公开(公告)号：CN102576634A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201080037145.9

申请日：2010-02-23

Applicant: 株式会社生活技术研究所

Inventor： 铃木良一 ,  石黑义久 ,  羽场方芳

IPC: H01J1/304 ,  H01J35/06

CPC classification number: H01J35/065 ,  H01J2201/30469 ,  H01J2235/068

Abstract: 本发明提供一种电子束密度高的电子发射体和装入了该电子发射体的X射线放射装置。本发明的电子发射体的特征在于，基板的表面被形成为凹面，碳膜通过面状地展开多个由碳构成的突起而构成。碳结晶的生长最初是隆起部(22)逐渐变大，接着从隆起部(22)的前端生长出针状部(23)。该针状部(23)由石墨烯薄片斜着卷绕为多层且内部成为中空。像这样形成的碳突起(21)的轴与凹面(11)的切线大体正交，因此多个碳突起(21)的轴在凹面(11)的焦点(F)相交。

公开(公告)号：CN101528977A

公开(公告)日：2009-09-09

申请号：CN200680055565.3

申请日：2006-08-08

Applicant: 株式会社生活技术研究所

Inventor： 江南 ,  王宏兴 ,  平木昭夫 ,  羽场方纪

IPC: C23C16/503

CPC classification number: C23C16/545 ,  C23C16/26 ,  C23C16/503

Abstract: 一种成膜装置，能够有效地在基板等表面形成碳膜、提高带碳膜基板的批量生产性。本发明的成膜装置，其是真空槽内配置电极、往真空槽内部导入成膜气体，同时对电极外加电压，将该成膜气体等离子化，在基板上成膜，这种成膜装置的构成是包括：作为上述电极的筒状电极，其具有基板供给口和排出口；基板供给排出装置，其通过上述筒状电极的供给口向该筒状电极内部供给多个基板、同时将其从该筒状电极的排出口排出。