포토레지스트 스트리퍼 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트 박리방법
    3.
    发明申请
    포토레지스트 스트리퍼 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트 박리방법 审中-公开
    光电子剥离器组合物和使用其的光电聚苯乙烯方法

    公开(公告)号:WO2011037300A1

    公开(公告)日:2011-03-31

    申请号:PCT/KR2009/007003

    申请日:2009-11-26

    CPC classification number: G03F7/425

    Abstract: 본 발명은 포토레지스트 스트리퍼 조성물에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명에 따른 포토레지스트 스트리퍼 조성물은 벤즈이미다졸(benzimidazole)계 화합물 및 트리아졸계 화합물을 포함함으로써, 포토레지스트 박리 능력이 우수하고, 포토레지스트 하부막에 몰리브덴(Mo)을 포함시키는 경우에도 포토레지스트 하부막에 대한 부식 방지력이 우수한 효과가 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种光致抗蚀剂剥离剂组合物。 更具体地,根据本发明的光致抗蚀剂剥离剂组合物包含苯并咪唑基化合物和三唑基化合物,从而提供优异的光致抗蚀剂剥离性能,并且相对于光致抗蚀剂下膜的防腐蚀力也优异甚至 当钼(Mo)包含在光致抗蚀剂下膜中时。

    포토레지스트 스트리퍼 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트 박리방법
    7.
    发明申请
    포토레지스트 스트리퍼 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트 박리방법 审中-公开
    光电子剥离器组合物,以及使用其剥离光刻胶的方法

    公开(公告)号:WO2011065603A1

    公开(公告)日:2011-06-03

    申请号:PCT/KR2009/007002

    申请日:2009-11-26

    CPC classification number: G03F7/425

    Abstract: 본 발명은 포토레지스트 스트리퍼 조성물에 관한 것이다. 보다 구체적으로 본 발명에 따른 포토레지스트 스트리퍼 조성물은 화학식 1로 표시되는 화합물을 포함함으로써, 포토레지스트 박리 능력이 우수하고, 포토레지스트 하부막에 몰리브덴(Mo)을 포함시키는 경우에도 포토레지스트 하부막에 대한 부식 방지력이 우수한 효과가 있다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种光致抗蚀剂剥离剂组合物。 更具体地说,根据本发明的光致抗蚀剂剥离剂组合物包含由式1表示的化合物,并且具有优异的光致抗蚀剂剥离能力,并且相对于光致抗蚀剂的下层显示出优异的抗腐蚀能力,即使下层光致抗蚀剂含有钼 (MO)。

    도전성 패턴 및 이의 제조 방법
    8.
    发明申请
    도전성 패턴 및 이의 제조 방법 审中-公开
    导电图案及其制造方法

    公开(公告)号:WO2010090488A2

    公开(公告)日:2010-08-12

    申请号:PCT/KR2010/000763

    申请日:2010-02-08

    Abstract: 본 발명은 a) 기판상에 도전성 막을 형성하는 단계; b) 상기 도전성 막 상에 에칭 레지스트 패턴을 형성하는 단계; 및 c) 상기 에칭 레지스트 패턴을 이용하여 상기 도전성 막을 오버 에칭(over-etching)함으로써 상기 에칭 레지스트 패턴의 폭보다 작은 선폭을 갖는 도전성 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 도전성 패턴의 제조방법, 이에 의하여 제조된 도전성 패턴을 제공한다. 본 발명에 따르면, 초미세 선폭을 갖는 도전성 패턴을 효율적이고 경제적으로 제공할 수 있다.

    Abstract translation: < p num =“0000”>本发明提供了一种制造半导体器件的方法,包括:a)在衬底上形成导电膜; b)在导电膜上形成抗蚀图案; 以及c)通过使用所述防蚀图案对所述导电膜进行过蚀刻,形成线宽小于所述防蚀图案的宽度的导电图案, 由此提供导电图案。 根据本发明,可以有效和经济地提供具有超细线宽的导电图案。

    포토레지스트 스트리퍼 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트 박리방법
    9.
    发明申请
    포토레지스트 스트리퍼 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트 박리방법 审中-公开
    光电剥离组合物和使用其的光电聚苯乙烯方法

    公开(公告)号:WO2009125945A2

    公开(公告)日:2009-10-15

    申请号:PCT/KR2009/001728

    申请日:2009-04-03

    CPC classification number: G03F7/425 G03F7/426

    Abstract: 본 발명은 포토레지스트용 스트리퍼 조성물에 관한 것이다. 보다 구체적으로, 본 발명은 포토레지스트 박리 능력이 우수하여 비교적 소량으로도 많은 양의 포토레지스트를 박리할 수 있고, 고온 공정 조건에도 적용 가능하며, 조성물 내 다른 성분들과 반응하지 않고, 불필요한 부산물을 발생시키지 않는 포토레지스트 스트리퍼 조성물 및 이를 이용한 포토레지스트 박리방법에 관한 것이다.

    Abstract translation: 本发明涉及一种用于光致抗蚀剂的剥离剂组合物。 更具体地说,本发明涉及一种具有突出的光刻胶剥离能力的光致抗蚀剂剥离剂组合物,并且即使在较高的温度条件下即使在较高的温度条件下也可以使用甚至能够较大量地剥离大量的光致抗蚀剂。 不与组合物中的其他组分反应,不产生不必要的副产物。 本发明还涉及使用光致抗蚀剂剥离剂组合物的光致抗蚀剂剥离方法。

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