圆顶气体传感器
    72.
    发明授权

    公开(公告)号:CN101449143B

    公开(公告)日:2011-07-13

    申请号:CN200780004661.X

    申请日:2007-02-06

    Abstract: 一种非色散红外气体传感器,具有在圆顶形状的气室(5)内并排的发光二极管辐射源(2)和光电二极管检测器(3)。涂覆在所述圆顶(5)内表面(6)的反射镜将来自发光二极管(2)的光反射到光电二极管(3)上。在一个实施例中,反射表面具有多个半环形子面(51-59),以使起源于发光二极管上一点的辐射线在会聚到所述光电二极管上时不聚焦。所述发光二极管和光电二极管(3)可以安装在桥接印刷电路板(4)上,所述桥接印刷电路板(4)沿着所述圆顶外壳的直径延伸。所述电桥高度在组装过程中可以调节,以使所述辐射线以最佳方式入射到所述光电二极管。

    측정용 광학계 및 그것을 사용한 색채 휘도계 및 색채계
    76.
    发明授权
    측정용 광학계 및 그것을 사용한 색채 휘도계 및 색채계 有权
    用于测量的光学系统和使用其的发光颜料和色彩

    公开(公告)号:KR101417565B1

    公开(公告)日:2014-07-08

    申请号:KR1020127030595

    申请日:2011-03-15

    Abstract: 본 발명에 관한 측정 프로브(40)에서는, 측정광은, 제1 확산판(19)에 의해 산란되고, 복수의 간섭 막 필터(13A, 14A, 15A)를 통해서 복수의 수광 센서(13B, 14B, 15B)로 수광될 때에, 제2 확산판(13C, 14C, 15C)을 통해서 각 간섭 막 필터(13A, 14A, 15A)에 입사된다. 그리고, 이들 간섭 막 필터(13A, 14A, 15A)는, 상기 간섭 막 필터(13A, 14A, 15A)에의 입사광의 입사 각도에 대한 강도 분포의 조건에 따라, 측정 파라미터에 대응한 투과율 특성이 얻어지도록 형성된다. 이로 인해, 본 발명에 관한 측정 프로브(40)는, 간섭 막 필터(13A, 14A, 15A)를 사용하면서, 그 입사 각도에 의한 투과율 특성의 어긋남의 영향을 저감할 수 있다.

    광학 장치, 이를 구비한 고효율 분광계측기 및 플라즈마 처리 장치
    79.
    发明公开
    광학 장치, 이를 구비한 고효율 분광계측기 및 플라즈마 처리 장치 有权
    光学装置,具有该装置的高效率光谱仪及等离子体处理装置

    公开(公告)号:KR1020180014348A

    公开(公告)日:2018-02-08

    申请号:KR1020160097006

    申请日:2016-07-29

    Inventor: 한재원

    CPC classification number: G01J3/0218 G01J3/0208 G01J3/0216 H01J63/08

    Abstract: 광학장치, 이를구비한고효율분광계측기및 플라즈마처리장치가개시된다. 본발명의실시예에따른광학장치는플라즈마광원의물체면(objective plane)에서방출되는제1 광, 물체면의전방영역에서방출되는제2 광및 물체면의후방영역에서방출되는제3 광을집속하는광집속렌즈; 광집속렌즈에의해집속되는제1 광의결상면에배치되고, 제1 광의결상점을감싸는영역에형성되고제2 광의집속광및 제3 광의집속광을동시에차단하는차단면을갖는차단판을포함하고, 제1 광의집속광을통과시켜회절시키는개구가차단판을관통하여제1 광의결상점에형성되는광선택부; 개구를통과하여회절된제1 광을포집하는렌즈부; 및렌즈부에의해포집된제1 광이입사되는광섬유를포함한다. 본발명의실시예에의하면, 플라즈마광원의다양한변화에대해적응적으로광신호수집효율을높일수 있다.

    Abstract translation: 公开了一种光学装置,具有该装置的高效光谱测量仪器以及等离子体处理装置。 根据本发明实施例的光学设备包括从等离子体光源的物面发射的第一光,从物平面的前区发射的第二光以及从物平面的后区发射的第三光 聚焦光学聚焦透镜; 被布置在第一光学分辨率由聚光透镜聚焦的上表面,一个在围绕所述第一光学分辨率存储区中的第二光会聚的光,并具有止挡表面,阻止第三聚光光同时板的块的区域中形成 光选择单元,用于使第一光的聚焦光透射和衍射的孔穿过所述光选择单元,并穿过所述遮光板并形成在所述第一光切换点中; 一个透镜单元,用于收集通过光圈衍射的第一光; 以及由透镜单元收集的第一光入射到其中的光纤。 根据本发明的实施例,可以针对等离子光源的各种变化自适应地改善光信号收集效率。

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