公开(公告)号：JP2005530170A

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：JP2004514960

申请日：2003-06-19

Applicant: グズノクXenocs

Inventor： オーレリアン、ダリエ ,  セルジオ、ロドリゲス ,  ペテル、ホーゴ

IPC: G01N23/20 ,  G21K1/06 ,  G21K3/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G21K1/06 ,  G21K2201/061 ,  G21K2201/062 ,  G21K2201/064

Abstract: この発明は、側方に勾配が付けられた反射多層体を有する光学アセンブリ（１０）であって、反射多層体の反射面が、２次元的な光学的効果を引き起こしつつ、小さな入射角の入射Ｘ線を反射することができる光学アセンブリにおいて、反射面が１つの表面から成り、反射面は、２つの異なる方向に対応する２つの曲率に沿って適合されていることを特徴とする光学アセンブリに関する。
また、この発明は、そのような光学アセンブリの製造方法であって、所定の曲率を既に有する基板のコーティングを含み、この基板の曲率が第２の異なる方向に沿っていることを特徴とする方法に関する。
最後に、本発明は、Ｘ線を発生させて調整するための装置であって、Ｘ線源に接続された前述した光学アセンブリを有する角度分散Ｘ線反射計において適用できる装置において、Ｘ線源によって放射されたＸ線は、Ｘ線源によって放射されたビームをサンプルに適合させるように２つの寸法に沿って調整され、Ｘ線は、対象のサンプル上に対して様々な入射角を有している装置に関する。

公开(公告)号：JP2005530168A

公开(公告)日：2005-10-06

申请号：JP2004514950

申请日：2003-06-19

Applicant: グズノクXenocs

Inventor： オーレリアン、ダリエ ,  セルジオ、ロドリゲス ,  ペテル、ホーゴ

IPC: G01N23/20 ,  G21K1/06 ,  G21K3/00

CPC classification number: B82Y10/00 ,  G21K1/06 ,  G21K2201/061 ,  G21K2201/062 ,  G21K2201/064

Abstract: 本発明は、入射Ｘ線ビームを扱うことを意図した光学装置であって、
・モノクロメータ（Ｍ）と、
・前記モノクロメータの目標にビームを適合させるために、反射面が２次元光学効果を生み出すことの可能な入射ビームを調整する光学要素（２０）と、
を具備してなり、前記光学要素が多層構造タイプのＸ線に対する反射型の面を含んでおり、
前記反射面が単一面で構成され、前記反射面が２つの異なる方向に対応する２つの曲率に従って形成されていることを特徴とする光学装置に関する。