公开(公告)号：TW201527740A

公开(公告)日：2015-07-16

申请号：TW103138806

申请日：2014-11-07

Applicant: 耐諾股份有限公司 ,  NANOMETRICS INCORPORATED

Inventor： 巴克考斯基 安德茲 ,  BUCZKOWSKI, ANDRZEJ

IPC: G01N21/64

CPC classification number: G01N21/6489 ,  G01B11/0625 ,  G01N21/47 ,  G01N21/55 ,  G01N21/6456 ,  G01N21/88 ,  G01N21/9501 ,  G01N2021/4735 ,  G01N2021/646 ,  G01N2021/8822 ,  G01N2201/06113 ,  G01N2201/1042 ,  G01N2201/1053 ,  H04N3/155

Abstract: 本發明揭示一種光學測量器件，其能夠跨越一樣本之寬度偵測來自一線之光致發光光、寬頻帶光之鏡面反射及散射光之任何組合。該測量器件包含在該樣本上產生一第一照明線之一第一光源。一掃描系統可用於跨越該樣本掃描一照明點以形成該照明線。一偵測器使沿著該照明線發射之該光致發光光光譜成像。另外，一寬頻帶照明源可用於在該樣本上產生一第二照明線，其中該偵測器使沿著該第二照明線之該寬頻帶照明之鏡面反射光譜成像。該偵測器亦可使來自該第一照明線之散射光成像。可跨越該樣本掃描該等照明線使得可量測該樣本上所有位置。

Abstract in simplified Chinese: 本发明揭示一种光学测量器件，其能够跨越一样本之宽度侦测来自一线之光致发光光、宽带带光之镜面反射及散射光之任何组合。该测量器件包含在该样本上产生一第一照明线之一第一光源。一扫描系统可用于跨越该样本扫描一照明点以形成该照明线。一侦测器使沿着该照明线发射之该光致发光光光谱成像。另外，一宽带带照明源可用于在该样本上产生一第二照明线，其中该侦测器使沿着该第二照明线之该宽带带照明之镜面反射光谱成像。该侦测器亦可使来自该第一照明线之散射光成像。可跨越该样本扫描该等照明线使得可量测该样本上所有位置。