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公开(公告)号:WO2009125945A2
公开(公告)日:2009-10-15
申请号:PCT/KR2009/001728
申请日:2009-04-03
IPC: G03F7/42
Abstract: 본 발명은 포토레지스트용 스트리퍼 조성물에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 포토레지스트 박리 능력이 우수하여 비교적 소량으로도 많은 양의 포토레지스트를 박리할 수 있고, 고온 공정 조건에도 적용 가능하며, 조성물 내 다른 성분들과 반응하지 않고, 불필요한 부산물을 발생시키지 않는 포토레지스트 스트리퍼 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트 박리방법에 관한 것이다.
Abstract translation: 本发明涉及一种用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物。 更具体地说,本发明涉及一种具有突出的光刻胶剥离能力的光致抗蚀剂剥离剂组合物,并且即使在较高的温度条件下即使在较高的温度条件下也可以使用甚至能够较大量地剥离大量的光致抗蚀剂。 不与组合物中的其他组分反应,不产生不必要的副产物。 本发明还涉及使用光致抗蚀剂剥离剂组合物的光致抗蚀剂剥离方法。
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公开(公告)号:WO2011037300A1
公开(公告)日:2011-03-31
申请号:PCT/KR2009/007003
申请日:2009-11-26
IPC: G03F7/42 , H01L21/027
CPC classification number: G03F7/425
Abstract: 본 발명은 포토레지스트 스트리퍼 조성물에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명에 따른 포토레지스트 스트리퍼 조성물은 벤즈이미다졸(benzimidazole)계 화합물 및 트리아졸계 화합물을 포함함으로써, 포토레지스트 박리 능력이 우수하고, 포토레지스트 하부막에 몰리브덴(Mo)을 포함시키는 경우에도 포토레지스트 하부막에 대한 부식 방지력이 우수한 효과가 있다.
Abstract translation: 本发明涉及一种光致抗蚀剂剥离剂组合物。 更具体地,根据本发明的光致抗蚀剂剥离剂组合物包含苯并咪唑基化合物和三唑基化合物,从而提供优异的光致抗蚀剂剥离性能,并且相对于光致抗蚀剂下膜的防腐蚀力也优异甚至 当钼(Mo)包含在光致抗蚀剂下膜中时。
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公开(公告)号:KR2020100012603U
公开(公告)日:2010-12-21
申请号:KR2020090007532
申请日:2009-06-11
Abstract: 원가가 절감되고, 외관은 물론 지지구와 캡의 체결력이 향상된 휴대용 가스 라이터가 소개된다. 본 발명에 따른 휴대용 가스 라이터는 연료가 충전된 탱크(100); 저면부(210)와, 이 저면부(210)의 둘레에서 상 방향으로 연장되어 형성되며 서로 마주보는 내측면에는 각각 걸림홈(222)이 형성된 외주부(220)를 포함하는 캡(200); 호스(310)와, 이 호스(310)의 일단이 연결된 분사노즐(320)과, 상기 분사노즐(320)의 내부에 형성된 통로를 선택적으로 차폐하는 팩킹부재(330)를 포함하는 연료공급부(300); 상기 팩킹부재(330)가 끼워질 수 있도록 일단에 마련된 홀더(410)와, 타단에 마련된 누름부(420)와, 끼움홀이 형성되며 상기 홀더(410)와 누름부(420) 사이를 연결하는 연결면(430)을 포함하는 레버(400); 한 쌍의 수직바(510)와, 이 수직바(510)의 하단을 연결하는 수평바(520)와, 이 수평바(520)에서 상하로 돌출되어 일체로 형성되며 상 단면은 개방된 중심구(530)와, 이 수직바(510)의 하단에서 수평으로 연장되어 형성된 걸림돌기(540)를 포함하는 지지구(500); 상기 중심구(530)의 내부에 장착되며 그 상단에는 부싯돌(800)이 결합된 스프링(600); 상기 부싯돌(800)과 접촉되어 불꽃을 일으키는 휠(700)을 포함한다.
라이터, 탱크, 캡, 연료공급부, 레버, 지지구, 스프링, 휠 -
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