公开(公告)号：WO2002075794A2

公开(公告)日：2002-09-26

申请号：PCT/US2002/007761

申请日：2002-03-15

Applicant: REFLECTIVITY, INC. ,  PATEL, Satyadev, R. ,  HUIBERS, Andrew, G.

Inventor： PATEL, Satyadev, R. ,  HUIBERS, Andrew, G.

IPC: H01L21/00

CPC classification number: B81C1/00214 ,  B81B7/0077 ,  B81B2201/042 ,  B81C1/00333 ,  B81C1/00896 ,  B81C1/00904 ,  B81C2203/0118 ,  B82Y30/00 ,  G02B26/0833 ,  H01L24/97 ,  H01L2224/48091 ,  H01L2224/97 ,  H01L2924/01005 ,  H01L2924/01006 ,  H01L2924/01013 ,  H01L2924/01018 ,  H01L2924/01019 ,  H01L2924/0102 ,  H01L2924/01023 ,  H01L2924/01027 ,  H01L2924/01033 ,  H01L2924/01039 ,  H01L2924/01049 ,  H01L2924/01054 ,  H01L2924/01058 ,  H01L2924/01072 ,  H01L2924/01074 ,  H01L2924/01077 ,  H01L2924/01079 ,  H01L2924/01082 ,  H01L2924/01322 ,  H01L2924/04953 ,  H01L2924/09701 ,  H01L2924/10253 ,  H01L2924/10329 ,  H01L2924/12036 ,  H01L2924/12042 ,  H01L2924/12044 ,  H01L2924/14 ,  H01L2924/1433 ,  H01L2924/15787 ,  H01L2924/19041 ,  H01L2924/19042 ,  H01L2924/3025 ,  H01L2924/00014 ,  H01L2224/85 ,  H01L2924/00

Abstract: A method is disclosed for forming a micromechanical device. The method includes fully or partially forming one or more micromechanical structures multiple times on a first substrate. A second substrate is bonded onto the first substrate so as to cover the multiple areas each having one or more micromechanical structures, so as to form a substrate assembly. The substrate assembly is then separated into individual dies, each die having the one or more micromechanical structures held on a portion of the first substrate, with a portion of the second substrate bonded to the first substrate portion. Finally, the second substrate portion is removed from each die to expose the one or more micromechanical structures on the first substrate portion. The invention is also directed to a method for forming a micromechanical device, including: forming one or more micromechanical structures in one or more areas on a first substrate; bonding caps onto the first substrate so as to cover the one or more areas each having one or more micromechanical structures, so as to form a substrate assembly; after a period of time, removing the caps to expose the one or more micromechanical structures. During the period of time between bonding the caps and later removing the caps, the substrate assembly can be singulated, inspected, irradiated, annealed, die attached, shipped and/or stored.

Abstract translation: 公开了一种用于形成微机械装置的方法。 该方法包括在第一衬底（5a）上多次完全或部分地形成一个或多个微机械结构。 将第二基板接合到第一基板上以覆盖各自具有一个或多个微机械结构的多个区域，以便形成基板组件。 然后将基板组件分离成单独的模具，每个模具具有一个或多个微机械结构，其保持在第一基板的一部分（21）上，其中第二基板的一部分结合到第一基板部分。 最后，从每个管芯（3a-3d）移除第二衬底部分以露出第一衬底部分上的一个或多个微机械结构。 本发明还涉及一种用于形成微机械装置的方法，包括：在第一基板上的一个或多个区域中形成一个或多个微机械结构; 将盖接合到第一基板上以覆盖每个具有一个或多个微机械结构的一个或多个区域，以便形成基板（10）组件; 在一段时间之后，移除盖以露出一个或多个微机械结构。 在接合盖子和稍后移除盖子之间的时间段期间，可以对基板组件进行单切割，检查，照射，退火，模具附接，运输和/或存储。

公开(公告)号：TWI285276B

公开(公告)日：2007-08-11

申请号：TW092100443

申请日：2003-01-09

Applicant: 雷弗萊提維提公司 REFLECTIVITY, INC.

Inventor： 彼得W. 理查茲 PETER W. RICHARDS

IPC: G02B ,  H04N

CPC classification number: G09G3/34 ,  G02F1/136277 ,  G09G3/2018 ,  G09G3/346 ,  G09G3/3648 ,  G09G2300/08 ,  G09G2310/0235 ,  G09G2310/0251 ,  G11C11/401 ,  G11C11/404

Abstract: 本發明提供一種電壓貯存單元電路，包括一電晶體及一貯存電容器，其中該存取電晶體的源極被連接至一位元線，該存取電晶體的閘極被連接至一字元線，及其中該存取電晶體的汲極被連接至該貯存電容器的一第一板形成一貯存節點，及其中該貯存電容器的一第二板被連接至一幫浦訊號。此配置考慮到：一新穎的像素電路設計具有可與一1T1C DRAM類的像素單元相當的面積要求，但具有：輸出電壓在該通過電晶體(pass transistor)之破壞電壓(breakdown voltage)所允許的整個範圍內擺動的優點。一空間光調節器，如一微鏡子陣列，可包含此一電壓貯存單元。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供一种电压贮存单元电路，包括一晶体管及一贮存电容器，其中该存取晶体管的源极被连接至一比特线，该存取晶体管的闸极被连接至一字符线，及其中该存取晶体管的汲极被连接至该贮存电容器的一第一板形成一贮存节点，及其中该贮存电容器的一第二板被连接至一帮浦信号。此配置考虑到：一新颖的像素电路设计具有可与一1T1C DRAM类的像素单元相当的面积要求，但具有：输出电压在该通过晶体管(pass transistor)之破坏电压(breakdown voltage)所允许的整个范围内摆动的优点。一空间光调节器，如一微镜子数组，可包含此一电压贮存单元。

公开(公告)号：TW200531921A

公开(公告)日：2005-10-01

申请号：TW094107208

申请日：2005-03-09

Applicant: 雷弗萊提維提公司 REFLECTIVITY, INC.

Inventor： 鄧斐詹姆士 DUNPHY, JAMES ,  西蒙尼安迪米崔 SIMONIAN, DMITRI ,  彼得約翰 PETER, JOHN

IPC: B81C

CPC classification number: B81B3/0005 ,  B81C1/0096

Abstract: 本發明係提供一種位於微機電元件封裝內之潤滑劑容器。該潤滑劑容器包含經選擇之潤滑劑，其可由該容器揮發並接觸該微機電元件之一表面以潤滑該表面。

Abstract in simplified Chinese: 本发明系提供一种位于微机电组件封装内之润滑剂容器。该润滑剂容器包含经选择之润滑剂，其可由该容器挥发并接触该微机电组件之一表面以润滑该表面。

公开(公告)号：TW200522132A

公开(公告)日：2005-07-01

申请号：TW093108431

申请日：2004-03-26

Applicant: 雷弗萊提維提公司 REFLECTIVITY, INC.

Inventor： 帕戴爾沙帝愛德福R PATEL, SATYADEV R. ,  達恩强納森 DOAN, JONATHAN

IPC: H01L ,  B81C

CPC classification number: B81C1/00793 ,  B81B2201/042 ,  B81C2201/053

Abstract: 於此揭示一種處理微機電裝置的方法。該方法藉由在連續犧牲層與結構層間提供選定阻障層，而防止於微機電裝置之犧牲層與結構層間之擴散與相互作用。

Abstract in simplified Chinese: 于此揭示一种处理微机电设备的方法。该方法借由在连续牺牲层与结构层间提供选定阻障层，而防止于微机电设备之牺牲层与结构层间之扩散与相互作用。

公开(公告)号：TW200502974A

公开(公告)日：2005-01-16

申请号：TW093108961

申请日：2004-03-31

Applicant: 雷弗萊提維提公司 REFLECTIVITY, INC.

Inventor： 李察彼得 RICHARDS, PETER

IPC: G11C ,  H01L

CPC classification number: G09G3/34 ,  G02B26/0841 ,  G03B21/28 ,  G09G3/2022 ,  G09G3/346 ,  G09G2300/08 ,  G09G2310/02 ,  G09G2320/0261 ,  G09G2320/0266 ,  G11C11/408 ,  Y10S359/904

Abstract: 本發明提供用於選擇性更新記憶胞陣列之記憶胞的方法與設備。該記憶胞陣列之各列的記憶胞係設有複數個字元線。該列之記憶胞係由不同的字元線啟動與更新。在使用記憶胞陣列以控制該顯示系統之像素，及利用脈衝寬度調變(PWM)技術以顯示灰階之顯示系統應用中，可藉由不同PWM波形調變該等像素，藉以減少所感知之動態偽輪廓假影(dynamic–false–contouring artifact)。在另一應用中，提供多數字元線能精確地量測由該記憶胞陣列之記憶胞維持的電壓。

Abstract in simplified Chinese: 本发明提供用于选择性更新记忆胞数组之记忆胞的方法与设备。该记忆胞数组之各列的记忆胞系设有复数个字符线。该列之记忆胞系由不同的字符线启动与更新。在使用记忆胞数组以控制该显示系统之像素，及利用脉冲宽度调制(PWM)技术以显示灰阶之显示系统应用中，可借由不同PWM波形调制该等像素，借以减少所感知之动态伪轮廓假影(dynamic–false–contouring artifact)。在另一应用中，提供多数字元线能精确地量测由该记忆胞数组之记忆胞维持的电压。

公开(公告)号：TW200420904A

公开(公告)日：2004-10-16

申请号：TW093103390

申请日：2004-02-12

Applicant: 雷弗萊提維提公司 REFLECTIVITY, INC.

Inventor： 帕戴爾沙帝愛德福R PATEL, SATYADEV R. ,  許伯斯安卓G HUIBERS, ANDREW G

IPC: G02B

CPC classification number: G03B21/28 ,  G02B26/0841

Abstract: 本發明揭示一種空間光調節器(spatiallightmodulator)，以及製造此種調節器之方法，其至少包含一微鏡陣列，其中每一個微鏡皆具有一鉸接器(hinge)以及藉由鉸接器保持在一基板上之微鏡板，該微鏡板係經配置在與該鉸接器分開並且具有一延伸通過該微鏡板之斜對角的平面上，該微鏡板係與該鉸接器連接以使該微鏡板可以沿著與該微鏡板之斜對角平行但偏離(off–set)之旋轉軸旋轉。本發明也揭示一種投影系統，其包含一此種空間光調節器與一光源、聚光透鏡(condensingoptics)(其中來自光源之光線係經聚焦至微鏡陣列上)、投影透鏡用以將從微鏡陣列選擇性反射之光線投影至一標的上、以及一控制器用以選擇性促動陣列中之微鏡。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种空间光调节器(spatiallightmodulator)，以及制造此种调节器之方法，其至少包含一微镜数组，其中每一个微镜皆具有一铰接器(hinge)以及借由铰接器保持在一基板上之微镜板，该微镜板系经配置在与该铰接器分开并且具有一延伸通过该微镜板之斜对角的平面上，该微镜板系与该铰接器连接以使该微镜板可以沿着与该微镜板之斜对角平行但偏离(off–set)之旋转轴旋转。本发明也揭示一种投影系统，其包含一此种空间光调节器与一光源、聚光透镜(condensingoptics)(其中来自光源之光线系经聚焦至微镜数组上)、投影透镜用以将从微镜数组选择性反射之光线投影至一标的上、以及一控制器用以选择性促动数组中之微镜。

公开(公告)号：TW200301830A

公开(公告)日：2003-07-16

申请号：TW092100443

申请日：2003-01-09

Applicant: 雷弗萊提維提公司 REFLECTIVITY, INC.

Inventor： 彼得W 理查茲 PETER W. RICHARDS

IPC: G02B ,  H04N

CPC classification number: G09G3/34 ,  G02F1/136277 ,  G09G3/2018 ,  G09G3/346 ,  G09G3/3648 ,  G09G2300/08 ,  G09G2310/0235 ,  G09G2310/0251 ,  G11C11/401 ,  G11C11/404

Abstract: 一種電壓貯存單元電路包括一電晶體及一貯存電容器，其中該存取電晶體的源極被連接至一位元線，該存取電晶體的閘極被連接至一字元線，及其中該存取電晶體的汲極被連接至該貯存電容器的一第一板形成一貯存節點，及其中該貯存電容器的一第二板被連接至一泵訊號。此結構可產生一新穎的像素電路設計其具有可與一1T1C DRAM類的像素單元相提並論的面積要求，但具有該通過電晶體(pass transistor)之破壞電壓(breakdown voltage)所允許的整個振幅範圍之輸出電壓的優點。一空間光調節器，如一微鏡子陣列，可包含此一電壓貯存單元。

Abstract in simplified Chinese: 一种电压贮存单元电路包括一晶体管及一贮存电容器，其中该存取晶体管的源极被连接至一比特线，该存取晶体管的闸极被连接至一字符线，及其中该存取晶体管的汲极被连接至该贮存电容器的一第一板形成一贮存节点，及其中该贮存电容器的一第二板被连接至一泵信号。此结构可产生一新颖的像素电路设计其具有可与一1T1C DRAM类的像素单元相提并论的面积要求，但具有该通过晶体管(pass transistor)之破坏电压(breakdown voltage)所允许的整个振幅范围之输出电压的优点。一空间光调节器，如一微镜子数组，可包含此一电压贮存单元。

公开(公告)号：EP1803017A4

公开(公告)日：2010-06-30

申请号：EP05793326

申请日：2005-09-08

Applicant: REFLECTIVITY INC

Inventor： PATEL SATYADEV

IPC: G02B26/00 ,  G02B26/08

CPC classification number: G02B26/0841

Abstract: The micromirror device of the present invention comprises a reflective deflectable mirror plate and an addressing electrode provided for deflecting the mirror plate, wherein the addressing electrode is displaced along a direction perpendicular to the length of the hinge such that a portion of the addressing electrode is extended beyond the mirror plate.

公开(公告)号：EP1555564A3

公开(公告)日：2006-10-18

申请号：EP05000604.8

申请日：2001-08-03

Applicant: Reflectivity Inc.

Inventor： Huibers, Andrew G. ,  Ilkov, Fedor ,  Patel, Satyadev ,  Richards, Peter W. ,  Stockton, John

IPC: G02B26/08 ,  G03B21/28

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G02B27/0018

Abstract: A packaged micromirror array for a projection display according to the application comprises an array of micromirrors that are capable of movement between an OFF state and an ON state by pulse width modulation to achieve a gray scale image on a target and wherein each micromirror corresponds to a pixel in a viewed image on the target; and a package having a light transmissive window. The array of micromirrors is disposed in the package having the light transmissive window. A viewed image, formed on the target by light reflected from the micromirrors and passed through said mask, has four sides and viewed pixels within the image formed by said micromirrors each have four sides which are not parallel to any sides of the viewed image.

公开(公告)号：EP1555562A3

公开(公告)日：2005-10-26

申请号：EP05000598.2

申请日：2001-08-03

Applicant: Reflectivity Inc.

Inventor： Huibers, Andrew G. ,  Ilkov, Fedor ,  Patel, Satyadev ,  Richards, Peter W. ,  Stockton, John

IPC: G02B26/08 ,  G03B21/28

CPC classification number: G02B26/0841 ,  G02B27/0018

Abstract: A projection display according to the application comprises an array of micromirrors and a light source for providing light to the array of micromirrors. Each micromirror in the array has a shape defined by a plurality of micromirror sides. Light from the light source is incident on the array of micromirrors during operation. The array of micromirrors has four sides and there are no micromirror sides that are parallel to any array sides.

Abstract translation: 根据本申请的投影显示器包括微镜阵列和用于向微镜阵列提供光的光源。 阵列中的每个微镜具有由多个微镜侧面限定的形状。 在运行期间，来自光源的光入射到微镜阵列上。 微镜阵列有四条边，没有与任何阵列边平行的微镜边。