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公开(公告)号：CN107544206B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201710504684.2
申请日：2017-06-28
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/004 , G03F7/00 , C07C381/12 , C07C309/12 , C07C25/18 , C07D279/20 , C07D333/76 , C07D327/08
Abstract: 本发明涉及抗蚀剂组合物和图案化方法。本发明的抗蚀剂组合物，其包括基础聚合物和含有碘代苯甲酰氧基的氟代磺酸的锍盐或碘鎓盐，无论其为正型或负型，都提供高感光度和最小的LWR或改善的CDU。
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公开(公告)号：CN107479326B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201710421640.3
申请日：2017-06-07
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/004 , C07C381/12 , C07D333/76 , C07D279/20 , C07D327/08 , C07C63/70 , C07C65/05 , C07C271/28 , C07C233/54 , C07C69/82 , C07C69/40 , C07C69/732 , C07C69/773 , C07C69/035 , C07C309/06 , C07C205/58
Abstract: 本发明为抗蚀剂组合物和图案化方法。包含基础聚合物和碘化的苯甲酸的锍盐的抗蚀剂组合物提供高感光性和最小的LWR，这不取决于其为正性的还是负性的。
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公开(公告)号：CN110963952A
公开(公告)日：2020-04-07
申请号：CN201910920497.1
申请日：2019-09-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: C07C381/12 , C07C317/12 , C07C25/18 , C07C317/04 , C07C317/08 , C07C317/18 , C07C317/14 , C07C317/24 , C07D327/08 , C07D333/76 , C07D279/20 , C07D335/16 , C07D339/08 , C07D335/12 , C07D333/08 , C07D335/02 , C07D327/06 , C07C211/63 , C07C211/64 , C07D277/10 , C07C215/40 , C07D487/18 , G03F7/004 , G03F7/20
Abstract: 本发明涉及鎓盐、抗蚀剂组合物和图案形成方法。提供具有式(1)的新型鎓盐和包含该鎓盐作为猝灭剂的抗蚀剂组合物。当使用高能辐射通过光刻法加工抗蚀剂组合物时，形成抗蚀剂图案，其在LWR和CDU方面得到改善。在式(1)中，R1、R2和R3各自为含有除氟以外的杂原子的C1-C20一价烃基，Z+为锍、碘鎓或铵阳离子。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110824840A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201910732397.6
申请日：2019-08-09
Applicant: 信越化学工业株式会社
IPC: G03F7/004
Abstract: 本发明提供化学增幅抗蚀剂组合物和图案化方法。化学增幅抗蚀剂组合物包括：猝灭剂，其含有带有碘代或溴代芳环的羧酸的铵盐；和产酸剂，该化学增幅抗蚀剂组合物显示出增感效果和酸扩散抑制效果并且形成具有改善的分辨率、LWR和CDU的图案。
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公开(公告)号：CN107870518A
公开(公告)日：2018-04-03
申请号：CN201710885362.7
申请日：2017-09-27
Applicant: 信越化学工业株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0382 , G03F7/0395 , G03F7/0397 , G03F7/16 , G03F7/20 , G03F7/2004 , G03F7/30 , G03F7/38 , G03F7/039 , G03F7/004 , G03F7/038
Abstract: 本发明为抗蚀剂组合物和图案化方法。包括基础聚合物和含碘化芳族基团的羧酸的金属盐的抗蚀剂组合物显示出增感效果和酸扩散抑制效果并且形成具有改进的分辨率、LWR和CDU的图案，所述金属选自钠、镁、钾、钙、铷、锶、铯、钡、钴、镍、铜、锌、镉、锡、锑、锆、铪、铈、铝和铟。
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公开(公告)号：CN107688278A
公开(公告)日：2018-02-13
申请号：CN201710659370.X
申请日：2017-08-04
Applicant: 信越化学工业株式会社
Abstract: 本发明涉及负型抗蚀剂组合物及抗蚀图案形成方法。本发明提供了一种包含(A)甜菜碱型的锍化合物和(B)聚合物的负型抗蚀剂组合物。该抗蚀剂组合物对于在曝光步骤期间控制酸扩散是有效的，且在图案形成期间呈现出非常高的分辨率，并形成具有最小LER的图案。
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公开(公告)号：CN103068792A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201180041250.4
申请日：2011-07-01
Applicant: 信越化学工业株式会社 , 独立行政法人日本原子力研究开发机构
IPC: C07C231/02 , C07C235/06 , C22B3/26 , C22B7/00 , C22B59/00
CPC classification number: C07C271/12 , C07C231/02 , C07C235/06 , C22B3/08 , C22B3/44 , C22B5/10 , C22B7/007 , C22B7/02 , C22B26/10 , C22B47/00 , C22B59/00 , Y02P10/234
Abstract: 稀土金属萃取剂，其包含作为萃取组分的极好地分解轻稀土元素的二烷基二甘醇酰胺酸，所述二烷基二甘醇酰胺酸以二甘醇酸(X mol)和酯化剂(Y mol)在70℃或更高的反应温度以及一小时或更长的反应时间反应，使得Y/X的摩尔比为2.5或更高；并且对其进行真空浓缩。接下来，通过除去未反应的产物和反应残余物获得反应中间产物，以及添加非质子极性溶剂作为反应溶剂。然后，将反应中间产物与二烷基胺(Z mol)反应，使得Z/X的摩尔比为0.9或更高以及除去非质子极性溶剂。结果，以低成本和高收率而不必使用昂贵的二甘醇酸酐和有害的二氯甲烷高效地合成稀土金属萃取剂。
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