(公告)号：WO2005001522A2

公开(公告)日：2005-01-06

申请号：PCT/US2004/017649

申请日：2004-06-04

Applicant: TOMOPHASE CORPORATION ,  WANG, Feiling

Inventor： WANG, Feiling

IPC: G02B

CPC classification number: G01N21/55 ,  A61B5/0059 ,  A61B5/0066 ,  A61B5/0073 ,  A61B5/14532 ,  A61B5/1455 ,  A61B5/14558 ,  A61B2562/0242 ,  G01B9/0201 ,  G01B9/02044 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/02091 ,  G01B2290/35 ,  G01B2290/40 ,  G01B2290/45 ,  G01B2290/70 ,  G01J3/02 ,  G01J3/021 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0224 ,  G01J3/42 ,  G01N21/21 ,  G01N21/27 ,  G01N21/474 ,  G01N21/4795 ,  G01N21/49 ,  G01N2021/4709 ,  G01N2021/4792 ,  G02B21/06

Abstract: This application describes designs, implementations, and techniques for controlling propagation mode or modes of light in a common optical path, which may include one or more waveguides, to sense a sample.

Abstract translation: 该应用描述了用于控制公共光路中的传播模式或光模式的设计，实现和技术，其可以包括一个或多个波导以感测样本。