基板的贴合方法及微芯片的制造方法

    公开(公告)号:CN109476087A

    公开(公告)日:2019-03-15

    申请号:CN201780043854.X

    申请日:2017-06-27

    Abstract: 本发明的课题在于提供一种能够以较高的密合状态贴合在至少一方的基板具有翘曲、贴合面的起伏的两片基板的基板的贴合方法及微芯片的制作方法。在本发明的基板的贴合方法中,第一基板为基板变形的可变形温度比第二基板的可变形温度高的材质的基板,具有:表面活性化工序,使第一基板的贴合面以及第二基板的贴合面的各个活性化;堆叠工序,将该第一基板与该第二基板以各自的贴合面接触的方式堆叠;以及变形工序,使第二基板的贴合面按照第一基板的贴合面的形状变形,变形工序通过以第二基板的可变形温度以上、且低于第一基板的可变形温度的温度对在堆叠工序中所得的第一基板与第二基板的堆叠体进行加热而进行。

    偏振光照射装置及偏振光照射方法

    公开(公告)号:CN109426036A

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201810939344.7

    申请日:2018-08-17

    Inventor: 石井一正

    Abstract: 本发明提供一种偏振光照射装置及偏振光照射方法,能够在避免装置大型化的情况下对工件倾斜地照射偏振光。偏振光照射装置(100)具备:光源(11);导光光纤(20),具有供来自光源(11)的光入射的入射端(23)和沿着一方向配置并供从入射端(23)入射的光出射的出射端(22);透镜单元(30),具有偏振元件(34),并使利用偏振元件(34)而使从导光光纤(20)的出射端(22)出射的光发生偏振后的偏振光出射,以形成沿着上述一方向的线状的光照射区域(34);及倾斜照射机构(40),以任意的角度固定透镜单元(30),以对被处理物(工件W)的光照射面倾斜地照射偏振光。

    曝光装置及曝光方法
    83.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108885404A

    公开(公告)日:2018-11-23

    申请号:CN201780008774.0

    申请日:2017-01-13

    Inventor: 五十岚晃

    CPC classification number: G03F7/20 H05K3/00

    Abstract: 提供一种曝光技术,该曝光技术即使为了不同的品种而进行不同曝光图案的曝光的情况下,也不费功夫及成本,适合于多品种少量生产。工件(W)的各对位标记(AM)经透射型的数字光掩模(2)而被各相机(7)拍摄,基于各拍摄数据,控制器(4)上的修正程序修正原始的图案数据。修正中包含掩模图案的显示位置的修正、倍率的修正。来自光源(1)的包含紫外线的光通过所修正的掩模图案而向工件(W)照射,工件(W)被曝光。

    曝光装置及曝光方法
    84.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108693719A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201810270282.5

    申请日:2018-03-29

    CPC classification number: G03F9/7046 G03F7/70616 G03F7/70666 G03F9/7088

    Abstract: 一种曝光装置及曝光方法,在逐次曝光中不使生产能力下降而进行按每次拍摄的校准。曝光装置(100)将形成在掩模(M)上的图案经由投影光学系统(30)向形成在工件(W)上的多个拍摄区域依次转印。曝光装置(100)具备:检测形成在工件(W)上的第1拍摄区域的校准标记的第1检测部(51);检测形成在工件(W)上的、相邻于第1拍摄区域的第2拍摄区域的校准标记的第2检测部(52);控制部(62),控制上述多个拍摄区域的转印。控制部同时进行由第1检测部对校准标记的检测和由第2检测部对校准标记的检测,基于第1检测部的检测结果及第2检测部的检测结果控制向第1拍摄区域及第2拍摄区域的转印。

    荧光光源装置
    85.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108692204A

    公开(公告)日:2018-10-23

    申请号:CN201710665181.3

    申请日:2017-08-07

    CPC classification number: F21K9/64 F21Y2115/10

    Abstract: 本发明提供反射层可以长时间地得到高的反射率、而且该反射层的剥离的发生得到抑制的荧光光源装置。本发明的荧光光源装置,其特征在于,其是具备激发光入射面和荧光射出面由同一面构成的荧光板而成的荧光光源装置,其中,上述荧光板依次层叠有荧光层、第一氧化物层和由银形成的反射层,在上述第一氧化物层与上述反射层之间设置有第一保护层,上述第一保护层由透光性材料构成,上述透光性材料由氮化物或氟化物形成。

    荧光光源装置
    86.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107407475B

    公开(公告)日:2018-10-02

    申请号:CN201680015432.7

    申请日:2016-02-10

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种可在荧光体中获得较高的发光效率、并且可获得充分高的荧光强度的荧光光源装置。在本发明中,具备接收激励光而放射荧光的荧光板、以及对该荧光板所产生的热量进行排热的散热基板,该荧光板与该散热基板经由软钎料层而接合,在荧光光源装置中,上述软钎料层中的空隙率被设为75%以下,空隙最长直径被设为0.4mm以下。另外,优选的是软钎料层中的空隙率被设为50%以下,空隙最长直径被设为0.2mm以下。

    光照射装置及光照射方法
    87.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108367976A

    公开(公告)日:2018-08-03

    申请号:CN201680073771.0

    申请日:2016-11-07

    CPC classification number: C03C25/12 G02B6/44

    Abstract: 光照射装置具备:至少一个照射单元,具有被配置在形成为圆弧状的凹状的内面并且在内部被插入线材的反射面、和朝向线材射出光并且在该射出的光的光轴方向上与反射面对置而配置的光源;和插入部,在内部形成用来将线材插入到反射面的内部的插入路;反射面被配置为,圆弧状的中心相对于插入路的中心偏心。

    发光元件光源模块
    88.
    发明公开

    公开(公告)号:CN108351092A

    公开(公告)日:2018-07-31

    申请号:CN201680064470.1

    申请日:2016-10-25

    CPC classification number: F21V29/503 F21V29/56 F21V29/70 F21V29/83

    Abstract: 本发明的目的在于提供能够高效地并且以较高的均匀性将多个发光元件冷却的发光元件光源模块。本发明的发光元件光源模块的特征在于,具备在散热片的表面上配置有多个发光元件的光源单元、以及配设于散热片的背面的冷却块,在散热片形成有用于使冷却介质流通的冷却流路,冷却流路具有流路宽度比流路高度大、且沿散热片的表面延伸的扁平的剖面形状,冷却流路中的冷却介质供给口以及该冷却介质排出口分别与形成于冷却块的冷却介质供给流路以及冷却介质排出流路连接,冷却流路在散热片的表面上的多个发光元件所配置的发光元件配置区域的正下方区域具有相互连续、且隔着热传导性隔壁部邻接的多个流路部分,热传导性隔壁部的厚度比冷却流路的流路宽度小。

    短弧型放电灯
    90.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104124132B

    公开(公告)日:2018-05-15

    申请号:CN201410162901.0

    申请日:2014-04-22

    Inventor: 渡边智贵

    CPC classification number: H01J61/86 H01J61/0732

    Abstract: 一种短弧型放电灯,具有放电灯用阴极,在端部设置了含有容易放射电子性物质的电子放射部,通过简单的构造而容易地进行制造且制造成本低,很难受到损伤。在发光管内相对配置有阴极和阳极,所述阴极具有由添加了作为容易放射电子性物质的钍的钨构成的电子放射部、由钨构成的电极主体部,在所述电极主体部的前端侧形成有凹部,在该凹部的周围形成有环状平坦面部,所述电子放射部为圆锥台形状,其后端侧容纳在该凹部,并且前端侧比该凹部更突出。

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