-
公开(公告)号：CN101528977A
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200680055565.3
申请日：2006-08-08
Applicant: 株式会社生活技术研究所
IPC: C23C16/503
CPC classification number: C23C16/545 , C23C16/26 , C23C16/503
Abstract: 一种成膜装置，能够有效地在基板等表面形成碳膜、提高带碳膜基板的批量生产性。本发明的成膜装置，其是真空槽内配置电极、往真空槽内部导入成膜气体，同时对电极外加电压，将该成膜气体等离子化，在基板上成膜，这种成膜装置的构成是包括：作为上述电极的筒状电极，其具有基板供给口和排出口；基板供给排出装置，其通过上述筒状电极的供给口向该筒状电极内部供给多个基板、同时将其从该筒状电极的排出口排出。
Search Results
1
records
(took 0.032 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
