自由滚珠轴承、轴承装置、支承台、搬运设备、转台

    公开(公告)号:CN102395518A

    公开(公告)日:2012-03-28

    申请号:CN201080016292.8

    申请日:2010-04-14

    Inventor: 井口薰

    CPC classification number: B65G39/025 F16C29/046

    Abstract: 一种自由滚珠轴承、轴承装置、支承台、搬运设备及转台。本发明的自由滚珠轴承具备:具有球支承部(23)的主体、配设于球支承部的多个支承球(41)、由支承球旋转自如地支承的主球(42)、确保规定的内侧空间并包围球支承部的罩部(32、33)、在按压支承球的按压位置与释放支承球的释放位置之间可移动地设置的支承球扣环(50)、与内侧空间连通的气孔(25a),支承球扣环具备配置于球支承部的外周面与罩部的内周面之间的圆筒部(52),在圆筒部的内周面与球支承部的外周面之间、及圆筒部的外周面与罩部的内周面之间,分别形成可流通气体的间隙(12a、12b),两间隙的大小形成为在经由气孔吸引内侧空间内的气体时,对支承球扣环施加向按压位置侧的位移力的尺寸。

    基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法

    公开(公告)号:CN100479129C

    公开(公告)日:2009-04-15

    申请号:CN200580009849.4

    申请日:2005-04-04

    CPC classification number: H01L21/68728 F16C29/046 H01L21/6875 H01L21/68778

    Abstract: 一种基板用定位工作台、基板用定位设备及基板的定位方法。该基板用定位工作台具有:载置基板的载置台;自由滚珠轴承,其设置在所述载置台外周部的多处位置,通过对从所述载置台的上方下降而载置于所述载置台上的基板的外周部进行引导,使所述基板定位在所述载置台上设定的基板定位区域内。所述自由滚珠轴承由滚珠支承体和自由旋转地被该滚珠支承体支承的滚珠构成,而且,所述滚珠的中心配置在所述载置台支承所述基板的支承面的延长上,或者,设置在所述载置台上载置基板的板厚度尺寸的范围内比所述支承面更上方的位置。

    定位台用支撑单元以及其安装结构

    公开(公告)号:CN1329767C

    公开(公告)日:2007-08-01

    申请号:CN200410073761.6

    申请日:2004-09-09

    Inventor: 井口薰

    Abstract: 本发明提供一种定位台用支撑单元,包括:保持装置(8),具有上下贯通的许多滚珠存放孔(8a),沿着圆周方向并隔开一定间隔设置;滚珠(7),分别被存放在上述保持装置(8)的各个滚珠存放孔(8a)内;下板(6)以及上板(11),被配置在上述保持装置(8)的上下,分别与上述许多滚珠(7)上下接触;天板(12),与所述上板(11)设置为一体,用于放置承载体;弹簧(10),用于在无负载时使所述天板(12)恢复到中心位置;台板(2),用于放置所述下板(6);以及外壳(5),被固定在该台板(2)上,用于围住所述天板(12)以外的部分。

    自由滚珠轴承、支承台、搬运设备、转台

    公开(公告)号:CN102421686A

    公开(公告)日:2012-04-18

    申请号:CN201080020880.9

    申请日:2010-05-13

    Inventor: 井口薰

    Abstract: 本发明提供一种自由滚珠轴承、支承台、搬运设备以及转台。该自由滚珠轴承(110)具有配置在壳体(30)内部的支承球扣环(50),支承球扣环(50)为了限制或抑制配置在半球状凹面(21)的支承球(41、…41)的滚动或者解除该限制或抑制,能够从限制或抑制支承球(41、…41)的滚动的位置(按压位置)移动到解除对支承球(41、…41)的滚动的限制或抑制的位置(待机位置),而且能够从待机位置移动到按压位置,并且具有根据其移动可在半球状凹面(21)与主球(42)之间(配置有支承球(41、…41)的空间)出入的圆筒形的按压片(55),在支承球扣环(50)位于按压位置时,按压片(55)限制或抑制支承球(41、…41)的滚动;在支承球扣环(50)位于待机位置时,解除对支承球(41、…41)的滚动的限制或抑制。

    滚珠传送单元及滚珠台

    公开(公告)号:CN1845863B

    公开(公告)日:2011-03-09

    申请号:CN200480025088.7

    申请日:2004-07-01

    CPC classification number: H01L21/67706 B65G39/025 F16C29/046 F16C2326/58

    Abstract: 本发明的滚珠传送单元(12)具有:主体(13),形成有以半球状凹陷的座面(13b);多个小滚珠(14),分别转动自如地与该主体(13)的座面(13b)抵接;1个大滚珠(15),转动自如地与这些多个小滚珠(14)抵接;盖罩(16),安装在主体(13)上,保持大滚珠(15),并且将小滚珠(14)保持在大滚珠(15)与主体(13)的座面(13b)之间;至少主体(13)及大滚珠(15)由PAI、PBI、PCTFE、PEEK、PEI、PI、PPS、三聚氰胺树脂、芳香族聚酰胺树脂、氧化铝、氧化锆、氮化硅中的任一种形成。根据本发明,不会产生会给被输送物的表面带来损伤、或对被输送物本身造成缺陷、或者在后工序的清洗作业中也不能除去的那样的异物。

    自由滚珠轴承、支承台、搬运设备、转台

    公开(公告)号:CN102421686B

    公开(公告)日:2014-05-28

    申请号:CN201080020880.9

    申请日:2010-05-13

    Inventor: 井口薰

    Abstract: 本发明提供一种自由滚珠轴承、支承台、搬运设备以及转台。该自由滚珠轴承(110)具有配置在壳体(30)内部的支承球扣环(50),支承球扣环(50)为了限制或抑制配置在半球状凹面(21)的支承球(41、…41)的滚动或者解除该限制或抑制,能够从限制或抑制支承球(41、…41)的滚动的位置(按压位置)移动到解除对支承球(41、…41)的滚动的限制或抑制的位置(待机位置),而且能够从待机位置移动到按压位置,并且具有根据其移动可在半球状凹面(21)与主球(42)之间(配置有支承球(41、…41)的空间)出入的圆筒形的按压片(55),在支承球扣环(50)位于按压位置时,按压片(55)限制或抑制支承球(41、…41)的滚动;在支承球扣环(50)位于待机位置时,解除对支承球(41、…41)的滚动的限制或抑制。

    滚珠轴承
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100417823C

    公开(公告)日:2008-09-10

    申请号:CN200480025943.4

    申请日:2004-09-10

    Inventor: 井口薰

    CPC classification number: F16C29/002 F16C29/046 F16C33/3713

    Abstract: 本发明涉及一种滚珠轴承,其具有:滚珠架,其具有半球状凹面;多个小球,其自由地排列在所述半球状凹面上;一个大球,其在全方向可旋转地保持在所述多个小球上;壳体,其具有使所述大球的上部突出来的开口,收纳所述滚珠架、所述小球、及所述大球,其特征在于,所述小球具有,与所述大球接触的大球支承用主小球、和比该大球支承用主小球小,未与所述大球接触的辅助小球。

    自由滚珠轴承、轴承装置、支承台、搬运设备、转台

    公开(公告)号:CN102395518B

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN201080016292.8

    申请日:2010-04-14

    Inventor: 井口薰

    CPC classification number: B65G39/025 F16C29/046

    Abstract: 一种自由滚珠轴承、轴承装置、支承台、搬运设备及转台。本发明的自由滚珠轴承具备:具有球支承部(23)的主体、配设于球支承部的多个支承球(41)、由支承球旋转自如地支承的主球(42)、确保规定的内侧空间并包围球支承部的罩部(32、33)、在按压支承球的按压位置与释放支承球的释放位置之间可移动地设置的支承球扣环(50)、与内侧空间连通的气孔(25a),支承球扣环具备配置于球支承部的外周面与罩部的内周面之间的圆筒部(52),在圆筒部的内周面与球支承部的外周面之间、及圆筒部的外周面与罩部的内周面之间,分别形成可流通气体的间隙(12a、12b),两间隙的大小形成为在经由气孔吸引内侧空间内的气体时,对支承球扣环施加向按压位置侧的位移力的尺寸。

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