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公开(公告)号：KR1020170102762A
公开(公告)日：2017-09-12
申请号：KR1020160025303
申请日：2016-03-02
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 양파모양탄소(Onion-Like Carbon; OLC)의제조방법은, 나노다이아몬드파우더(nanodiamond powder)를 1000℃내지 1400℃의온도로어닐링(annealing)하는단계를포함한다. 상기어닐링하는단계에의해, 탄소원자간에 sp결합을이루는다이아몬드코어, 및상기코어의바깥쪽에배치되며탄소원자간에 sp결합을이루되인장변형에의해탄소원자간의결합이손상된결함(defect)을포함하는그래핀(graphene) 쉘이형성된다. 어닐링온도를제어함으로써 OLC의최외곽쉘에인장변형에의한결함을생성할수 있으며, 생성된결함은 OLC의전기화학적특성을향상시킬수 있다. 그결과, OLC를전극재료로사용할경우종래와같은별도의후처리공정없이도전기화학적특성이우수한전극을얻을수 있으며, 전극제조공정이간소화될수 있다.
Abstract translation: 用于生产洋葱状碳（OLC）的方法包括在1000℃至1400℃的温度下退火纳米金刚石粉末的步骤 通过退火的步骤中，形成键合到碳跟踪金刚石芯一个属，并且被布置在所述芯，包括通过拉伸应变的碳原子之间的损坏缺陷（缺陷）键的外侧正在作出SP键合到碳跟踪 石墨烯壳形成。 通过控制退火温度，可以在OLC外壳的壳层中产生由拉伸应变引起的缺陷，由此产生的缺陷可以改善OLC的电化学性能。 结果，当使用OLC作为电极材料时，可以获得具有优异电化学特性的电极，而无需像现有技术那样进行单独的后处理工艺，并且可以简化电极制造工艺。
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公开(公告)号：KR101740964B1
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：KR1020160075788
申请日：2016-06-17
Applicant: 한국과학기술연구원 , 프리시젼다이아몬드 주식회사
Abstract: 본발명은샹크부와, 상기샹크부의하부에접합되는선단부를포함하는본딩툴로서, 상기선단부는기판과, 상기기판의하면에증착되는증착막을포함하고, 상기샹크부의하부와상기선단부사이에는금속층이개재되며, 상기샹크부의하부면과상기금속층의일면이부분적으로접합되도록하고, 상기금속층의타면과상기선단부의일면이부분적으로접합되도록, 상기금속층의양면에는각각복수의부분접합부가형성되어있는본딩툴에관한것이다.
Abstract translation: 本发明是，接合工具包括接合到下部的柄部和所述柄部的前端部之间的金属层，所述远端部分包括：基板;和包括根据所述基片上沉积一个气相沉积膜，所述柄部分底部和所述远端 插入，并且，所述柄部的下表面和金属层的，并且使得一个表面部分接合，所述金属层的前端表面的表面被部分地结合到，双方，具有多个局部结的接合在金属层的形成 它涉及到的工具。
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公开(公告)号：KR101648122B1
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：KR1020140082635
申请日：2014-07-02
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 센싱전극의제조방법은, 나노다이아몬드파우더를열처리함으로써, 탄소원자간에 sp3 결합을이루는제1 부분및 상기제1 부분의바깥쪽에배치되며탄소원자간에 sp2 결합을이루는제2 부분을포함하는버키(bucky) 다이아몬드를형성하는단계; 및상기버키다이아몬드를재료로센싱전극을형성하는단계를포함할수 있다. 상기센싱전극은산 또는암모니아에의한처리등의파괴공법을거치치않는단순한열처리공정을통해제조되어결함(defect)이적고, 저분자(small molecule)의고 선택도(high selectivity) 및고 감도(sensitivity) 동시센싱(simultaneous sensing)이가능한이점이있다.
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公开(公告)号：KR101575103B1
公开(公告)日：2015-12-08
申请号：KR1020140162457
申请日：2014-11-20
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C01B32/956 , B82B1/00 , C23C14/34
Abstract: 나노크기의주상입자조직을갖는초경도탄화규소박막은, 나노미터(nm)의폭을갖는장방형모양의입자들이기판의수직방향으로배열된결정질탄화규소와비정질탄화규소의복합구조를구성함으로써초경도값을갖는다. 이에따라, 탄화규소박막이초경도물성을갖게되어고온에서사용가능한절삭공구의코팅재료로사용가능하다.
Abstract translation: 具有纳米尺寸的柱状晶粒结构的超硬碳化硅薄膜通过形成晶体碳化硅和非晶质碳化硅的复合结构而具有超硬度值，其中具有纳米级（nm）宽度的矩形颗粒沿着 基质。 因此，具有超硬性的碳化硅薄膜可以用作可在高温下使用的切削工具的涂层材料。
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公开(公告)号：KR1020150097177A
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：KR1020140018402
申请日：2014-02-18
Applicant: 한국과학기술연구원
CPC classification number: C23C28/04
Abstract: 본 발명은 초경모재 상에 코팅되는 다이아몬드박막을 제 1 박막층과 제 2 박막층의 이중층으로 구성하고, 제 1 박막층과 제 2 박막층의 압축잔류응력을 제어함으로써 다이아몬드박막과 초경모재 사이의 기계적 결합력을 향상시킴과 함께 다이아몬드박막의 박리 현상을 억제하여 다이아몬드 코팅공구 상에 코팅되는 다이아몬드박막의 두께를 증가시킬 수 있는 다이아몬드 코팅공구 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 다이아몬드 코팅공구 제조방법은 초경모재 상에 제 1 박막층과 제 2 박막층을 순차적으로 증착하며, 상기 제 1 박막층과 제 2 박막층은 결정상의 다이아몬드박막이며, 상기 제 1 박막층은 제 2 박막층에 대비하여 상대적으로 큰 압축잔류응력을 갖도록 증착되고, 상기 제 2 박막층은 제 1 박막층에 대비하여 상대적으로 작은 압축잔류응력을 갖도록 증착되는 것을 특징으로 한다.
Abstract translation: 本发明涉及金刚石涂层工具和制造方法，其能够通过将涂覆在碳化物基材上的金刚石膜形成第一和第二薄膜并控制金刚石薄膜和碳化物基材之间的机械结合力 通过抑制金刚石膜的分离现象，第一和第二薄膜的压缩残余应力和涂覆在涂层工具上的金刚石膜的厚度增加。 根据本发明，在制造方法中，第一和第二薄膜依次沉积在碳化物基材上，第一和第二薄膜是晶相金刚石薄膜，第一薄膜比第二薄膜具有比第二薄膜更大的压缩残余应力 薄膜，第二薄膜比第一薄膜具有更小的压缩残余应力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020150059453A
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：KR1020130143068
申请日：2013-11-22
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: G02B5/00
CPC classification number: G02B5/008 , B82Y15/00 , B82Y40/00 , G01N21/554 , G02B5/0278 , G03F7/2014 , G03F7/70375
Abstract: 나노안테나배열제조방법은기판위에레지스트층을형성하는단계; 상기레지스트층위에유전체마이크로구조체배열을포함하는포커싱층을형성하는단계; 선형디퓨저를이용하여빛을일 방향으로산란시키는단계; 상기선형디퓨저에의해산란된빛을상기포커싱층및 상기레지스트층에조사시킴으로써상기레지스트층에비등방성의패턴을형성하는단계; 상기기판및 상기패턴이형성된레지스트층에플라즈모닉공진특성을갖는물질을증착하는단계; 및상기레지스트층및 상기레지스트층상에증착된물질을제거함으로써상기기판상에나노안테나배열을형성하는단계를포함할수 있다. 상기선형디퓨저에의한빛의산란각도및 상기유전체마이크로구조체의크기는형성하고자하는패턴의종횡비에기초하여결정된다.
Abstract translation: 纳米天线阵列的制造方法包括： 在基板上形成抗蚀剂层的步骤; 在抗蚀剂层上形成包括电介质微结构阵列的聚焦层的步骤; 通过使用线性漫射器在一个方向上漫射光的步骤; 通过用线性扩散器漫射的光照射聚焦层和抗蚀剂层，在抗蚀剂层上形成各向异性图案的步骤; 在衬底上蒸发具有等离子体共振特性的材料和形成图案的抗蚀剂层的步骤; 以及通过去除抗蚀剂层和沉积在抗蚀剂层上的材料在衬底上形成纳米天线阵列的步骤。 基于正在形成的图案的纵横比来确定通过线性漫射器的光的散射角和电介质微结构的尺寸。 根据本发明的纳米天线阵列的制造方法，能够在2-20μm的波长区域的红外波段中显示等离子体共振特性的红外线纳米天线阵列，其中，固有振动模式 存在的大多数分子可以容易地形成。
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公开(公告)号：KR101284047B1
公开(公告)日：2013-07-09
申请号：KR1020110136213
申请日：2011-12-16
Applicant: 한국과학기술연구원
IPC: H01L21/304
Abstract: CMP 패드 컨디셔너의 제조방법은 기판 상에 다이아몬드 박막을 형성하는 단계, 매트릭스 형태의 개구부를 갖는 마스크를 다이아몬드 박막 상에 위치시키는 단계, 마스크 상에 다이아몬드를 증착하여 다이아몬드 박막 상에 개구부에 대응하는 돌출부들을 형성하는 단계, 및 마스크를 제거하는 단계를 포함한다. 이에 따라, 종래 CMP 패드 컨디셔너가 가진 컨디셔너의 부식과 다이아몬드의 탈착에 의한 문제점을 해결한 우수한 CMP 패드 컨디셔너를 제조할 수 있다.
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公开(公告)号：KR101252669B1
公开(公告)日：2013-04-09
申请号：KR1020120071532
申请日：2012-07-02
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: PURPOSE: A method for rapidly growing diamond and an apparatus thereof are provided to secure a large-area thin film by using an HFCVD(Hot Filament Chemical Vapor Deposition). CONSTITUTION: The flow rate of precursor gas is controlled to control the concentration of atomic hydrogen. The precursor gas includes hydrogen and hydrocarbon. The chamber of an HFCVD apparatus includes a solid carbon source. The solid carbon source includes a structure of black lead. The structure of black lead has an opening part which is a space for moving gas. [Reference numerals] (AA) Mixed gas(hydrogen-hydrocarbon); (BB) Filament; (CC) Black lead structure; (DD) Substrate;
Abstract translation: 目的：提供快速生长金刚石的方法及其装置，以通过使用HFCVD（热丝化学气相沉积）固定大面积薄膜。 构成：控制前体气体的流量以控制原子氢的浓度。 前体气体包括氢和烃。 HFCVD装置的室包括固体碳源。 固体碳源包括黑色铅的结构。 黑色铅笔的结构具有作为气体移动空间的开口部分。 （标号）（AA）混合气体（氢 - 烃）; （BB）灯丝; （CC）黑铅结构; （DD）基材;
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公开(公告)号：KR101072444B1
公开(公告)日：2011-10-11
申请号：KR1020080121776
申请日：2008-12-03
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본발명은 (1) 세라믹입자및 기지상을포함하는혼합조성물을세라믹몸체에도포하여표면층을형성시키는단계; (2) 상기표면층에포함된기지상을제거하여불규칙한요철모양의표면층을형성시키는단계; 및 (3) 상기기지상이제거된표면층에다이아몬드막을증착시키는단계를포함하는다이아몬드막이코팅된세라믹몸체의제조방법에관한것이다.
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公开(公告)号：KR101012091B1
公开(公告)日：2011-02-07
申请号：KR1020080121295
申请日：2008-12-02
Applicant: 한국과학기술연구원
Abstract: 본 발명은 (1) 세라믹 몸체의 표면에 화학반응을 일으켜 반응 잔류물을 포함하는 표면층을 형성하는 단계; (2) 상기 세라믹 몸체의 표면층에 포함된 반응 잔류물을 제거하여 불규칙한 요철 모양의 표면층을 형성시키는 단계; 및 (3) 상기 불규칙한 요철 모양의 표면층에 다이아몬드막을 증착시키는 단계를 포함하는, 다이아몬드막이 코팅된 세라믹 몸체의 제조방법에 관한 것이다.
다이아몬드막, 표면 화학반응, 불규칙한 요철 모양, 식각, 증착
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