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公开(公告)号：CN109243953A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201810744936.3
申请日：2018-07-09
IPC: H01J37/22 , H01J37/305
CPC classification number: H01J37/28 , G02B26/10 , G02B27/0916 , H01J37/1471 , H01J37/228 , H01J37/265 , H01J37/226 , H01J37/3056
Abstract: 公开了一种用于观测和对准带电粒子束（CPB）系统（诸如电子显微镜或聚焦粒子束系统）的样本腔室中的光束的方法和系统。该方法包括在样本腔室内部提供具有校准表面的成像辅助设备，该校准表面被配置成使得当利用光照亮，并且同时被CPB照亮时，在也被光照亮的区中通过CPB引起的二次辐射的强度相对于具有较低光照明水平的区中通过CPB引起的二次辐射的强度是不同的，由此在校准表面上提供光束的图像。该光束的图像可以被用来使光束与带电粒子束对准。
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公开(公告)号：CN109037093A
公开(公告)日：2018-12-18
申请号：CN201810830214.X
申请日：2018-07-26
Applicant: 德淮半导体有限公司
Inventor： 陈灵
Abstract: 本发明技术方案公开了一种扫描电子显微镜的污染检测方法，包括：提供半导体衬底，所述半导体衬底上形成有介质抗反射层；将所述半导体衬底置于所述扫描电子显微镜所处的真空环境中，使所述半导体衬底充分暴露在所述真空环境中；在所述介质抗反射层上形成光刻胶图形；通过所述扫描电子显微镜获取形成有光刻胶图形的半导体衬底的表面图像；基于所述半导体衬底的表面图像检测所述光刻胶图形的缺陷。本发明技术方案可以监控扫描电子显微镜对半导体产品的污染影响。
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公开(公告)号：CN108550514A
公开(公告)日：2018-09-18
申请号：CN201810281220.4
申请日：2018-03-23
Applicant: 中山大学
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/28
Abstract: 本发明涉及一种分离式便携小型扫描电子显微镜，由光学量测及信号采集系统、控制及成像系统、高速无线通信系统组成，控制及成像系统通过高速无线通信系统远程控制光学量测及信号采集系统，收集信号电子数据结果并进行信号记录、处理和成像显示。通过高速无线通信技术，实现将光学量测及信号采集系统、控制及成像系统的分离，实现扫描电子显微镜的模块化，提高其量测部分的便携性，通过共享与整合控制及成像系统，减小所需的空间，实现扫描电子显微镜的小型化，有助于扫描电子显微镜的野外量测和二次开发。
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公开(公告)号：CN108335962A
公开(公告)日：2018-07-27
申请号：CN201810034728.4
申请日：2018-01-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/317 , G01N1/28 , H01J37/20
CPC classification number: H01J37/20 , G01N23/2204 , G01N2223/418 , H01J37/222 , H01J37/28 , H01J37/3023 , H01J2237/208 , H01J2237/2817 , H01J2237/31745 , H01J37/317 , G01N1/28
Abstract: 本发明提供带电粒子束装置，其自动地重复进行取出通过离子束对试样的加工而形成的试样片并移置到试样片支架上的动作。该带电粒子束装置从试样自动地制作出试样片，其具有：带电粒子束照射光学系统，其照射带电粒子束；试样台，其载置并移动试样；试样片移置单元，其保持从试样分离和取出的试样片并进行输送；支架固定台，其对移置有试样片的试样片支架进行保持；以及计算机，其在由试样片移置单元对试样片进行保持之后发生异常的情况下，进行使试样片移置单元所保持的试样片灭失的控制。
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公开(公告)号：CN106783493B
公开(公告)日：2018-07-10
申请号：CN201611090486.8
申请日：2016-12-01
Applicant: 聚束科技(北京)有限公司
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/261 , H01J37/28
Abstract: 本发明公开了一种真空气氛处理装置，所述装置的顶部与外部的粒子束产生装置连接，其特征在于，所述装置包括：底部与外部的待测样品或承载所述待测样品的平台接触的吸盘、与外部的供气系统连接的第一气体控制器、与外部的抽气系统连接的第二气体控制器；其中，所述装置的顶部设置有窗口，所述窗口用于使外部的粒子束进入所述装置；所述第一气体控制器，用于连接所述供气系统和所述吸盘；所述第二气体控制器，用于连接所述抽气系统和所述吸盘。本发明还公开了一种样品观测系统及方法。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108231513A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711399336.X
申请日：2017-12-21
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司
CPC classification number: G02B21/365 , G02B21/367 , G06T7/33 , G06T7/73 , G06T2207/10061 , G06T2207/10148 , G06T2207/20016 , H01J37/28 , H01J37/261
Abstract: 一种用于操作显微镜的方法，该方法包括：记录样本的第一图像其中，该第一图像包含第一特征F1；记录该样本的第二图像其中，该第二图像包含被安排在距该第一特征一定距离处的第二特征F2；将该样本相对于该显微镜移位一定位移记录该样本的第三图像其中，该第三图像包含该第二特征；记录该样本的第四图像其中，该第四图像包含被安排在距该第二特征一定距离处的第三特征F3；并且基于该第一、第二、第三、以及第四图像来确定该第三特征相对于该第一特征的位置
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公开(公告)号：CN108226737A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711368608.X
申请日：2017-12-18
Applicant: FEI公司
IPC: G01R31/26
CPC classification number: H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/0245 , H01J2237/162 , H01J2237/2006 , H01J2237/2448 , H01J2237/24564 , G01R31/26
Abstract: 本发明提供用于在IC半导体装置中进行故障分析的新技术，包括用以在正在电刺激受测装置(DUT)的同时或在所述装置靠其自身或在安装于电路板或其它模块中的主机系统内活动的同时实现在IC受测装置(DUT)内使用电子束技术进行电路探测的系统设计和方法。所述DUT可为封装IC或呈某种未封装形式的IC。为了在紧靠电子束工具外部创建局部抽空容积，抵靠或围绕所述DUT密封密封元件以获得局部密封。此类布置使得不需要对操作并监视所述DUT所需的可能成千上万信号进行真空馈通，并且进一步实现在DUT正在其正常环境中(诸如安装在其系统中的电路板上)或在无错测试器上进行操作时探测所述DUT。
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公开(公告)号：CN106463322B
公开(公告)日：2018-06-26
申请号：CN201580026256.2
申请日：2015-05-22
Applicant: 科磊股份有限公司
Abstract: 一个实施例涉及一种双威恩过滤器单色器。第一威恩过滤器使电子束聚焦于第一平面中，同时使所述电子束在第二平面中平行。狭缝开口允许所述电子束的具有在能量范围内的能量的电子通过，同时阻挡所述电子束的具有在所述能量范围之外的能量的电子。第二威恩过滤器使所述电子束聚焦以变得在所述第一平面中平行，同时使所述电子束在所述第二平面中平行。还揭示其它实施例、方面及特征。
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公开(公告)号：CN106057619B
公开(公告)日：2018-05-08
申请号：CN201610215069.5
申请日：2016-04-08
Applicant: 国际商业机器公司
Inventor： R.M.特罗姆普
CPC classification number: H01J37/263 , H01J37/222 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/2446 , H01J2237/2802 , H01J2237/2809 , H01J2237/2826
Abstract: 实施例针对一种用于生成样品的校正图像的信息处理系统。该系统包括：探测器；存储器，该存储器可通信地耦合到探测器；以及后探测图像处理器，该后探测图像处理器可通信地耦合到存储器和探测器。配置该探测器，以探测多个运动粒子的数据，其中多个运动粒子的数据对应于样品的未校正图像，并且其中未校正图像包括散焦、像散和球面像差。配置后探测图像处理器，以至少部分地根据对多个运动粒子的探测数据的处理，生成样品的校正图像。
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公开(公告)号：CN105161393B
公开(公告)日：2018-03-27
申请号：CN201510512550.6
申请日：2004-09-07
Applicant: 卡尔蔡司显微镜有限责任公司 , 应用材料以色列公司
CPC classification number: H01J37/04 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/09 , H01J37/10 , H01J37/14 , H01J37/153 , H01J37/28 , H01J37/3007 , H01J37/3177 , H01J2237/0435 , H01J2237/0453 , H01J2237/047 , H01J2237/04735 , H01J2237/04756 , H01J2237/06 , H01J2237/14 , H01J2237/2817 , H01J2237/31774
Abstract: 本发明涉及电子光学排布结构、多电子分束检验系统和方法。该电子光学排布结构提供一次和二次电子束路径，一次束路径用于从一次电子源指向可定位在该排布结构的物面中的物体的一次电子束，二次束路径用于源自物体的二次电子，该结构包括磁体排布结构，其具有：第一磁场区，由一次和二次电子束路径穿过，用于将一次和二次电子束路径相互分开；第二磁场区，布置在第一磁场区的上游的一次电子束路径中，二次电子束路径不穿过第二磁场区，第一和第二磁场区沿基本上相反的方向使一次电子束路径偏转；第三磁场区，布置在第一磁场区的下游的二次电子束路径中，一次电子束路径不穿过第三磁场区，第一和第三磁场区沿基本上相同的方向使二次电子束路径偏转。
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