경도가변 캐리어 필름
    3.
    发明申请

    公开(公告)号:WO2019124574A1

    公开(公告)日:2019-06-27

    申请号:PCT/KR2017/014984

    申请日:2017-12-19

    CPC classification number: H01L21/18 H01L21/768 H01L27/15

    Abstract: 본 발명은 다층의 점착층으로 구성된 캐리어 필름의 경도를 조절함으로써 캐리어 필름에 소자가 압입되는 압입깊이를 제어하여 소자를 기판으로 이송시키는 경도가변 캐리어 필름에 관한 것이다. 이를 위해 본 발명은 베이스 필름, 제 1 점착층, 제 2 점착층을 포함한다. 제 1 점착층은 상기 베이스 필름의 일면에 형성되며, 전사하고자 하는 소자가 부착 및 압입된다. 제 2 점착층은 상기 베이스 필름과 상기 제 1 점착층 사이에 형성되며, 경도가 변화하여 상기 소자의 압입 여부가 제어된다. 상기 소자와 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층 사이에 형성되는 점착력의 크기는 상기 소자가 상기 제 1 점착층 또는 상기 제 2 점착층에 압입되는 압입깊이에 비례하고, 상기 제 2 점착층이 제 1 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층까지 압입되고, 상기 제 2 점착층이 상기 제 1 경도보다 약한 제 2 경도를 가질 경우 상기 소자는 상기 제 1 점착층을 관통하여 상기 제 2 점착층까지 압입된다.

    KR20210025140A - Apparatus for transferring micro device

    公开(公告)号:KR20210025140A

    公开(公告)日:2021-03-09

    申请号:KR1020190104167A

    申请日:2019-08-26

    CPC classification number: H01L21/67144 H01L21/67098 H01L21/67259

    Abstract: 본 발명은 타겟기판에 마이크로 소자가 안정적이고 균일하게 전사되도록 하여 공정의 수율을 개선할 수 있는 마이크로 소자 전사 장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 타겟기판에 마이크로 소자를 부착하는 마이크로 소자 전사 장치로서, 상기 타겟기판이 접촉 지지되는 제1 열접촉면이 형성된 제1 히팅블록을 구비하는 제1 히터유닛; 상기 마이크로 소자를 포함한 캐리어필름이 접촉 지지되는 제2 열접촉면이 형성된 제2 히팅블록을 구비하는 제2 히터유닛; 및 상기 제1 히터유닛과 연결되며, 상기 제1 히팅블록 및 상기 제2 히팅블록이 일직선 상에서 서로 마주하여 대향하도록 상기 제1 히터유닛의 위치를 정렬시키기 위한 제1 이동플랫폼;을 포함하는 특징을 개시한다.

    슬롯이 있는 메타구조체 제조방법

    公开(公告)号:WO2020138816A2

    公开(公告)日:2020-07-02

    申请号:PCT/KR2019/017940

    申请日:2019-12-18

    Abstract: 본 발명의 일실시예는 정밀한 슬롯 제작이 가능한 슬롯이 있는 메타구조체 제조방법을 제공한다. 여기서, 슬롯이 있는 메타구조체 제조방법은 신축성의 베이스기판의 상면에 제1임계변형률을 가지는 판상구조층, 그리고 제1임계변형률보다 작은 제2임계변형률을 가지는 취성층을 순차 마련하고, 제1임계변형률보다는 작고 제2임계변형률보다는 큰 변형률이 발생하도록 베이스기판에 인장력을 가하여, 취성층 및 판상구조층에 균열이 발생하도록 하고, 균열 속 베이스기판의 상부를 에칭하여 베이스기판의 상부에 함몰된 형상의 슬롯을 생성하고, 취성층의 상면에 점착필름을 부착하고, 점착필름을 이동시켜 베이스기판에서 판상구조층을 박리시키고, 슬롯이 오픈되도록 베이스기판의 상면에 도전층을 마련한다.

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