Abstract:
A reflected light, as emitted toward and reflected from a measurement target (W), is transmitted through a BDP (12), so that it is separated into a second polarized light (B), which has its polarized state changed due to a birefringence by a stress acting on glass substrates (W1 and W2), and a first polarized light (A) to return to the initial optical path. The second polarized light (B) is guided to pass a pin hole (15), so that only the second polarized light (B) reflected from a predetermined focal plane is received by a second photodiode (9b). Moreover, an optical system unit (5) is rotated on an optical axis, and the same operation is done at every predetermined rotation angles, so that an operation processing unit (24) determines the difference and direction of a principal stress acting on a predetermined glass substrate, from a group of optical intensity values of the second polarized light acquired.
Abstract:
본 발명은 고분해능으로, 또한 고감도로, 계측위치 정합성이 높은 응력·왜곡의 2차원적인 분포의 실시간 계측을 가능하게 하는 미소영역 물성 계측방법 및 장치이다. 가늘게 조절된 전자선(22, 26)을 주사하면서 시료에 조사하여, 회절 스폿 (32, 33)의 위치의 변위를 2차원 위치 유감형 전자검출기(13)로 계측한다. 변위량은 전압값으로서 출력되기 때문에, 나노 디플렉션방식의 원리에 따라 응력·왜곡의 크기로 변환하여, 시료상의 위치신호와 동기하여 화상 표시한다.
Abstract:
본 발명은 프리스트레스트 디스크(1)의 블로잉 구조를 측정하는 방법으로서, 적어도 (a) 디스크(1)의 적어도 하나의 분석 영역(4)에 방사선원(2)으로부터 선형 편광 광(5)을 소정의 입사 각도(θ E )로 조사하고, 적어도 한 대의 검출기(3)를 사용하여 소정의 관찰 각도(θ A )에서 적어도 분석 영역(4)의 화상(6)을 기록하는 단계와, (b) 평가 유닛(7)으로 화상(6)을 공급하는 단계와, (c) 평가 유닛(7)을 사용하여, (c1) 화상(6)의 분석선(9)을 따라 휘도 프로필(8)을 판독하고, (c2) 휘도 프로필(8)의 국부 최대치(15)와 국부 최소치(16)를 판정하고, (c3) 국부 최대치의 휘도 평균값(M max )과 국부 최소치의 휘도 평균값(M min ) 사이의 차이에 의해 강도 지수(I BS )를 판정하는 단계를 포함하는 방법에 관한 것이다.
Abstract:
측정 대상물(W)로 향해서 조사되어 반사하여 돌아오는 반사광을 BDP(12)에 투과시켜, 유리 기판 W1, W2에 작용하고 있는 응력에 의해서 편광 상태가 복굴절에 의해 변화한 제2편광 B와 초기의 광로로 돌아오는 제1편광 A로 분리한다. 이 제2편광 B를, 또한 핀홀(15)로 통과시키고, 소정의 초점면으로부터 반사하여 돌아오는 제2편광 B만을 제2 포토다이오드(9b)에서 수광한다. 또한, 광학계 유니트(5)를 광축회전으로 회전시켜, 소정의 회전각마다 같은 처리를 행하지 않고, 취득한 제2편광의 일군의 광강도 값으로부터 소정의 유리 기판에 작용하고 있는 주응력의 차이와 그 방향을 연산처리부(24)가 구한다. 광탄성, 측정, 투과성, 대상물, 응력, 왜력(歪力), 회전, 렌즈, 편광
Abstract:
PURPOSE: A pressure sensor and a touch screen with the pressure sensor and a pressure sensing device are provided to easily design and manufacture the touch screen by sensing pressure based on the amount of lights and to accurately measure the pressure. CONSTITUTION: A pressure sensor (10) includes a light source (100), an optical waveguide (200), a light receiving unit (300), and a pressure sensing unit (210). The light source unit generates lights. The optical waveguide transmits the light generated by the light source unit to the light receiving unit. The light receiving unit receives the light transmitted by the optical waveguide. The pressure sensing unit regulates the amount of the lights transmitted by the optical waveguide according to the pressure.
Abstract:
A method and system for obtaining force are provided, wherein the system includes a block made of a photoelastic material having multiple surfaces including a first surface on which an object is exerting the force to the block, and one or more polariscopes configured around the block, and wherein the method includes measuring photoelastic intensities by using three polariscopes simultaneously and obtaining each set of the photoelastic intensities sequentially in time to obtain a sequence of measured photoelastic intensities, and obtaining the force by using an optimization method based on the quantity associated with the difference between the measured and predicted photoelastic intensities.