Abstract:
The method comprises (a) depositing metal material (Al or Al alloy) of 500-30000 angstroms thickness on insulation layer, which is formed on semiconductor substrate (10), by sputtering under vacuum at the temperature lower than 200 deg.C to form a first metal layer (4) having a high surface energy, and (b) transferring the semiconductor substrate to another sputtering chamber and heat treating the first metal layer under vacuum at the temperature of 80-100 % of melting point of the metal material for more than 2 mins. Additionally a second metal layer might be deposited at the temperature lower than 350 deg.C after heat treating the first metal layer.
Abstract:
패브리-페로공진반사(Fabry-Perot resonant reflection)에기반한넓은대역폭을갖는광변조기및 그제조방법를개시한다. 개시된구조의광변조기는, 상부 DBR 층을구성하는다수의굴절률층들의일부의두께를달리하거나또는활성층을구성하는양자우물층들의일부의두께를달리함으로써, 일정한광파장구간에대해서반사도를평탄하게유지할수 있다. 따라서, 온도변화나제작공정에서오는광변조기의파장변동에도안정된광변조특성을유지할수 있다. 이러한광변조기는 3D 카메라내에서피사체의거리를측정하는측정수단의부품으로서사용될수 있다.
Abstract:
PURPOSE: An optical modulator, a method for manufacturing and operating the same, and an optical device including a light modulator are provided to reduce volume by being vertically laminated in a semiconductor substrate for integration. CONSTITUTION: An optical modulator(100) comprises an electro-optics conversion element(20), an optics-electro conversion element, and a gate transistor(30). The electro-optics conversion element and the optics-electro conversion element are vertically laminated. The gate transistor gates signals transmitted from the optics-electro conversion element to the electro-optics conversion element. The optics-electro conversion element and the electro-optics conversion element, and gate transistor form unit pixels.
Abstract:
본 발명은 통신 시스템에서 하향링크 자원을 할당하는 방법 및 시스템에 관한 것이다. 본 발명의 통신 시스템에서 자원 할당 방법에 있어서, 이동 단말기들로 전송할 데이터가 생성되면, 상기 생성된 데이터를 전송할 전송 영역의 크기를 산출하는 과정과, 상기 생성된 데이터 중 동일한 이동 단말기로 전송할 데이터 혹은 동일한 변조 및 코딩 방식(MCS: Modulation and Coding Scheme) 레벨을 가지는 데이터를 하나의 데이터 버스트로 구성함으로써 다수의 데이터 버스트를 생성하는 과정과, 상기 생성된 다수의 데이터 버스트를 데이터 버스트의 크기에 따른 우선 순위에 상응하여 상기 전송 영역에 할당하는 과정을 포함한다. 자원 할당, 데이터 버스트, 서브 채널, 심벌, 슬럿, 데이터 버스트 분할
Abstract:
이동 통신 시스템에서 역방향 링크 채널의 전력 제어 방법 및 장치에 관해 개시한다. 상기와 같은 본 발명은 역방향 부가 채널이 할당되거나 해제되면, 상기 전력 제어 임계치를 변환하는 과정과, 상기 변환된 전력 제어 임계치에 따라 역방향 전력 제어를 수행하는 과정을 포함하는 방법에 대해 개시한다. 또한 역방향 부가 채널이 할당되거나 해제되면, 상기 전력 제어 임계치를 변환하고, 상기 변환된 임계치를 임계치 선택기로 제공하는 임계치 변환기와, 역방향 부가 채널이 할당되거나 해제되는 시점에서 상기 변환된 임계치를 전력 제어기로 제공하는 임계치 선택기와, 상기 변환된 전력 제어 임계치와 수신 신호의 신호대 잡음비를 비교하여 역방향 전력 제어 명령을 생성하는 전력 제어기를 포함하는 장치에 대해 개시한다. 이동통신 시스템, 역방향 링크, SCH(Supplemental Channel), FCH(Fundamental CHannel), 폐루프 전력제어, 외부순환 전력제어