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公开(公告)号：KR100281723B1
公开(公告)日：2001-10-22
申请号：KR1019960018732
申请日：1996-05-30
Applicant: 아이피이씨-플래너 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 본 발명은 연마량을 정밀도 좋게, 또한 용이하게 제어할 수 있고 종점검출이 용이한 연마방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 연마액을 이용하여 피연마체를 CMP에 의해 연마하는 방법이며, 미리 연마시에 있어서의 피연마체의 피연마면의 온도를 측정한 정보를 기초로 하여 연마시에 있어서의 피연마면의 온도의 변화점을 검출하고 변화점의 정보를 기초로 하여 연마의 종점을 검출하는 방법 및 그 장치 및 연마액을 이용하여 피연마체를 CMP에 의해 연마하는 방법이며, 피연마체 및 참조용 피연마체를 연동시켜서 공통의 연마체에 의해 동시에 연마하고 참조용 피연마체의 연마량을 감시하며, 그 연마량을 기초로 하여 피연마체의 연마량을 구하는 것을 특징으로 한다.
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公开(公告)号：KR1019960040559A
公开(公告)日：1996-12-17
申请号：KR1019960018732
申请日：1996-05-30
Applicant: 아이피이씨-플래너 , 도쿄엘렉트론가부시키가이샤
Abstract: 본 발명은 연마량을 정밀도 좋게, 또한 용이하게 제어할 수 있고 종점검출이 용이한 연마방법 및 그 장치에 관한 것으로서, 연마액을 이용하여 피연마체를 CMP에 의해 연마하는 방법이며, 미리 연마시에 있어서의 피연마체의 피연마면의 온도를 측정한 정보를 기초로 하여 연마시에 있어서의 피연마면의 온도의 변화점을 검출하고 변화점의 정보를 기초로 하여 연마의 종점을 검출하는 방법 및 그 장치 및 연마액을 이용하여 피연마체를 CMP에 의해 연마하는 방법이며, 피연마체 및 참조용 피연마체를 연동시켜서 공통의 연마체에 의해 동시에 연마하고 참조용 피연마체의 연마량을 감시하며, 그 연마량을 기초로 하여 피연마체의 연마량을 구하는 것을 특징으로 한다.
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