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公开(公告)号:KR100333111B1
公开(公告)日:2002-11-07
申请号:KR1019940703026
申请日:1993-03-01
Applicant: 니신 일렉트릭 컴패니 리미티드 , 글래비쉬,힐튼에프.
Inventor: 글래비쉬,힐튼에프.
IPC: H01J3/32
CPC classification number: H01J37/147 , G21K1/093 , H01F3/02 , H01F7/202 , H01J3/32 , H01J29/76 , H01J37/1475 , H01J37/3007 , H01J37/3171 , H01J2237/31701
Abstract: 20 Hz의기본주파수및 실질적으로이 기본주파수보다높은조파에서동작하는고 퍼비언스이온빔용자기편향장치는 0.2∼1 mm 범위의두께를갖는적층판(72)으로형성되는자기구조체를구비한다. 20 Hz 이상의주파수에서동작하는공진여자회로를구비하는유사한적층구조체(71, 75)를갖는보상기는사전평향된빔의주파수와위상동기의관계에있다. 자기간극에서강자장을생성하기위한보다광범위한적용에대한다른특징들이본 발명에나타나있다.
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2.원자및분자이온으로표면을조사하는데유용한진동자장을동작간극에서생성하기위한시스템및방법 失效
Title translation: 用于在原子和分子离子探测表面的有效工作间隙中生成主动振动孔的系统和方法公开(公告)号:KR1019950701130A
公开(公告)日:1995-02-20
申请号:KR1019940703026
申请日:1993-03-01
Applicant: 니신 일렉트릭 컴패니 리미티드 , 글래비쉬,힐튼에프.
Inventor: 글래비쉬,힐튼에프.
IPC: H01J3/32
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