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公开(公告)号:KR100841244B1
公开(公告)日:2008-06-25
申请号:KR1020060117953
申请日:2006-11-27
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L27/146 , H01L31/10
Abstract: 본 발명은 광 감지 센서 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 광을 감지할 수 있는 비정질 실리콘 박막 트랜지스터와; 상기 비정질 실리콘 박막 트랜지스터에서 발생된 전하를 저장할 수 있는 스토리지 캐패시터와; 상기 스토리지 캐패시터에 저장된 전하를 이동시키도록, 스위칭하는 다결정 실리콘 박막 트랜지스터로 구성된 광 감지 센서로 구성된다.
따라서, 본 발명은 높은 전하 이송 특성을 갖는 다결정 실리콘을 이용하여 스위치용 트랜지스터를 구성함으로써, 스위치용 트랜지스터의 크기를 줄일 수 있고 센서용 트랜지스터의 크기를 증가시킬 수 있어 센싱 특성을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
지문, 센서, 박막, 트랜지스터, 다결정, 비정질-
公开(公告)号:KR100809519B1
公开(公告)日:2008-03-04
申请号:KR1020050129724
申请日:2005-12-26
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L29/786
Abstract: 본 발명은 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제조 방법에 관한 것으로, 덮개층을 사용하여 방향성 거대 결정립을 형성함으로써, 전하 이동도를 증가시킬 수 있어, 소자의 동작 속도를 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
결정립, 거대, 방향, 덮개, 에너지, 차단, 무반사-
公开(公告)号:KR100788993B1
公开(公告)日:2007-12-28
申请号:KR1020050128913
申请日:2005-12-23
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L29/786
Abstract: 본 발명은 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 제조 방법에 관한 것으로, 도핑된 비정질 실리콘층을 이용하여 소스와 드레인을 형성함으로써, 이온 주입 공정이 필요하지 않아 레이저를 이용한 결정화단계를 줄일 수 있어 공정 수를 줄이고, 생산 수율을 증가시킬 수 있는 효과가 있다.
비정질, 도핑, 실리콘, 결정, 레이저-
公开(公告)号:KR100709163B1
公开(公告)日:2007-04-20
申请号:KR1020050129747
申请日:2005-12-26
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L21/20 , H01L21/324 , H01L29/786
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公开(公告)号:KR1020060075656A
公开(公告)日:2006-07-04
申请号:KR1020040114477
申请日:2004-12-28
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L29/786 , H05B33/00
CPC classification number: H01L51/5296 , H01L51/5203
Abstract: 본 발명은 비대칭 전극 구조를 가지는 유기 발광 트랜지스터 및 그의 제조 방법에 관한 것으로, 일함수가 비대칭인 소스 전극과 드레인 전극을 형성하여 금속과 유기 발광 물질막 사이에 접촉저항을 줄여 높은 발광 효율을 갖는 소자를 구현할 수 있는 효과가 있다.
유기, 일함수, 트랜지스터, 발광-
公开(公告)号:KR1020050072956A
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:KR1020040001114
申请日:2004-01-08
Applicant: 전자부품연구원
IPC: H01L29/786
CPC classification number: H01L27/14678 , G06K9/0004
Abstract: 본 발명은 지문 인식 센서와 일체로 구동소자용 박막 트랜지스터를 제조하는 방법에 관한 것으로, 광투과형 기판 상부에 상호 이격된 제 1 내지 3 게이트를 형성하는 단계와; 상기 제 1 게이트의 일측 상부면을 감싸는 전극라인을 형성하는 단계와; 상기 제 1 내지 3 게이트와 전극라인을 감싸도록 광투과형 기판 상부에 절연막을 형성하는 단계와; 상기 제 1 내지 3 게이트 각각의 상부 영역에 존재하는 절연막 상부에 제 1 내지 3 비정질 실리콘층을 형성하는 단계와; 상기 제 3 비정질 실리콘층에 엑시머 레이저(Excimer laser)광을 조사하여, 제 3 비정질 실리콘층을 결정화된 다결정 실리콘층으로 변화시키는 단계와; 상기 제 1과 2 비정질 실리콘층과 다결정 실리콘층 각각의 일측 상부를 감싸는 소스(Source)를 형성하고, 타측 상부를 감싸는 드레인을 형성하며, 상기 제 1 비정질 실리콘층의 드레인과 제 2 비정질 실리콘층의 소스를 연결하는 단계와; 상기 절연막, 제 1과 2 비정질 실리콘층, 다결정 실리콘층, 소스와 드레인을 감싸는 패시베이션층을 형성하는 단계와; 상기 제 2 비정질 실리콘층 상부에 존재하는 패시베이션층 상부에 광차단막을 형성하는 단계로 이루어진다.
따라서, 본 발명은 지문 인식 센서와 구동소자용 박막 트랜지스터를 일체로 광투과형 기판 상에 형성할 수 있으므로, 지문 인식 시스템의 소형화를 달성할 수 있고, 제조 경비를 낮출 수 있으며, 제작 공정을 단순화시킬 수 있는 효과가 있다.-
公开(公告)号:KR1020050035618A
公开(公告)日:2005-04-19
申请号:KR1020030071327
申请日:2003-10-14
Applicant: 전자부품연구원
IPC: G02F1/1343
CPC classification number: G02F1/134309 , H01L31/1884
Abstract: 본 발명은 전자장치용 투명전극에 관한 것으로, 본 발명의 투명전극은, Mg, Ba와 Ca 중 선택된 어느 한 물질로 이루어진 제 1 금속층과; 상기 제 1 금속층 상부에 형성되며, Ag 또는 Al로 이루어진 제 2 금속층으로 형성하거나, 또는, Ca\CaOx\Ag, CaOx\Ag, CaOx\Ag\AgOx, Ca\AgOx, CaOx\AgOx와 Ca\Ag\AgOx 중 선택된 어느 하나의 적층막으로 형성한다.
따라서, 본 발명은 투명전극 증착시 하부층에 손실을 주지 않고, 전기 전도도가 우수하며, 두께를 얇게 형성하여도 투과도를 우수하게 할 수 있으며, 기존의 ITO막에 비하여 저가의 재료, 장비와 공정으로 우수한 품질의 투명 전극을 얻을 수 있는 효과가 있다.-
88.
公开(公告)号:KR100458124B1
公开(公告)日:2004-11-20
申请号:KR1020020027141
申请日:2002-05-16
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A method is provided to reduce manufacturing costs for plasma display panel and allow for ease of manufacture of barrier ribs. CONSTITUTION: A method comprises a step of forming a metal electrode structure pattern(S2-1) of 1mm or larger on a glass substrate(S1) by using a silver(Ag); a step of forming an insulator(S3) on the glass substrate on which the metal electrode structure pattern is formed; a step of forming a barrier rib through a single process by using a metal mask; and a step of producing a lower substrate by depositing a protective film on the barrier rib.
Abstract translation: 目的:提供一种方法来降低等离子显示面板的制造成本并且容易制造障壁。 构成:一种方法包括通过使用银(Ag)在玻璃基板(S1)上形成1mm或更大的金属电极结构图案(S2-1)的步骤; 在其上形成有金属电极结构图案的玻璃基板上形成绝缘体(S3)的步骤; 通过使用金属掩模通过单个工艺形成障壁的步骤; 以及通过在障壁上沉积保护膜来制造下基板的步骤。
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公开(公告)号:KR1020040047998A
公开(公告)日:2004-06-07
申请号:KR1020020075741
申请日:2002-12-02
Applicant: 전자부품연구원
IPC: B32B27/00
Abstract: PURPOSE: Provided is a functional protective membrane for a flexible display film, which has reduced moisture- and oxygen-transmission and excellent gas barrier property, and improves the reliability and mechanical strength of the display. CONSTITUTION: The functional protective film(30) for a flexible display film comprises a polymer film(31); a perylene film(32,33,35) deposited on one or both sides of the polymer film(31); and a supplementary gas barrier film(34) deposited on the other surface of the perylene film(32,33,35). The perylene film is deposited by an electron beam deposition, vacuum deposition or sputtering deposition method. Further, the functional membrane comprises inorganic substances of AlOx.
Abstract translation: 目的:提供了柔性显示膜的功能性保护膜,其具有减少的透湿性和优异的阻气性,并且提高了显示器的可靠性和机械强度。 构成:用于柔性显示膜的功能性保护膜(30)包括聚合物膜(31); 沉积在聚合物膜(31)的一侧或两侧上的苝膜(32,33,35); 和沉积在苝膜(32,33,35)的另一个表面上的辅助阻气膜(34)。 通过电子束沉积,真空沉积或溅射沉积方法沉积苝膜。 此外,功能膜包含AlO x的无机物质。
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公开(公告)号:KR1020040025156A
公开(公告)日:2004-03-24
申请号:KR1020020056996
申请日:2002-09-18
Applicant: 전자부품연구원
Abstract: PURPOSE: A method for preparing nano-powders comprising a gas-sensing material is provided to improve the uniformity of catalyst distribution, processing safety and reliability of the powders, to reduce the manufacturing cost, to prevent the decrease of specific surface area, and to prevent environmental pollutions. CONSTITUTION: The method for preparing nano-powers comprising a gas-sensing material comprises: the step(S20) for dissolving a colloidal chemical substance as a parent material and a catalyst in an organic solvent to form an organic solution of sensing material; the step(S21) for agitating the organic solution of sensing material to form a gelled compound of sensing material; the step(S22) for pulverizing the gelled compound of sensing material and heat treating it at a temperature of 50-300 deg.C to form powders; and the step(S23) for dispersing the powders uniformly to obtain the nano-powders comprising the gas-sensing material.
Abstract translation: 目的:提供一种制备包含气敏材料的纳米粉末的方法,以提高催化剂分布的均匀性,加工粉末的安全性和可靠性,降低制造成本,防止比表面积的降低,以及 防止环境污染。 构成:包含气敏材料的纳米功率的制备方法包括:将作为母体材料的胶体化学物质和催化剂溶解在有机溶剂中以形成感测材料的有机溶液的步骤(S20) 用于搅拌感测材料的有机溶液以形成感测材料的胶凝化合物的步骤(S21); 步骤(S22),用于粉碎感测材料的胶凝化合物并在50-300℃的温度下热处理以形成粉末; 和用于均匀分散粉末的步骤(S23),以获得包含气体感测材料的纳米粉末。
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