公开(公告)号：WO2011096620A1

公开(公告)日：2011-08-11

申请号：PCT/KR2010/001998

申请日：2010-04-01

Applicant: 중앙대학교 산학협력단 ,  서울대학교산학협력단 ,  최영완 ,  이정우 ,  권영빈 ,  박재화 ,  박호현

Inventor： 최영완 ,  이정우 ,  권영빈 ,  박재화 ,  박호현

IPC: G08B25/10 ,  H04W4/02

CPC classification number: H04W4/90 ,  H04W4/02 ,  H04W76/50 ,  Y02D70/10

Abstract: 지그비 모듈(ZigBee module)을 이용하여 저전력으로 장시간 긴급구조 신호를 방송할 수 있으며 구조 요청자가 항상 휴대할 수 있어서 긴급상황 발생시 간단한 조작으로 신호를 발생시킴으로써 구조 요청자의 위치를 정확하고 신속하게 검출할 수 있는 긴급구조 시스템이 개시된다. 긴급구조 시스템은, 상기 구조 요청자가 구비하며 긴급구조 신호를 발생시키는 지그비 모듈, 상기 긴급구조 신호를 수신하여 중앙 통제실로 상기 긴급구조 신호 정보를 통상적인 통신망을 이용하여 전달하는 단말기, 상기 단말기에서 긴급구조 신호 정보가 전달되면 상기 해당 단말기의 위치에서 광역위치를 검출하고, 상기 검출된 광역위치로 구조대를 파견하는 중앙 통제실 및 상기 검출된 광역위치로 이동하여 상기 광역위치에서 상기 지그비 모듈에서 발생하는 상기 긴급구조 신호를 직접 수신하여 상기 지그비 모듈의 위치를 검출하는 구조대를 포함하여 구성될 수 있다.

Abstract translation: 公开了一种能够使用ZigBee模块在低功耗下长时间广播紧急信号的应急救援系统，为救援请求者提供便携性，并在紧急情况下以简单的操作生成信号，以准确，快速地 检测救援请求者的位置。 紧急救援系统可以包括：由救援请求者保持的用于产生紧急信号的ZigBee模块; 用于接收紧急信号并通过通用通信网络将紧急信号的信息发送到中央控制室的终端; 中央控制室，用于当从终端接收到紧急信号的信息时，从对应终端的位置检测广泛的位置，并将救援队发送到检测到的广泛位置; 以及用于移动到检测到的广泛位置的救援队，直接接收从ZigBee模块生成的紧急信号，以及检测ZigBee模块的位置。

公开(公告)号：KR1020150107117A

公开(公告)日：2015-09-23

申请号：KR1020140029538

申请日：2014-03-13

Applicant: 박호현 ,  이성만 ,  육근목 ,  김웅열

Inventor： 박호현 ,  이성만 ,  육근목 ,  김웅열

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J15/06

CPC classification number: H01L21/67742 ,  B25J15/0616

Abstract: 본 발명은 카세트에 적치되어 있는 다수장의 웨이퍼를 다른 위치로 이재함에 있어서 웨이퍼의 공정면에 대해서는 이재 과정에서 접촉 현상이 발생하지 않도록 제어하면서 웨이퍼를 파레트로 정확하게 이재할 수 있는 웨이퍼 이재장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 웨이퍼 이재장치는, 긴 막대 형상을 가지는 설치 지그; 상기 설치 지그의 일단에 설치되며, 카세트에 좁은 간격으로 적재되어 있는 다수장의 웨이퍼 사이로 진입하여 다수장의 웨이퍼 중 하나의 하면을 흡착하는 박형 흡착 모듈; 상기 카세트에 인접하게 설치되며, 상기 박형 흡착 모듈에 의하여 흡착된 웨이퍼의 하면을 지지하면서 상기 웨이퍼를 중간 탑재하는 중간 탑재부; 상기 설치 지그의 타단에 설치되며, 상기 중간 탑재부에 탑재된 웨이퍼의 상면을 비접촉식으로 흡착하는 비접촉식 흡착 모듈; 상기 설치 지그의 중앙 부분에 결합되어 설치되며, 상기 박형 흡착 모듈과 비접촉식 흡착 모듈을 상기 카세트 위치, 중간 탑재부 위치 및 파레트 위치로 이동시키는 이동 수단을 포함한다.

Abstract translation: 摆动转移装置技术领域本发明涉及一种在转印过程中将晶片精确地传送到托盘同时防止晶片的经处理表面上的接触现象的摇摆转印装置。 根据本发明，晶片传送装置包括：具有长棒状的安装夹具; 用于抽吸晶片的一个下表面的薄抽吸模块，其中薄的抽吸模块安装在安装夹具的一端中，插入在密集堆叠在盒上的晶片之间; 中间安装单元，用于将晶片安装在中间安装单元的中间，同时支撑由薄抽吸模块抽吸的晶片的下表面，其中中间安装单元邻近盒; 非接触式抽吸模块，其通过非接触方式吸附安装在中间安装单元上的晶片的上表面，其中非接触式抽吸模块安装在安装夹具的另一端; 以及移动单元，用于将薄抽吸模块和非接触抽吸模块传送到盒，中间安装单元和托盘的位置。

公开(公告)号：KR3001735930000S

公开(公告)日：1996-02-07

申请号：KR3019940017013

申请日：1994-08-01

Applicant: 김남교 ,  박호현

Designer： 김남교

公开(公告)号：KR1020160123774A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：KR1020150054366

申请日：2015-04-17

Applicant: 박호현 ,  이성만 ,  육근목 ,  김웅열

Inventor： 박호현 ,  이성만 ,  육근목 ,  김웅열

IPC: H01L21/02

Abstract: 본발명은반도체제조공정등 진공챔버를이용하여대기압보다낮은압력환경에서이루어지는공정중 진공챔버내의가스배출시에불필요한리크가발생하는것을원천적으로방지할수 있으며, 배기가스흐름에대한미세제어가가능한자동압력조절장치에관한것으로서, 본발명에따른자동압력조절장치는, 공정챔버의배기가스라인상에설치되며, 배기가스유입공과배기가스유출공이이격되어형성되는밸브하우징; 상기밸브하우징내부공간중 상기배기가스유입공과배기가스유출공사이에상기밸브하우징의내부공간을가로질러설치되며, 중앙에상기배기가스통과공이형성되는밸브플레이트; 상기밸브하우징내에서상기배기가스통과공을관통하여왕복구동하도록설치되어, 배기가스유출공측에서배기가스유입구측으로왕복이동하면서상기배기가스통과공의개도를조절하는밸브; 상기밸브의상단에상기배기가스통과공보다큰 직경을가지도록상기밸브외측으로돌출되어형성되며, 상기밸브가상기배기가스통과공을차단한상태에서상기밸브플레이트의상면에밀착되는리크차단부; 및상기밸브의일측에결합되어설치되며, 외부에서공급되는기체압력에따라상기밸브를상기배기가스통과공을관통하는방향으로구동시키는밸브구동부;를포함한다.

公开(公告)号：KR200173083Y1

公开(公告)日：2000-03-15

申请号：KR2019990020264

申请日：1999-09-20

Applicant: 박호현

Inventor： 박호현

IPC: H02G3/08

Abstract: 본 고안은 견고하고, 콤팩트하며, 콘크리트 타설작업시 이물질의 침입을 완전히 방지할 수 있는 배전용 박스를 제공한다.
그 배전용 박스는 전,후방플랜지(12a;12b) 및 연장플랜지(12c)가 굽힘형성된 상부면(12)과, 전,후방플랜지(14a;14b)가 굽힘형성된 제 1측면(14)과, 전,후방플랜지(16a;16b)가 굽힘형성된 하부면(16)과, 전,후방플랜지(18a;18b) 및 상기 상부면(12)의 연장플랜지(12c)가 안착되어 리벳(36)에 의해 고정되도록 절곡형성된 고정플랜지(18c)를 갖는 제 2측면(18)을 일체로 구비한 메인플레이트(10); 상기 메인플레이트(10)의 각각의 면들(12;14;16;18)의 전방플랜지(12a;14a;16a;18a)에 의해 이루어진 전방 개구부를 개폐하기 위한 커버(24); 및 상기 메인플레이트(10)의 각각의 면들(12;14;16;18)의 후방플랜지(12b;14b;16b;18b)의 중앙부가 안착되어 리벳(36)에 의해 고정되도록 각각의 측부에 절곡형성된 고정플랜지(30a;30b;30c;30d)와, 각각의 코너에 형성되며 상기 각각의 후방플랜지(12b;14b;16b;18b)중 이웃하는 2개의 후방플랜지의 양측부가 동시에 접촉고정되는 고정편(34)을 일체로 구비한 후방플레이트(30)로 구성된다.

公开(公告)号：KR101545662B1

公开(公告)日：2015-08-20

申请号：KR1020140041290

申请日：2014-04-07

Applicant: 박호현 ,  이성만 ,  육근목 ,  김웅열

Inventor： 박호현 ,  이성만 ,  육근목 ,  김웅열

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67389 ,  F16K31/126 ,  G05D16/00 ,  H01L21/6719

Abstract: 본 발명은 반도체 제조 공정 등 진공 챔버를 이용하여 대기압보다 낮은 압력 환경에서 이루어지는 공정 중 진공 챔버 내의 가스 배출시에 챔버 내부 진공도를 일정하게 유지하면서 가스를 배출하는 자동 압력 조절 장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 자동 압력 조절 장치는, 공정 챔버의 배기 가스 라인 상에 설치되며, 배기 가스 유입공과 배기 가스 유출공이 이격되어 형성되는 밸브 하우징; 상기 밸브 하우징 내부 공간 중 상기 배기 가스 유입공과 배기 가스 유출공 사이에 상기 밸브 하우징의 내부 공간을 가로질러 설치되며, 중앙에 상기 배기 가스 유출공에서 상기 배기 가스 유입공 방향으로 테이퍼진 단면을 가지는 배기 가스 통과공이 형성되는 밸브 플레이트; 상광하협의 원통 구조를 가지며, 배기 가스 유출공 측에서 배기 가스 유입구 측으로 왕복 이동하면서 상기 배기 가스 통과공의 개도를 조절하는 밸브; 상기 밸브의 후측에 설치되며, 상기 밸브의 왕복 이동 방향을 안내하는 이동 가이드부; 상기 밸브 측면과 상기 밸브 하우징의 내면을 차단하도록 설치되며, 상기 밸브의 왕복 이동에 따라 수축 팽창하는 벨로우즈부; 상기 하우징 내부 공간 중 상기 벨로우즈부에 의하여 차단되는 내측 공간에 밸브 구동 기체를 공급하여 상기 밸브를 구동시키는 구동 기체 공급부;를 포함한다 .

Abstract translation: 本发明涉及一种自动压力控制器，其在像半导体制造工艺那样使用真空室在比在大气压下更低的压力环境下进行的过程中，保持真空室的内部真空度而排出气体。 根据本发明的自动压力控制器包括：阀壳体，其安装在处理室的废气管线上，并且分别具有废气流入孔和废气流出孔; 阀板，其安装成在阀壳体的内部空间中与排气流入孔和废气流出孔之间的阀壳体的内部空间交叉，并且具有沿着该阀壳体的截面为锥形的排气通孔 废气流入孔方向从中心的排出气体流出孔; 具有宽顶部窄底部圆柱形结构的阀，并且调节从废气流出孔向废气流入孔往复运动的排气通过孔的开度; 运动引导部，其安装在所述阀的后部，并引导所述阀的往复运动方向; 一个波纹管部件，其被安装成阻挡阀的一侧和阀壳体的内平面，并且根据阀的往复运动而收缩和膨胀; 以及驱动气体供给部，其通过将阀驱动气体供给到由壳体的内部空间中的波纹管部封闭的内部空间来驱动阀。

公开(公告)号：KR101271794B1

公开(公告)日：2013-06-07

申请号：KR1020110127580

申请日：2011-12-01

Applicant: 박호현 ,  이성만 ,  김웅열

Inventor： 박호현 ,  이성만 ,  김웅열

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

CPC classification number: H01L21/67201 ,  F16K51/02

Abstract: PURPOSE: A load lock chamber is provided to prevent a vacuum angle valve and a vacuum pipe from being protruded from a body, and to reduce the size of a footprint. CONSTITUTION: A body(110) has vacuum chambers. Valve mounting holes are formed on the upper and the lower part of the body. A pipe mounting hole connects the valve mounting holes. Vacuum angle valves(120a,120b) open and close the fluid paths of the valve mounting holes. A vacuum pipe(130) provides vacuum pressure to a vacuum chamber.

Abstract translation: 目的：提供一个负载锁定室，以防止真空角阀和真空管从主体突出，并减小占地面积的大小。 构成：身体（110）具有真空室。 阀体安装孔形成在主体的上部和下部。 管安装孔连接阀安装孔。 真空角阀（120a，120b）打开和关闭阀安装孔的流体路径。 真空管（130）向真空室提供真空压力。

公开(公告)号：KR2019980067870U

公开(公告)日：1998-12-05

申请号：KR2019970012489

申请日：1997-05-26

Applicant: 박호현

Inventor： 박호현

IPC: A24D1/10

Abstract: 본 고안은 담배를 피우다 담배꽁초의 불을 비벼 끄지 않더라도 자동적으로 끄지도록 하기 위한 담배불 자동소화구조에 관한 것이다.
종래에는 가정이나 사무실 등의 실내나 도로 또는 자동차내에서 담배를 피우다 끄고자 할 때는 재떨이나 적당한 용기에 반드시 비벼끄야 되는 불편이 따르게 됨과 아울러 불이 끄진 것을 확인하지 않고 버릴 경우에는 담배불씨가 되살아 화재가 발생하게 되었으며, 특히 등산시에는 실수나 무심히 버린 담배불로 인하여 대형 산불이 발생하게 되었다.
이로 인하여 인명 및 많은 재산상의 손실을 입게 되었을 뿐만 아니라, 또한 불이 붙은 담배를 손가락에 끼운 상태에서 대화나 전화통과에 열중하거나 담배를 입에 물고 양손으로 무얼 만드는 작업에 열중할 경우에는 담배불이 필터에 까지 옮겨 붙게 됨으로 인하여 손자락이나 입을 데여 화상을 입게 되는 문제가 따르게 되었다. 본 고안은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 연초(1)와 필터(2)를 권연지(3)로 봉형상으로 말아서 된 것에 있어서;
연초(1)의 권연지(3)의 일부분에다 은박지(4)를 권착하여 상기의 은박지(4)에 의하여 담배불이 자동으로 소화되게 함으로써 담배불을 비벼 끄야 되는 수고로움과 담배불로 인한 화재의 발생을 방지할 수 있도록 한 담배불 자동소화구조를 제공할 수 있도록 함에 있음.

公开(公告)号：KR101577339B1

公开(公告)日：2015-12-14

申请号：KR1020140029538

申请日：2014-03-13

Applicant: 박호현 ,  이성만 ,  육근목 ,  김웅열

Inventor： 박호현 ,  이성만 ,  육근목 ,  김웅열

IPC: H01L21/677 ,  B65G49/07 ,  B25J15/06

Abstract: 본발명은카세트에적치되어있는다수장의웨이퍼를다른위치로이재함에있어서웨이퍼의공정면에대해서는이재과정에서접촉현상이발생하지않도록제어하면서웨이퍼를파레트로정확하게이재할수 있는웨이퍼이재장치에관한것으로서, 본발명에따른웨이퍼이재장치는, 긴막대형상을가지는설치지그; 상기설치지그의일단에설치되며, 카세트에좁은간격으로적재되어있는다수장의웨이퍼사이로진입하여다수장의웨이퍼중 하나의하면을흡착하는박형흡착모듈; 상기카세트에인접하게설치되며, 상기박형흡착모듈에의하여흡착된웨이퍼의하면을지지하면서상기웨이퍼를중간탑재하는중간탑재부; 상기설치지그의타단에설치되며, 상기중간탑재부에탑재된웨이퍼의상면을비접촉식으로흡착하는비접촉식흡착모듈; 상기설치지그의중앙부분에결합되어설치되며, 상기박형흡착모듈과비접촉식흡착모듈을상기카세트위치, 중간탑재부위치및 파레트위치로이동시키는이동수단을포함한다.

公开(公告)号：KR101347602B1

公开(公告)日：2014-01-23

申请号：KR1020130006427

申请日：2013-01-21

Applicant: 박호현 ,  이성만 ,  김웅열 ,  육근목

Inventor： 박호현 ,  이성만 ,  김웅열

IPC: H01L21/02

CPC classification number: H01L21/6719 ,  F16L51/02 ,  G01K7/00 ,  G05D7/00

Abstract: The present invention relates to an automatic pressure controller of a chamber for semiconductor manufacturing process. The automatic pressure controller comprises; a gas pipe for discharging processed gases by connecting a pump for discharging gases from a process chamber inside a casing; a fluid controller, having a bellows fluid block unit moving on a cone shaped inclined surface formed inside the gas pipe line, and in which the fluid block unit is operated by an operating motor; an oxygen detecting sensor for detecting oxygen density among processed gases in a bypass gas pipe line equipped on one side of the gas pipe line; and an automatic pressure controller for semiconductor process capable of controlling the pressure inside the press chamber. By using the present invention, the size of the device can be reduced, and operating failure caused by powder, moisture, or corrosiveness gases included in the gases can be prevented. Also, quick measurement is available depending on changes in control factors such as oxygen density in the process chamber. The quality of the semiconductor is improved and the possibility of creating defective products can be reduced.

Abstract translation: 本发明涉及用于半导体制造工艺的室的自动压力控制器。 自动压力控制器包括： 用于通过连接用于从壳体内的处理室排放气体的泵来排出处理气体的气体管道; 流体控制器，其具有波纹管流体块单元，其在形成在气体管线内部的锥形倾斜表面上移动，并且其中流体块单元由操作马达操作; 氧气检测传感器，用于检测配置在气体管线一侧的旁通气体管线中的处理气体中的氧浓度; 以及能够控制压力室内的压力的用于半导体工艺的自动压力控制器。 通过使用本发明，可以降低装置的尺寸，并且可以防止气体中包含的粉末，湿气或腐蚀性气体引起的操作故障。 此外，根据处理室中的氧浓度等控制因素的变化，可以快速测量。 改善了半导体的质量，并且可以减少产生缺陷产品的可能性。