-
公开(公告)号：KR1020170050969A
公开(公告)日：2017-05-11
申请号：KR1020150153180
申请日：2015-11-02
Applicant: 인하대학교 산학협력단 , (주)단단
CPC classification number: Y02P40/52
Abstract: 본발명은에어로졸증착용비정질코팅소재및 그의제조방법에관한것으로, 에어로졸증착에의해상온에서후열처리없이플라즈마에대하여우수한내성을갖고파티클발생도효과적으로억제하는코팅막을형성하기에적당한것이다. 이러한본 발명의에어로졸증착용비정질코팅소재제조방법은, SiO, YO, AlO를주성분으로포함하는비정질모재유리분말을혼합하는단계와; 혼합된모재유리분말을용융하는단계와; 모재유리분말의용융물을공기중에서급랭시키면서롤러에의해불규칙형상의유리컬릿(cullet)을형성하는단계와; 상기유리컬릿을 1차파쇄하여조분을형성하는단계와; 상기조분을 2차파쇄하여평균입경이수 μm 내지 200μm 범위에속하는미분의코팅소재를형성하는단계를포함하는것을특징으로한다.
Abstract translation: 本发明合适的hagie形成涂布膜，其涉及生产无定形涂层材料的方法，和增加的磨损气雾剂，具有优异的电阻，而不通过气溶胶沉积在室温下将热处理以等离子体也有效地抑制颗粒的产生。 本发明的气溶胶沉积非晶体涂层材料制造方法包括含有SiO作为主要成分，YO，和的AlO玻璃粉末的无定形基底材料混合的工序; 熔化混合的基础玻璃粉末; 通过辊子形成不规则形状的玻璃碎片，同时快速冷却空气中基材玻璃粉末的熔体; 首先粉碎玻璃碎片以形成粗粉; 然后将粗粉细粉碎，形成平均粒径为数μm〜200μm的微粉末涂料。
-
-
公开(公告)号：KR1020160122497A
公开(公告)日：2016-10-24
申请号：KR1020150052460
申请日：2015-04-14
Applicant: 삼성전자주식회사 , (주)단단 , 주식회사 뉴파워 프라즈마
IPC: H01J37/32
CPC classification number: H01J37/32467 , H01J37/321 , H01J37/32357 , H01J37/32477 , H01J37/32495 , H01J37/3266 , H05H1/2406 , H05H1/46 , H05H2001/2462 , H05H2001/4667 , H05H2001/4682
Abstract: 본발명의기술적사상을따른원격플라즈마발생장치는가스주입구및 플라즈마배출구를구비하고, 방전가스및 플라즈마가이동하는플라즈마발생관을포함하는몸체부; 상기몸체부에고정되며, 자기장을발생시켜상기몸체부의내부에플라즈마를생성하는구동부; 및상기플라즈마발생관의내측에배치되어플라즈마로부터상기플라즈마발생관을보호하는보호튜브를포함하는것을특징으로한다.
-
公开(公告)号：KR102027128B1
公开(公告)日：2019-10-01
申请号：KR1020170102012
申请日：2017-08-11
IPC: C01F17/00 , C04B35/515 , C04B35/632 , C04B35/626
-
公开(公告)号：KR101448241B1
公开(公告)日：2014-10-13
申请号：KR1020140035962
申请日：2014-03-27
Applicant: (주)단단
IPC: C01B33/021 , C01B31/36 , B01J19/00
CPC classification number: C01B32/956 , B01J19/002 , B01J27/24 , B01J2219/00247 , C01P2006/80
Abstract: The present invention relates to a composition for producing high-purity silicon carbide powder and a method for producing high-purity silicon carbide using the same. More specifically disclosed is a method for producing high-purity silicon carbide powder by reacting a mixed solution where other additives are mixed at a solution state in a composition for producing high-purity silicon carbide powder which is a mixture where solution of phenol and silicon alkoxide, formalin and alcohol solvent are mixed for carbon source to make silicon carbide, and then heat-treating the solution in a non-oxidizing atmosphere after dry-hardening the solution.
Abstract translation: 本发明涉及高纯度碳化硅粉末的制造用组合物及其制造方法。 更具体地公开了一种通过使其它添加剂以溶液状态混合的混合溶液在用于生产高纯度碳化硅粉末的组合物中的混合溶液的制备方法，所述高纯度碳化硅粉末是苯酚和硅醇溶液的混合物 ，将福尔马林和醇溶剂混合用于碳源以制造碳化硅，然后在干燥硬化溶液之后在非氧化性气氛中对溶液进行热处理。
-
Patent Agency Ranking
公开(公告)号：KR1020040056887A
公开(公告)日：2004-07-01
申请号：KR1020020083473
申请日：2002-12-24
Applicant: 재단법인 포항산업과학연구원 , (주)단단
Inventor： 안지훈
IPC: H01L21/306
Abstract: PURPOSE: An electrostatic chuck having an excellent cooling function is provided to secure the uniformity of water temperature by radially installing cooling gas lines of a sector type in the same. CONSTITUTION: An electrostatic chuck(2) is used for fixing a wafer and cooling the wafer by supplying cooling gas to the wafer using a cooling gas line(6). A plurality of line parts are formed as one piece for completing the cooling gas line. Each line part is like a sector type structure. The line parts are radially arranged in the electrostatic chuck for uniformly conserving the temperature of the wafer.
Abstract translation: 目的：提供具有优异冷却功能的静电卡盘，以通过径向安装扇形类型的冷却气体管线来确保水温的均匀性。 构成：使用静电卡盘（2）固定晶片并通过使用冷却气体管线（6）向晶片供应冷却气体来冷却晶片。 为了完成冷却气体管线，多个管线部件形成为一体。 每个线路部分都像一个扇区类型的结构。 线部件径向布置在静电卡盘中以均匀地保持晶片的温度。
-
公开(公告)号：KR102209383B1
公开(公告)日：2021-02-01
申请号：KR1020180174253
申请日：2018-12-31
IPC: C04B35/597 , C04B35/626 , C04B35/645
Abstract: 본발명은이터븀과이트륨이공도핑된사이알론및 그제조방법에관한것으로서, 보다상세하게는사이알론을소결하여사이알론소결체를제조함에있어서, 상기사이알론소결체에는이터븀또는이터븀화합물과이트륨또는이트륨화합물이공도핑되는것을특징으로하는이터븀과이트륨이공도핑된사이알론을제공한다. 이상과같은본 발명에따르면, Yb3+ 이온이 Yb2+ 이온으로전환되는수준을감소시키기위하여, Y2O3를두 번째소결보조제로추가로도입함으로써, 소결체의색상의안정성을높이고파괴인성등 기계적물성의열화를방지하는효과를기대할수 있다.
-
公开(公告)号：KR101842597B1
公开(公告)日：2018-03-29
申请号：KR1020150153180
申请日：2015-11-02
Applicant: 인하대학교 산학협력단 , (주)단단
CPC classification number: Y02P40/52
Abstract: 본발명은에어로졸증착용비정질코팅소재및 그의제조방법에관한것으로, 에어로졸증착에의해상온에서후열처리없이플라즈마에대하여우수한내성을갖고파티클발생도효과적으로억제하는코팅막을형성하기에적당한것이다. 이러한본 발명의에어로졸증착용비정질코팅소재제조방법은, SiO, YO, AlO를주성분으로포함하는비정질모재유리분말을혼합하는단계와; 혼합된모재유리분말을용융하는단계와; 모재유리분말의용융물을공기중에서급랭시키면서롤러에의해불규칙형상의유리컬릿(cullet)을형성하는단계와; 상기유리컬릿을 1차파쇄하여조분을형성하는단계와; 상기조분을 2차파쇄하여평균입경이수 μm 내지 200μm 범위에속하는미분의코팅소재를형성하는단계를포함하는것을특징으로한다.
-
公开(公告)号：KR101612806B1
公开(公告)日：2016-04-18
申请号：KR1020140063839
申请日：2014-05-27
Applicant: (주)단단
IPC: H01L21/205 , H01L21/302
Abstract: 본발명은리모트플라즈마세라믹반응기에관한것으로, 내구성이향상되고오염물질발생이감소된리모트플라즈마세라믹반응기의제조방법이다.이를위해, 상기리모트플라즈마세라믹반응기는이트리아, 알루미나또는 YAG(이트륨석류석)중한가지이상을혼합한후 챔버형상으로형성한후 열소성하여완성하게되며, 그제조방법은소재분말을혼합하는단계(S10)와혼합된소재분말을챔버형상의반응기를성형하는단계(S20)와성형된반응기를저온열처리단계(S30) 및저온열처리를거친반응기를소결열처리하는단계(S40)으로구성된다.
-
公开(公告)号：KR1020150136691A
公开(公告)日：2015-12-08
申请号：KR1020140063839
申请日：2014-05-27
Applicant: (주)단단
IPC: H01L21/205 , H01L21/302
CPC classification number: H01J37/32467 , H01J37/32357
Abstract: 본발명은리모트플라즈마세라믹반응기에관한것으로, 내구성이향상되고오염물질발생이감소된리모트플라즈마세라믹반응기이다. 이를위해, 상기리모트플라즈마세라믹반응기는이트리아, 알루미나또는 YAG(이트륨석류석)중한가지이상을혼합한후 챔버형상으로형성한후 열소성하여완성하게되며, 그제조방법은소재분말을혼합하는단계(S10)와혼합된소재분말을챔버형상의반응기를성형하는단계(S20)와성형된반응기를저온열처리단계(S30) 및저온열처리를거친반응기를소결열처리하는단계(S40)으로구성된다.
Abstract translation: 本发明涉及远程等离子体陶瓷反应器。 更具体地，本发明涉及一种提高耐久性并减少污染物产生的远程等离子体陶瓷反应器。 为此，将钇，氧化铝或钇石榴石（YAG）中的至少一种混合。 将混合物模制成室形并通过加热烧结。 远程等离子体陶瓷反应器的制造方法包括：混合材料粉末的步骤（S10），将室型反应器成型为混合材料粉末的步骤（S20），对所述步骤（S30）进行低温热处理的步骤 以及对通过低温热处理完成的反应器进行烧结处理的步骤（S40）。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
Search Results
16
records
(took 0.017 seconds)
