公开(公告)号：WO2013024971A2

公开(公告)日：2013-02-21

申请号：PCT/KR2012/005397

申请日：2012-07-06

Applicant: (주)유비프리시젼 ,  박재근 ,  박진형 ,  임재형 ,  조종영 ,  최호 ,  황희섭

Inventor： 박재근 ,  박진형 ,  임재형 ,  조종영 ,  최호 ,  황희섭

IPC: C09K3/14 ,  H01L21/304

CPC classification number: H01L21/3212 ,  C09G1/02 ,  C09K3/1463 ,  H01L21/7684

Abstract: 본 발명은 연마제와 연마촉진체를 포함하는 텅스텐 연마용 CMP 슬러리 조성물로서, 상기 연마제는 초순수에 분산된 콜로이드 실리카를 포함하며, 상기 연마촉진제는 과산화수소수, 암모늄퍼설페이트 및 질산철을 포함하며, 상기 슬러리 조성물은 슬러리 변색 문제가 발생하지 않으며, 식각 선택비가 우수하여 CMP 공정에 적용할 수 있다.

Abstract translation: 本发明

是一个钨抛光CMP浆料组合物包括研磨剂和抛光加速体，该浆料包含分散在去离子水中的胶态二氧化硅，其中该研磨促进剂是过氧化氢溶液，过硫酸铵 和硝酸铁，浆料组合物不会引起浆料变色，并且具有优异的蚀刻选择性，因此可以应用于CMP工艺。