경도가변 캐리어 필름
    5.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2019124574A1

    公开(公告)日:2019-06-27

    申请号:PCT/KR2017/014984

    申请日:2017-12-19

    CPC classification number: H01L21/18 H01L21/768 H01L27/15

    Abstract: 본 발명은 다층의 점착층으로 구성된 캐리어 필름의 경도를 조절함으로써 캐리어 필름에 소자가 압입되는 압입깊이를 제어하여 소자를 기판으로 이송시키는 경도가변 캐리어 필름에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 베이스 필름, 제 1 점착층, 제 2 점착층을 포함한다. 제 1 점착층은 상기 베이스 필름의 일면에 형성되며, 전사하고자 하는 소자가 부착 및 압입된다. 제 2 점착층은 상기 베이스 필름과 상기 제 1 점착층 사이에 형성되며, 경도가 변화하여 상기 소자의 압입 여부가 제어된다. 상기 소자와 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층 사이에 형성되는 점착력의 크기는 상기 소자가 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층에 압입되는 압입깊이에 비례하고, 상기 제 2 점착층이 제 1 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층까지 압입되고, 상기 제 2 점착층이 상기 제 1 경도보다 약한 제 2 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층을 관통하여 상기 제 2 점착층까지 압입된다.

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