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公开(公告)号:JP2016219712A
公开(公告)日:2016-12-22
申请号:JP2015105929
申请日:2015-05-25
Applicant: 株式会社メガオプト
Abstract: 【課題】従来の技術と比較すると、大型かつ複雑な光路構成を設定することなく、高出力のレーザー出力を得ることのできるようにする。 【解決手段】複数の波長のレーザー光を出力する多波長レーザー発振装置において、レーザー出力するレーザー光の波長毎に独立してユニット化されたレーザー発振装置たるレーザー発振ユニットを構成し、レーザー出力として得たいレーザー光の波長にあわせて上記レーザー発振ユニットを複数設けるようにした。 【選択図】 図3
Abstract translation: A和现有技术中,没有设置大的和复杂的光路布置,使得能够获得高输出的激光输出的比较。 在多个多波长激光振荡器的用于输出具有的波长的激光束,独立地对激光输出的激光束的每个波长构成作为激光振荡单元中的单元化的激光振荡器,作为激光输出 根据所得到的期望的激光束的波长被设定为提供多个激光振荡单元的。 点域
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公开(公告)号:JPWO2012165495A1
公开(公告)日:2015-02-23
申请号:JP2013518131
申请日:2012-05-30
Applicant: 株式会社メガオプト
CPC classification number: H01S3/06758 , B23K26/0622 , H01S3/0085 , H01S3/10015 , H01S3/1618
Abstract: 本発明は、短パルス化を容易に達成するための構造を備えたレーザ装置に関する。レーザ装置では、外部変調器における変調時間帯と、種光源におけるパルス光の出力時間帯とが位相制御部により調節されることで、変調時間帯と出力時間帯とが重なり合う時間帯のみ出力されるパルス光を作ることができる。
Abstract translation: 本发明涉及一种具有用于容易地实现短脉冲的结构的激光装置。 在该激光装置中,通过在外部调制器的调制时间段,并且在种子光源的脉冲光的输出时间段是由所述相位控制部调节,并在该区调制时间和输出时间区的重叠仅输出的时区 它能够使脉冲光。
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公开(公告)号:JPWO2012161092A1
公开(公告)日:2014-07-31
申请号:JP2013516329
申请日:2012-05-17
Applicant: 株式会社メガオプト
CPC classification number: H01S3/06758 , B23K26/0622 , H01S3/0057 , H01S3/0064 , H01S3/0078 , H01S3/094003 , H01S3/094061 , H01S3/10015 , H01S3/1618 , H01S3/1693 , H01S3/176 , H01S5/06216 , H01S5/06804
Abstract: 本発明は、出力パルス光のパルス幅(FWHM)の繰返し周波数依存性を低減可能な光源制御方法に関する。パルス光源は、MOPA構造を有し、種光源および光ファイバ増幅器を備える。種光源は、直接変調され、パルス光を出力する半導体レーザを含む。種光源の温度および光ファイバ増幅器の励起光パワーを調整することで、光ファイバ増幅器から出力されるパルス光について、所定の繰返し周波数において所定のパルス半値全幅を実現する。
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公开(公告)号:JP5349757B2
公开(公告)日:2013-11-20
申请号:JP2007010934
申请日:2007-01-22
Applicant: 株式会社メガオプト
IPC: H01S3/05 , H01S3/042 , H01S3/0941 , H01S3/108
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solid state laser oscillator of small size, being simple in configuration of the entire device, which is excellent in rising response of laser output with no active temperature control from outside. SOLUTION: In the solid state laser oscillator, a solid state laser medium arranged in a laser resonator is irradiated with excitation beam for laser oscillation, and the laser beam is output from the laser oscillator. A case contains a holding means for holding the solid state laser medium, and a heat insulating means which is arranged between the holding means and the case to suppress heat transfer from the holding means to the case. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
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公开(公告)号:JP5331950B2
公开(公告)日:2013-10-30
申请号:JP2007085182
申请日:2007-03-28
Applicant: 株式会社メガオプト
Inventor: 素貴 角井
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical fiber amplifying module comprising a structure for stably obtaining high gain even when a light of low duty ratio is amplified. SOLUTION: The optical fiber amplifying module 1 comprises YbDFs 41, 42 and 43 arranged from an input connector 11 toward an output collimator 12 as amplifying optical fibers. A band pass filter 50 is arranged between the YbDFs 41 and 42. A control means having a composition only of a light receiving component or a feedback structure functions to give an upper limit to a gain to an input light in the YbDF 41, thereby avoiding such deterioration in performance of an optical component positioned on the upstream side than the YbDF 43 as breakage of the band pass filter (50) and the like. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
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公开(公告)号:JP2013191876A
公开(公告)日:2013-09-26
申请号:JP2013111246
申请日:2013-05-27
Applicant: Megaopto Co Ltd , 株式会社メガオプト
Inventor: TAMAOKI SHINOBU
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pulse modulation method or the like comprising structure for effectively suppressing a nonlinear optical phenomenon increasing according to expansion of pulse width of an optical pulse when amplifying the optical pulse of a predetermined cycle as seed light.SOLUTION: A modulator (51) applies pulse modulation to a laser light source as a seed light source (41) or light outputted from the laser light source. A modulation pattern of modulation voltage (E) outputted from the modulator (51) is adjusted so as to include a plurality of pulse components (P1, P2 and P3) each having signal width shorter than pulse width of an optical pulse as optical pulse generating patterns (P) in a modulation cycle equivalent to a cycle of the optical pulse.
Abstract translation: 要解决的问题:提供一种包括以下结构的脉冲调制方法或类似装置,用于当放大预定周期的光脉冲作为种子光时,有效地抑制根据光脉冲的脉冲宽度的扩展而增加的非线性光学现象。解决方案:A 调制器(51)将激光光源作为种子光源(41)或从激光光源输出的光线施加脉冲调制。 从调制器(51)输出的调制电压(E)的调制方式被调整为包括多个脉冲成分(P1,P2和P3),每个脉冲成分的信号宽度比光脉冲的脉冲宽度短 模式(P)在等于光脉冲周期的调制周期中。
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公开(公告)号:JP2008256953A
公开(公告)日:2008-10-23
申请号:JP2007099032
申请日:2007-04-05
Applicant: Advanced Mask Inspection Technology Kk , Megaopto Co Ltd , アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 , 株式会社メガオプト
Inventor: IMAI SHINICHI , WADA YOSHIO , URATA YOSHIHARU
Abstract: PROBLEM TO BE SOLVED: To attain the substantial beam coupling of a plurality of coherent light sources without being affected by variation in the secular degradation of beam quality for every coherent light source, and to obtain illumination light rays having sufficient light quantity. SOLUTION: The illumination device 200 is provided with: a plurality of coherent light sources 202, 204 each generating coherent light for a plurality of coherent light beams; a plurality of concave mirrors 232, 245 reflecting each coherent light beam with the reflective faces disposed as freely movable; a convex mirror 240 to reflect on one face the plurality of coherent beams reflected from the plurality of concave mirrors 232, 234; and a collimate lens 242 guiding the plurality of coherent beams reflected by the convex mirror 240 to the coaxial direction. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
Abstract translation: 要解决的问题:为了获得多个相干光源的实质的光束耦合而不受每个相干光源的光束质量的长期劣化的变化的影响,并且获得具有足够的光量的照明光线。 解决方案:照明装置200设置有:多个相干光源202,204,每个相干光源202,204为多个相干光束产生相干光; 多个反射镜232,245反射每个相干光束,反射面被设置为可自由移动的; 凸面镜240,用于在一面上反射从多个凹面反射镜232,234反射的多个相干光束; 以及将由凸面镜240反射的多个相干光束引导到同轴方向的准直透镜242。 版权所有(C)2009,JPO&INPIT
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公开(公告)号:JP5951601B2
公开(公告)日:2016-07-13
申请号:JP2013516327
申请日:2012-05-17
Applicant: 株式会社メガオプト
Inventor: 角井 素貴
CPC classification number: H01S3/2308 , B23K26/0608 , H01S3/0057 , H01S3/06758 , H01S3/10015 , H01S3/10023 , B23K26/0622 , H01S3/005 , H01S3/0064 , H01S3/0078 , H01S3/06733 , H01S3/094003 , H01S3/1618 , H01S3/1693 , H01S3/176 , H01S3/2375 , H01S3/2391 , H01S5/06216
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公开(公告)号:JPWO2012165481A1
公开(公告)日:2015-02-23
申请号:JP2013518124
申请日:2012-05-30
Applicant: 株式会社メガオプト
CPC classification number: H01S3/10046 , B23K26/0622 , B23K26/066 , H01S3/0057 , H01S3/0064 , H01S3/0078 , H01S3/06758 , H01S3/09415 , H01S3/10038 , H01S3/1618 , H01S3/1693 , H01S3/176 , H01S5/06216
Abstract: 本発明は、パルス幅が狭く実効的パルスエネルギーが大きいパルス光の発生を可能にする方法に関する。パルス光源は、MOPA構造を有し、単一の半導体レーザと、BPFと、光ファイバ増幅器を備える。単一の半導体レーザは、所定の繰返し周波数で与えられる周期内で、離間した2以上のパルス光を所定のパルス間隔で出力する。BPFは、入力パルス光の波長帯域のうちの短波長側および長波長側の一方を他方より減衰させる。
Abstract translation: 本发明涉及一种使所述脉冲宽度的产生的方法是窄的有效脉冲能量大的脉冲光。 脉冲光源具有MOPA结构包括一个半导体激光器,一个BPF,光纤放大器。 单个半导体激光器,通过在预定的重复频率给出的时间内,并输出两个或以预定的脉冲间隔隔开多个脉冲光。 BPF是在短波长侧中的一个和长波长侧与其它的输入脉冲光的波长带的衰减。
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