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公开(公告)号：EP1929258A2
公开(公告)日：2008-06-11
申请号：EP06814252.0
申请日：2006-09-08
Applicant: ReVera Incorporated
Inventor： SCHUELER, Bruno, W. , REED, David, A.
CPC classification number: G01N23/2273 , G01N2223/085 , G01N2223/6116 , H01J2235/08
Abstract: According to one aspect of the present invention, a substrate processing system is provided. The system may include a chamber wall enclosing a chamber, a substrate support positioned within the chamber to support a substrate, an electromagnetic radiation source to emit electromagnetic radiation onto the substrate on the substrate support, the electromagnetic radiation causing photoelectrons to be emitted from a material on the substrate, an analyzer to capture the photoelectrons emitted from the substrate, and a magnetic field generator to generate a magnetic field within the chamber and guide the photoelectrons from the substrate to the analyzer.
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82.发明专利
公开(公告)号：JP2013508931A
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：JP2012535976
申请日：2010-10-18
Applicant: コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ
Inventor： ピーティック，ライナー
CPC classification number: H01J35/105 , H01J35/12 , H01J2235/08 , H01J2235/1204 , H01J2235/1291
Abstract: 本発明は、一般的に、X線発生技術に関する。 X線発生装置の電子収集素子を、静的に供給することによって、減少した動作部分及び駆動部分岐を持つことが可能であってよく、場合によっては製造費用及び故障原因を減らす。 その結果、増加した熱負荷可能性を持つ電子収集素子が提示される。 本発明に従って、電子収集素子（28）が提供され、それは、表面素子（22）及び熱伝導素子（26）を含む。 その熱伝導素子（26）は、第1方向において第1熱伝導率及び少なくとも第2方向において少なくとも第2熱伝導率を有する。 その第1熱伝導率は、第2熱伝導率よりも大きい。 その第1方向は、表面素子（22）に対して実質的に垂直である。
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公开(公告)号：JP2011530799A
公开(公告)日：2011-12-22
申请号：JP2011522988
申请日：2009-08-12
Applicant: バリアン・メディカル・システムズ・インコーポレイテッド
Inventor： イートン，ダグラス，ダブリュ． , ターナー，ジョン , チェン，ゴンギン
CPC classification number: H05H7/02 , H01J2235/08 , H05H9/00 , H05H9/048 , H05H2007/022 , H05H2007/025
Abstract: 異なるＲＦ出力を加速器に提供する出力発生器により駆動される荷電粒子加速器を備え、インターレース型動作が可能である多重エネルギー放射線源が開示される。 自動周波数制御技法は、加速器に提供されるＲＦ出力の周波数を加速器の共振周波数に一致させるように提供される。 出力発生器が機械的に同調可能なマグネトロンである一例では、自動周波数制御装置は、これらのＲＦ出力パルスが提供される場合に、１つの出力におけるＲＦ出力パルスの周波数を加速器の共振周波数に一致させるように提供され、当該マグネトロンは、これらのＲＦ出力パルスが提供される場合に、他の出力におけるマグネトロンの周波数偏移が、加速器における共振周波数偏移に少なくとも部分的に一致するように動作する。 他の例では、出力発生器がクライストロンまたは電気的に同調可能なマグネトロンである場合、別の自動周波数制御装置がＲＦ出力パルス毎に設けられる。 複数の方法およびシステムが開示される。
【選択図】図１-
公开(公告)号：JP2009510433A
公开(公告)日：2009-03-12
申请号：JP2008533379
申请日：2006-09-08
Applicant: リヴェラ インコーポレイテッド
Inventor： ブルーノ ダブリュー シューラー , ディヴィッド エイ リード
IPC: G01N23/227 , G01N1/28 , H01L21/66
CPC classification number: G01N23/2273 , G01N2223/085 , G01N2223/6116 , H01J2235/08
Abstract: 本発明の１つの態様によれば、基板処理システムが提供される。 このシステムは、チャバを囲むチャンバ壁と、基板を支持するようにチャンバ内に位置付けられた基板支持体と、基板上の材料から光電子を放出させる電磁放射線を基板支持体上の基板に放出させる電磁放射線源と、基板から放出された光電子を捕らえるアナライザと、チャンバ内に磁場を発生させ基板からアナライザに光電子を誘導する磁場発生器と、を含む。
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公开(公告)号：JP2016517129A
公开(公告)日：2016-06-09
申请号：JP2015558556
申请日：2014-02-25
Applicant: アンエックスレイ リミテッドEnxray Limited , アンエックスレイ リミテッドEnxray Limited
IPC: H01J35/06 , B65B55/08 , H01J35/00 , H01J35/08 , H01J35/12 , H01J35/16 , H01J35/18 , H01J35/22 , H05G1/00
CPC classification number: A61L2/082 , G01N23/02 , H01J35/06 , H01J35/08 , H01J35/12 , H01J35/18 , H01J2235/06 , H01J2235/08 , H01J2235/18
Abstract: 軟X線を生成するためのX線源であって、支持構造によって支持された電子放出構造を有する陰極であって、電子放出構造は、支持構造によって囲まれた領域内でX線に対し少なくとも部分的に透過性である、陰極と、陰極の電子放出構造に平行なX線放出表面を有する陽極と、陽極と陰極との間に配置された電気絶縁スペーサとを備え、陰極の電子放出構造および陽極のX線放出表面は、使用中に、電子放出構造が、電子によって陽極に衝撃を与えてX線をX線放出表面から放出させて陰極を通り抜けさせるように動作可能であるように配置され、絶縁スペーサは、陽極と陰極の支持構造との間に配置され、陽極の一部にわたって前記支持構造を超えて前記領域へ突出する、X線源。
Abstract translation: 用于产生软X射线，具有由支撑结构，电子发射结构的支撑电子发射结构的阴极中，至少在由所述支撑结构包围的区域相对于X射线的X射线源 是部分透射的，阴极和包括具有平行X射线发射表面的阴极的电子发射的结构，和设置在阳极和阴极，电子发射结构的阴极之间的电绝缘间隔件的阳极 和阳极的X射线发射表面在使用中，电子发射结构被布置成使得X射线冲击阳极，由此从X射线发射表面释放可操作以通过由电子阴极，以使 是，在绝缘衬垫被布置在阳极和阴极的支撑结构之间，超出所述在阳极伸入区域，X射线源的一部分的支撑结构。
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Patent Agency Ranking86.发明专利
公开(公告)号：JP2013239317A
公开(公告)日：2013-11-28
申请号：JP2012111093
申请日：2012-05-15
Inventor： YAMAZAKI KOJI , TAMURA MIKI
CPC classification number: H01J35/08 , G01N23/04 , H01J2235/08 , H01J2235/081 , H01J2235/083 , H01J2235/084 , H01J2235/087 , H01J2235/088
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a transmission type radiation generating target in which peeling and cracking of a target layer at an interface between a support substrate and the target layer can be suppressed even when the density of incident electrons is increased or when the potential of the target is made higher.SOLUTION: The transmission type radiation generating target including a support substrate 2 and a target layer 3 which is disposed on the support substrate 2 and generates radiation by irradiation with an electron beam is characterized in that: the target layer 3 has an opening 4 for exposing the support substrate 2; and the opening 4 overlaps a position where the irradiation density of the electron beam is maximum.
Abstract translation: 要解决的问题：为了提供一种透射型辐射产生靶，其中即使当入射电子的密度增加时，或者当电子的电位增加时，即使在支撑衬底和目标层之间的界面处的目标层的剥离和破裂也可以被抑制 目标更高。解决方案：包括支撑基板2和设置在支撑基板2上并通过用电子束照射产生辐射的目标层3的透射型辐射产生靶的特征在于：目标层3 具有用于使支撑基板2露出的开口4; 并且开口4与电子束的照射密度最大的位置重叠。
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公开(公告)号：JP2010507810A
公开(公告)日：2010-03-11
申请号：JP2009534826
申请日：2007-10-23
Applicant: サーモ ニトン アナライザーズ リミテッド ライアビリティ カンパニー
IPC: G01N23/223
CPC classification number: G21K1/06 , G01N2223/316 , G21K2201/062 , H01J2235/08
Abstract: A method for obtaining a concentrated, monochromatic x-ray beam from a standard x-ray tube or other source of polychromatic emission. X-rays from the anode of the x-ray tube fluoresce an adjoining, independent target that produces a monochromatic spectrum, a portion of which is focused by the x-ray optical system. This two-stage method gives the system considerably versatility without undue loss in signal. The two-stage concentrator makes practical the use of focusing optics in hand-held and portable instruments.
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公开(公告)号：US11715617B2
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：US17407748
申请日：2021-08-20
Inventor： William Graves , Mark Holl
CPC classification number: H01J35/153 , H05G1/02 , H05G1/28 , H05G1/52 , H01J2235/08 , H04N5/32
Abstract: Some embodiments of the present disclosure provide a method that includes colliding a laser with an electron beam to produce backscattered x-rays while the electron beam is traversing a circular arc. This backscattering process is inverse Compton scattering (ICS). ICS x-rays are emitted in the same direction as the electrons. Because this ICS direction is changing as a function of time, the position of the x-ray beam on a detector will change depending on the timing of electron/laser collision. This position change is easily detected and converted to a timing measurement sensitive at the femtosecond scale, converting a very difficult timing measurement of laser pulse, electron pulse, and x-ray pulse synchronization into a simple and robust position measurement.
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公开(公告)号：US20180330910A1
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：US15527435
申请日：2015-10-19
Applicant: Hitachi, Ltd.
Inventor： Yoshitaka SEKI
CPC classification number: H01J35/103 , H01J35/101 , H01J35/16 , H01J2235/08 , H01J2235/1066 , H01J2235/108 , H01J2235/12 , H01J2235/16
Abstract: There is provided an X-ray tube device having a configuration for preventing peeled-off solid lubrication films from scattering in an X-ray tube even when the solid lubrication film peels off a rotary bearing. The X-ray tube device includes: an anode (212) that is irradiated with an electron beam, thereby emitting X-rays; a rotary bearing (304) that rotatably supports the anode (212); a solid lubrication film which is formed on a front surface of the rotary bearing (304) and into which a ferromagnet is mixed from the rotary bearing (304); and an attractor (303) which attracts, with a magnetic force, the solid lubrication film that peels off the rotary bearing (304).
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公开(公告)号：US20170018392A1
公开(公告)日：2017-01-19
申请号：US15131039
申请日：2016-04-18
Applicant: NanoRay Biotech Co., Ltd.
Inventor： Chi-Chieh Cheng
CPC classification number: H01J35/08 , G21K1/10 , H01J35/116 , H01J35/14 , H01J2235/08 , H01J2235/081 , H01J2235/083 , H01J2235/086 , H01J2235/088
Abstract: A composite target is provided and is interacted with an electron to generate an X-ray, and an energy of the electron can be changed by controlling a tube voltage at least. The composite target includes a target body and an interposing layer which is connected with the target body. The interposing layer moves a highest peak of an energy spectrum of the X-ray toward a high energy direction. The interposing layer may be a single metal or a metal mixture. Not only a low energy photon of the X-ray can be filtered by the interposing layer, but also a distribution of the low energy photon of the X-ray can be increased by increasing a thickness of the interposing layer. As the tube voltage is enhanced, an amount of a high energy photon of the X-ray generated is dramatically increased. An X-ray tube containing the above composite target is also provided.
Abstract translation: 提供复合靶并且与电子相互作用以产生X射线，并且可以通过至少控制管电压来改变电子的能量。 复合目标包括与目标体连接的目标体和中介层。 插入层将X射线的能谱的最高峰向高能方向移动。 中间层可以是单一金属或金属混合物。 X射线的低能量光子不仅可以通过中介层进行滤光，而且可以通过增加中间层的厚度来增加X射线的低能量光子的分布。 随着管电压的增加，所产生的X射线的高能量光子的量显着增加。 还提供了含有上述复合靶的X射线管。
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