公开(公告)号：KR100974111B1

公开(公告)日：2010-08-04

申请号：KR1020070038190

申请日：2007-04-19

Applicant: 지멘스 악티엔게젤샤프트

Inventor： 하이네,볼프강 ,  스피리에겔,디이터 ,  스토크만,미하엘 ,  베버,마틴

IPC: G01J1/02

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

Abstract: 유리와 같은 평탄한 표면들 상에 나타날 수 있는 점형태(punctiform), 선형(linear) 또는 층형(laminar) 결함들을 검출하기 위하여 광학 센서가 사용된다.
상기 광학 센서는 a) 텔레센트릭 레이저 스캐너(12); 및 b) 검출 유닛(11)을 포함하고,
상기 텔레센트릭 레이저 스캐너(12)는 평탄한 표면(5)에 거의 수직하는 조명을 위한 레이저(1), 스캐닝 미러(2), 및 조명 및 검출 빔들을 안내하기 위한 텔레센트릭 광학 시스템(4)을 구비하고,
상기 검출 유닛(11)은 광학 검출기 시스템(8), 텔레센트릭 레이저 스캐너(4)를 향해서 광학 검출기 시스템 부근에 동심적으로(concentrically) 위치되는 중앙 조리개(9), 평탄한 표면들(5) 상의 결함들로부터 나오는 스캐터링된 광을 검출하기 위한 고감도 광전자증배기(6), 및 상기 광전자증배기(6)의 업스트림에 배치되는 슬릿 조리개(9)를 구비한다.
응용/제품 : 표면들의 광학 조사를 위한 조사 시스템

公开(公告)号：TWI375027B

公开(公告)日：2012-10-21

申请号：TW096113628

申请日：2007-04-18

Applicant: 西門斯股份有限公司

Inventor： 渥爾夫干海恩 ,  迪特史普萊格爾 ,  麥克斯托克曼 ,  馬丁韋伯

IPC: G01N

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

Abstract: 光學感應器係用來偵測出現於像玻璃之類平滑表面上之點狀、線狀或層狀的缺陷。
該感應器包括：a)一遠心雷射掃瞄器(12)，其具有：－一雷射(1)，用來為平滑表面(5)提供大致垂直的照明；－一掃瞄面鏡(2)；－一遠心光學系統(4)，用來導引該照明及偵測光束；b)一偵測單元(11)，其具有：－光學偵測系統(8)；－一中央光闌(9)，依同心方式朝向該遠心光學系統(4)定位於該光學偵測系統附近；－一高敏性光電倍增器(6)，用於偵測由該等平滑表面(5)上之缺陷輻射出的散射光；－一狹縫型光闌(7)，配置於該光電倍增器(6)之上游。
應用/產品：利用光學方式檢查表面之檢查系統

Abstract in simplified Chinese: 光学感应器系用来侦测出现于像玻璃之类平滑表面上之点状、线状或层状的缺陷。 该感应器包括：a)一远心激光扫瞄仪(12)，其具有：－一激光(1)，用来为平滑表面(5)提供大致垂直的照明；－一扫瞄面镜(2)；－一远心光学系统(4)，用来导引该照明及侦测光束；b)一侦测单元(11)，其具有：－光学侦测系统(8)；－一中央光阑(9)，依同心方式朝向该远心光学系统(4)定位于该光学侦测系统附近；－一高敏性光电倍增器(6)，用于侦测由该等平滑表面(5)上之缺陷辐射出的散射光；－一狭缝型光阑(7)，配置于该光电倍增器(6)之上游。 应用/产品：利用光学方式检查表面之检查系统

公开(公告)号：KR1020180007194A

公开(公告)日：2018-01-22

申请号：KR1020160088106

申请日：2016-07-12

Applicant: 주식회사 에이치비테크놀러지

Inventor： 안덕상

IPC: G01N21/88 ,  G01B11/00 ,  H04N5/225

CPC classification number: G01N21/8851 ,  G01B11/00 ,  G01N2021/887 ,  G01N2201/1042 ,  H04N5/225

Abstract: 본발명은갠트리형태로형성된초고속리뷰검사장치에있어서, X축방향으로이동하는 X축리니어스테이지와 Y축방향으로이동하는 Y축리니어스테이지및 상기 X축리니어스테이지의이동구간보다작은구간으로이동하는스몰 X축리니어스테이지각각에리니어가이드또는구동부가배치된프레임이나바를구비하고, 상기스몰 X축리니어스테이지에스몰바에배치된구동부에는측정프로브가장착되어구동함으로써측정대상물의측정이가능한검사장치이다.

Abstract translation: 本发明涉及方法，移动一小部分比所述Y轴的线性台的移动范围，并在X轴线性平台和Y轴方向上的机架型的形成在高速审查测试装置在X轴方向上移动X轴线性平台 具有设置在每个线性台架或杆和所述小的驱动装置上的线性导向件或驱动装置小型X轴在X轴线性台条小配备了测量探头扫描测量物体通过驱动被测量可用的设备。

公开(公告)号：KR101018207B1

公开(公告)日：2011-02-28

申请号：KR1020090009747

申请日：2009-02-06

Applicant: 삼성전기주식회사

Inventor： 김택겸 ,  김배균

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/1042 ,  G02B26/12

Abstract: 본 발명은 빔 스캐너 및 표면 측정 장치에 관한 것으로서, 본 발명의 일 측면은, 상부 및 하부 반사면과 상기 상부 및 하부 반사면 사이에 위치한 복수의 측 반사면을 구비하며, 상기 상부 및 하부 반사면을 관통하는 회전축을 중심으로 회전하여 상기 측 반사면에 입사된 빔을 일 방향으로 주사하는 회전미러와, 제1 빔을 상기 측 반사면에 조사하는 제1 광원과, 제2 빔을 상기 상부 및 하부 반사면 중 적어도 하나의 면에 조사하는 제2 광원 및 상기 제2 빔 중 상기 회전미러에 의해 반사된 빔을 수광하는 검출부를 포함하며, 상기 검출부는 상기 회전미러의 상하 움직임에 따른 상기 제1 빔의 주사 위치를 보정하는 보정부인 빔 스캐너를 제공한다.
본 발명에 따르면, 빔 스캔용 회전 미러의 움직임에 따른 오차를 최소화함으로써 고속·고분해능의 표면 측정이 가능한 빔 스캐너 및 표면 측정 장치를 얻을 수 있다.
표면 측정, 표면 검사, 빔 스캐너, 회전미러, 폴리곤 미러, 흔들림

公开(公告)号：KR1020100090460A

公开(公告)日：2010-08-16

申请号：KR1020090009747

申请日：2009-02-06

Applicant: 삼성전기주식회사

Inventor： 김택겸 ,  김배균

IPC: H01L21/66 ,  G01N21/88

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01N21/94 ,  G01N21/9501 ,  G01N2201/1042 ,  G02B26/12

Abstract: PURPOSE: A beam scanner and an apparatus for measuring a surface are provided to improve the precision of a surface measurement by minimizing errors according to the movement of a rotary mirror. CONSTITUTION: A rotary mirror(102) includes an upper and a lower reflecting surface and a plurality of lateral reflecting surfaces. The rotary mirror rotates around a rotary shaft and scans beam, which is radiated on the lateral reflecting surfaces, to one direction. The rotary shaft passes through the upper and the lower reflecting surface. First light source(101) radiates first beam toward the lateral reflecting surfaces. Second light source radiates second beam toward either of the upper reflecting surface and the lower reflecting surface. A detector(104) receives reflected second beam from a rotary mirror.

Abstract translation: 目的：提供一种光束扫描器和用于测量表面的装置，以通过根据旋转镜的运动使误差最小化来提高表面测量的精度。 构成：旋转镜（102）包括上反射面和下反射面以及多个侧面反射面。 旋转镜绕旋转轴旋转，将辐射在侧面反射面上的光束扫描到一个方向。 旋转轴通过上反射面和下反射面。 第一光源（101）朝向侧面反射面辐射第一光束。 第二光源将第二光束照射到上反射面和下反射面中的任一个。 检测器（104）从旋转镜接收反射的第二光束。

公开(公告)号：KR1020070105854A

公开(公告)日：2007-10-31

申请号：KR1020070038190

申请日：2007-04-19

Applicant: 지멘스 악티엔게젤샤프트

Inventor： 하이네,볼프강 ,  스피리에겔,디이터 ,  스토크만,미하엘 ,  베버,마틴

IPC: G01J1/02

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

Abstract: An optical sensor and a method for optically inspecting surfaces are provided to perform a perfect optical inspection for planar surfaces relative to punctiform, linear or laminar defects within the range of a few micrometers. An optical sensor for optically inspecting surfaces comprises a telecentric laser scanner(12) and a detection unit(11). The telecentric laser scanner(12) comprises a laser(1) for irradiating a beam onto a planar surface(5), a scanning mirror(2) and a telecentric optical system(4) for inducing beams. The detection unit(11) comprises an optical detection system(8), a central diaphragm(9), a high sensitive photomultiplier(6) and a slit diaphragm(7). The central diaphragm(9) is concentrically located around the optical detection system(8) toward the telecentric optical system(4). The high sensitive photomultiplier(6) detects scattered light output from defects on the planar surface(5).

Abstract translation: 提供光学传感器和用于光学检查表面的方法，以对于在几微米范围内的点状，线性或层状缺陷的平面表面进行完美的光学检查。 用于光学检查表面的光学传感器包括远心激光扫描仪（12）和检测单元（11）。 远心激光扫描器（12）包括用于将光束照射到平面（5）上的激光（1），用于感应光束的扫描镜（2）和远心光学系统（4）。 检测单元（11）包括光学检测系统（8），中央隔膜（9），高灵敏度光电倍增管（6）和狭缝隔膜（7）。 中心隔膜（9）同心地位于光学检测系统（8）周围朝向远心光学系统（4）。 高灵敏度光电倍增管（6）检测从平面（5）上的缺陷输出的散射光。

公开(公告)号：TWI606233B

公开(公告)日：2017-11-21

申请号：TW103138806

申请日：2014-11-07

Applicant: 耐諾股份有限公司 ,  NANOMETRICS INCORPORATED

Inventor： 巴克考斯基 安德茲 ,  BUCZKOWSKI, ANDRZEJ

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6489 ,  G01B11/0625 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/88 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/646 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1042 ,  G01N2201/1053 ,  H04N3/155

公开(公告)号：TW200745539A

公开(公告)日：2007-12-16

申请号：TW096113628

申请日：2007-04-18

Applicant: 西門斯股份有限公司 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT

Inventor： 渥爾夫干海恩 HEINE, WOLFGANG ,  迪特史普萊格爾 SPRIEGAL, DIETER ,  麥克斯托克曼 STOCKMANN, MICHAEL ,  馬丁韋伯 WEBER, MARTIN

IPC: G01N

CPC classification number: G01N21/896 ,  G01N21/8901 ,  G01N21/958 ,  G01N33/386 ,  G01N2021/4716 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/8905 ,  G01N2201/0642 ,  G01N2201/1042

Abstract: 光學感應器係用來偵測出現於像玻璃之類平滑表面上之點狀、線狀或層狀的缺陷。該感應器包括:a)一遠心雷射掃瞄器(12),其具有:-一雷射(1),用來為平滑表面(5)提供大致垂直的照明;-一掃瞄面鏡(2);-一遠心光學系統(4),用來導引該照明及偵測光束;b)一偵測單元(11),其具有:-光學偵測系統(8);-一中央光闌(9),依同心方式朝向該遠心光學系統(4)定位於該光學偵測系統附近;-一高敏性光電倍增器(6),用於偵測由該等平滑表面(5)上之缺陷輻射出的散射光;-一狹縫型光闌(7),配置於該光電倍增器(6)之上游。應用/產品:利用光學方式檢查表面之檢查系統

Abstract in simplified Chinese: 光学感应器系用来侦测出现于像玻璃之类平滑表面上之点状、线状或层状的缺陷。该感应器包括:a)一远心激光扫瞄仪(12),其具有:-一激光(1),用来为平滑表面(5)提供大致垂直的照明;-一扫瞄面镜(2);-一远心光学系统(4),用来导引该照明及侦测光束;b)一侦测单元(11),其具有:-光学侦测系统(8);-一中央光阑(9),依同心方式朝向该远心光学系统(4)定位于该光学侦测系统附近;-一高敏性光电倍增器(6),用于侦测由该等平滑表面(5)上之缺陷辐射出的散射光;-一狭缝型光阑(7),配置于该光电倍增器(6)之上游。应用/产品:利用光学方式检查表面之检查系统

公开(公告)号：TWI604185B

公开(公告)日：2017-11-01

申请号：TW105109905

申请日：2014-11-07

Applicant: 耐諾股份有限公司 ,  NANOMETRICS INCORPORATED

Inventor： 巴克考斯基 安德茲 ,  BUCZKOWSKI, ANDRZEJ

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6489 ,  G01B11/0625 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/88 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/646 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1042 ,  G01N2201/1053 ,  H04N3/155

公开(公告)号：TW201627652A

公开(公告)日：2016-08-01

申请号：TW105109905

申请日：2014-11-07

Applicant: 耐諾股份有限公司 ,  NANOMETRICS INCORPORATED

Inventor： 巴克考斯基 安德茲 ,  BUCZKOWSKI, ANDRZEJ

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6489 ,  G01B11/0625 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/88 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/646 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1042 ,  G01N2201/1053 ,  H04N3/155

Abstract: 本發明揭示一種光學測量器件，其能夠跨越一樣本之寬度偵測來自一線之光致發光光、寬頻帶光之鏡面反射及散射光之任何組合。該測量器件包含在該樣本上產生一第一照明線之一第一光源。一掃描系統可用於跨越該樣本掃描一照明點以形成該照明線。一偵測器使沿著該照明線發射之該光致發光光光譜成像。另外，一寬頻帶照明源可用於在該樣本上產生一第二照明線，其中該偵測器使沿著該第二照明線之該寬頻帶照明之鏡面反射光譜成像。該偵測器亦可使來自該第一照明線之散射光成像。可跨越該樣本掃描該等照明線使得可量測該樣本上所有位置。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种光学测量器件，其能够跨越一样本之宽度侦测来自一线之光致发光光、宽带带光之镜面反射及散射光之任何组合。该测量器件包含在该样本上产生一第一照明线之一第一光源。一扫描系统可用于跨越该样本扫描一照明点以形成该照明线。一侦测器使沿着该照明线发射之该光致发光光光谱成像。另外，一宽带带照明源可用于在该样本上产生一第二照明线，其中该侦测器使沿着该第二照明线之该宽带带照明之镜面反射光谱成像。该侦测器亦可使来自该第一照明线之散射光成像。可跨越该样本扫描该等照明线使得可量测该样本上所有位置。