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公开(公告)号：KR1020060006658A
公开(公告)日：2006-01-19
申请号：KR1020040055769
申请日：2004-07-16
Applicant: 삼성전자주식회사
CPC classification number: B41J2/1631 , B41J2/1603 , B41J2/1625 , B41J2/1628 , B41J2/1632 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645
Abstract: 잉크젯 헤드의 제조방법이 제공된다. 이 방법은 제1 표면 및 제2 표면을 갖는 기판을 준비하는 것을 포함하되, 상기 기판은 상기 제1 표면 상에 제공된 복수개의 압력 생성 요소들을 구비한다. 상기 압력 생성요소들이 제공된 상기 제1 표면 상에 적어도 하나의 개구부를 갖는 마스크 패턴을 형성한다. 상기 마스크 패턴을 식각마스크로 사용하여 상기 제1 표면으로 부터 상기 기판을 건식 식각하여 상기 기판을 관통하는 잉크 공급홀을 형성하는 것을 포함한다. 상기 잉크젯 헤드의 제조방법에 의하면 잉크 공급홀의 형상 및 치수를 균일하고 재현성있게 조절할 수 있어 잉크젯 헤드의 수율 및 신뢰성을 향상시킬 수 있다.
잉크젯, 잉크 공급홀, 건식식각, RIE, DRIE-
公开(公告)号：KR100538230B1
公开(公告)日：2005-12-21
申请号：KR1020030067142
申请日：2003-09-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/34
CPC classification number: B41J2/1626 , B41J2/1603 , B41J2/1631
Abstract: 모놀리틱 잉크젯 프린트헤드의 제조방법이 개시된다. 개시된 제조방법은, 기판 상에 잉크를 가열하기 위한 히터와 히터에 전류를 공급하기 위한 전극을 형성하는 단계와, 히터와 전극이 형성된 기판 상에 네거티브 포토레지스트를 도포한 후, 이를 포토리소그라피에 의해 패터닝하여 잉크 유로를 둘러싸는 유로형성층을 형성하는 단계와, 유로형성층이 형성되어 있는 기판 상에 포지티브 포토레지스트의 도포와 포토리소그라피에 의한 패터닝을 적어도 2회 반복 수행하여 유로형성층에 의해 둘러싸인 공간 내에 상면이 평탄한 희생층을 형성하는 단계와, 유로형성층과 희생층 위에 네거티브 포토레지스트를 도포한 후, 이를 포토리소그라피에 의해 패터닝하여 노즐을 가진 노즐층을 형성하는 단계와, 기판의 배면으로부터 기판을 관통되도록 식각하여 잉크공급구를 형성하는 단계와, 희생층을 제거하는 단 계를 구비한다. 이와 같은 본 발명에 의하면, 희생층의 상면을 평탄하게 형성할 수 있게 되므로, 잉크 유로의 형상 및 치수의 제어가 용이하여 잉크 유로의 균일성이 향상된다.
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公开(公告)号：KR1020050112447A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：KR1020040037544
申请日：2004-05-25
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/14201 , B41J2/1433 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1639
Abstract: 일체식 잉크젯 헤드 및 그 제조방법이 제공된다. 상기 일체식 잉크젯 헤드는 잉크 토출을 위한 압력 생성요소가 마련된 기판을 포함한다. 상기 기판 상에 잉크가 이동하는 유로의 측벽을 구성하는 챔버 플레이트가 배치된다. 상기 압력 생성요소와 대응하고 테이퍼 형태의 측벽 프로파일을 갖는 하부 노즐이 마련된 하부 노즐 플레이트가 상기 유로의 상부면을 구성하도록 상기 챔버 플레이트 상에 배치된다. 상기 하부 노즐과 유체연통하고 직선 형태의 측벽 프로파일을 갖는 상부 노즐이 마련된 상부 노즐플레이트가 상기 하부 노즐 플레이트 상에 배치된다. 본 발명의 실시예들에 의하면, 상기 하부 노즐 플레이트는 포토리소그래피 공정에 의한 패터닝시 테이퍼 형태의 측벽 프로파일을 갖도록 패터닝되는 네가티브 감광성 수지층으로 이루어지는 것이 바람직하다. 또한, 상기 상부 노즐 플레이트는 포토리소그래피 공정에 의한 패터닝시 직선 형태의 측벽 프로파일을 갖도록 패터닝되는 네가티브 감광성 수지층으로 이루어지는 것이 바람직하다.
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公开(公告)号：KR1020050069456A
公开(公告)日：2005-07-05
申请号：KR1020030101581
申请日：2003-12-31
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/05
Abstract: 잉크젯 프린트헤드 및 그 제조방법이 개시된다. 개시된 잉크젯 프린트헤드는, 표면에는 잉크를 가열하기 위한 히터가 형성되며, 잉크 공급을 위한 잉크 피드홀이 관통되어 형성된 기판; 이 기판 위에 적층되는 것으로, 토출될 잉크가 채워지는 잉크 챔버 및 잉크 챔버와 잉크 피드홀을 연결하는 리스트릭터를 한정하는 챔버층; 이 챔버층에 마련되어 챔버층의 두께를 균일하게 하기 위한 것으로, 챔버층의 두께와 동일한 직경을 가지는 구 형상의 비드(bead); 및 챔버층 위에 적층되는 것으로, 잉크가 토출되는 노즐이 형성된 노즐층;을 구비한다.
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公开(公告)号：KR1020050030990A
公开(公告)日：2005-04-01
申请号：KR1020030067142
申请日：2003-09-27
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/34
CPC classification number: B41J2/1626 , B41J2/1603 , B41J2/1631
Abstract: A method for manufacturing monolithic inkjet print head is provided to form a uniform ink fluid path by performing planarization with respect to an upper surface of a sacrificial layer. A heater(141) and an electrode(142) are formed on a substrate(110). The heater(141) is used for heating ink. The electrode(142) is used for supplying current. A negative photoresist is spread on the substrate(110) having the heater(141) and the electrode(142) and then is processed through patterning by photolithography. A fluid path forming layer for surrounding an ink path is formed. The spread of the positive photoresist and the pattering by the photolithography are performed twice. An ink supplying hole is formed by etching the substrate(110) in such a manner that the substrate(110) is penetrated from the rear side of the substrate.
Abstract translation: 提供一种用于制造单片喷墨打印头的方法，以通过相对于牺牲层的上表面进行平面化来形成均匀的油墨流体路径。 在基板（110）上形成加热器（141）和电极（142）。 加热器（141）用于加热油墨。 电极（142）用于供电。 在具有加热器（141）和电极（142）的基板（110）上涂布负性光致抗蚀剂，然后通过光刻图案化处理。 形成用于包围油墨通道的流体通道形成层。 执行正光致抗蚀剂的扩展和通过光刻的图案进行两次。 通过以基板（110）从基板的后侧穿透的方式蚀刻基板（110）来形成供墨孔。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR100477707B1
公开(公告)日：2005-03-18
申请号：KR1020030030364
申请日：2003-05-13
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/235
Abstract: 모놀리틱 잉크젯 프리트헤드의 제조방법이 개시된다. 개시된 모놀리틱 잉크젯 프린트헤드 제조방법은 실리콘 기판 상에 히터층을 형성한 후 히터층을 패터닝하여 잉크챔버가 형성될 부위에만 잔존시키는 단계와, 기판 상에 네가티브 포토레지스트 층을 형성한 후 패터닝하여 유로플레이트를 형성하는 단계와, 유로플레이트 위에 포지티브 포토레지스트 층을 형성한 후 패터닝하여 잉크챔버, 리스트릭터 및 잉크채널이 형성될 평면형상 위에 제1희생층을 형성하는 단계와, 제1희생층 위에 포지티브 포토레지스트 층을 형성한 후 패터닝하여 제2희생층을 형성하는 단계와, 제2희생층을 식각하여 상기 유로플레이트의 높이와 동일한 높이로 평탄화하는 단계를 구비한다. 이와 같은 제조방법에 의하면, 잉크챔버의 상면을 평탄하게 하여 그 위에 채워지는 노즐플레이트와 dewetting 현상이 발생되지 않아, 균일한 형상의 유로를 형성하여 잉크 토출성능을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
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公开(公告)号：KR100468160B1
公开(公告)日：2005-01-26
申请号：KR1020020075942
申请日：2002-12-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/335
Abstract: PURPOSE: A monolithic bubble ink jet print head and a method for manufacturing the same are provided to evenly form performance of the print head by uniformly distributing ink to each ink chamber and to increase resistance against a deformity of a nozzle plate by increasing a contact area between a chamber plate and the nozzle plate. CONSTITUTION: A monolithic bubble ink jet print head includes a substrate(101), a chamber plate(108), a nozzle plate, a chamber plate, a first supply hall part(102a), and a second supply hall part(102b). The substrate(101) has a plurality of resistors and an ink supply hole. The resistors are used for heating ink, and the ink supply hole is used for supplying ink. The nozzle plate is formed on the chamber plate such that plural nozzles are formed. The ink supply hole has at least hall connected to an ink cartridge.
Abstract translation: 目的：提供一种整体式气泡喷墨打印头及其制造方法，以均匀地形成打印头的性能，通过均匀地将油墨分配到每个油墨室，并通过增加接触面积来增加抵抗喷嘴板变形的抵抗力 在腔室板和喷嘴板之间。 构成：单片式气泡喷墨打印头包括基片（101），腔室板（108），喷嘴板，腔室板，第一供应部件（102a）和第二供应部件（102b）。 基板（101）具有多个电阻器和供墨孔。 电阻器用于加热墨水，墨水供应孔用于供应墨水。 喷嘴板形成在腔室板上以形成多个喷嘴。 墨水供应孔至少具有连接到墨盒的霍尔。
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公开(公告)号：KR100453047B1
公开(公告)日：2004-10-15
申请号：KR1020020020912
申请日：2002-04-17
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/16
CPC classification number: B41J2/14137 , B41J2/1601 , B41J2/1606 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1639 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/1437
Abstract: An ink-jet printhead and a manufacturing method thereof include a substrate on which an ink chamber having a predetermined volume is formed, a passage for supplying ink to the ink chamber which is formed on a bottom of the ink chamber, a nozzle plate which includes a nozzle corresponding to a center of the ink chamber and at least two insulating layers formed on the substrate, a bubble guide formed inside the nozzle plate and extending from the nozzle into the ink chamber, and a heater which surrounds the nozzle and is disposed between the two insulating layers. A hydrophobic coating layer is formed on a surface of a uppermost layer of the nozzle plate, and a droplet ejecting portion that has a diameter smaller than that of the nozzle of the nozzle plate and is disposed on the same axis as the nozzle, is formed in the hydrophobic coating layer. The nozzle plate is prevented from becoming wet due to ink, stability of an ink spray and a consecutive spray performance are improved, and thus a printing quality and a printing performance of the ink-jet printhead are generally improved.
Abstract translation: 一种喷墨打印头及其制造方法包括：基板，其上形成有预定体积的墨水腔室;通道，用于将墨水供应到形成在墨水腔室的底部上的墨水腔室;喷嘴板，其包括 与墨水室的中心对应的喷嘴和形成在基板上的至少两个绝缘层，形成在喷嘴板内部并从喷嘴延伸到墨室中的气泡引导件，以及围绕喷嘴并设置在喷嘴之间的加热器 两个绝缘层。 疏水涂层形成在喷嘴板的最上层的表面上，并且形成直径小于喷嘴板的喷嘴的直径并布置在与喷嘴相同的轴上的液滴喷射部分 在疏水涂层中。 防止喷嘴板由于墨水而变湿，喷墨稳定性和连续喷射性能得到改善，因此喷墨打印头的打印质量和打印性能通常得到改善。
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公开(公告)号：KR1020040054036A
公开(公告)日：2004-06-25
申请号：KR1020020080508
申请日：2002-12-16
Applicant: 삼성전자주식회사
Abstract: PURPOSE: A method for manufacturing a monolithic bubble ink jet print head is provided to uniformly manufacture the bubble ink jet print head through a monolithic manner, and to precisely align a substrate and a nozzle plate while increasing productivity and yield rate. CONSTITUTION: A method for manufacturing a monolithic bubble ink jet print head includes the steps of forming a heater and a protective layer at an upper surface of a substrate in order to heat ink, forming a chamber plate(20) at an upper surface of the substrate(1), forming a sacrificial layer photoresist at a predetermined position, in which a flow path of the chamber plate is formed, forming a nozzle plate(60) having a nozzle at an upper surface of the chamber plate, exposing the nozzle plate(60) by using a first photo mask, re-exposing the nozzle plate through the first photo mask by using a second photo mask smaller than the first photo mask, developing a first nozzle(71) using the first photo mask and a second nozzle(72) using the second photo mask, forming a hole by etching a lower surface of the substrate(1), and removing the sacrificial layer photoresist.
Abstract translation: 目的：提供一种用于制造单片气泡喷墨打印头的方法，以通过整体式均匀地制造气泡喷墨打印头，并且在提高生产率和产率的同时精确地对准基板和喷嘴板。 构成：用于制造单片气泡喷墨打印头的方法包括以下步骤：在基板的上表面形成加热器和保护层，以便加热油墨，在所述基板的上表面形成室板（20） 基板（1），在形成有所述室板的流路的规定位置形成牺牲层光致抗蚀剂，在所述室板的上表面形成具有喷嘴的喷嘴板（60），使所述喷嘴板 （60）通过使用第一光掩模，通过使用小于第一光掩模的第二光掩模将喷嘴板再曝光通过第一光掩模，使用第一光掩模显影第一喷嘴（71）和第二喷嘴 （72），使用所述第二光掩模，通过蚀刻所述基板（1）的下表面形成孔，以及去除所述牺牲层光致抗蚀剂。
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公开(公告)号：KR1020040048164A
公开(公告)日：2004-06-07
申请号：KR1020020075942
申请日：2002-12-02
Applicant: 삼성전자주식회사
IPC: B41J2/335
Abstract: PURPOSE: A monolithic bubble ink jet print head and a method for manufacturing the same are provided to evenly form performance of the print head by uniformly distributing ink to each ink chamber and to increase resistance against a deformity of a nozzle plate by increasing a contact area between a chamber plate and the nozzle plate. CONSTITUTION: A monolithic bubble ink jet print head includes a substrate(101), a chamber plate(108), a nozzle plate, a chamber plate, a first supply hall part(102a), and a second supply hall part(102b). The substrate(101) has a plurality of resistors and an ink supply hole. The resistors are used for heating ink, and the ink supply hole is used for supplying ink. The nozzle plate is formed on the chamber plate such that plural nozzles are formed. The ink supply hole has at least hall connected to an ink cartridge.
Abstract translation: 目的：提供一种单片式气泡喷墨打印头及其制造方法，以通过均匀地将油墨分配到每个墨室并通过增加接触面积来增加对喷嘴板的变形的抵抗力来均匀地形成打印头的性能 在腔室板和喷嘴板之间。 构成：整体式气泡喷墨打印头包括基板（101），腔室板（108），喷嘴板，腔室板，第一供应霍尔部分（102a）和第二供应门厅部分（102b）。 基板（101）具有多个电阻和供墨孔。 电阻器用于加热墨水，并且供墨孔用于供墨。 喷嘴板形成在室板上，从而形成多个喷嘴。 供墨孔至少有一个连接到墨盒的门厅。
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