公开(公告)号：WO2016102826A1

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：PCT/FR2015/053567

申请日：2015-12-17

Applicant: DELFMEMS

Inventor： LORPHELIN, Nicolas ,  SEGUENI, Karim

IPC: B81B5/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B5/00 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/051 ,  B81C1/00198

Abstract: Le dispositif microélectromécanique ou nanoélectromécanique (1) comporte une membrane (3) mobile en translation ayant une face inférieure (3a) avec une partie active (31) positionnée au droit d'une électrode d'actionnement (5) sous-jacente. La membrane comporte d'autre part un décrochement (30) qui s'étend en direction du substrat. Pour au moins une partie des positions en translation de la membrane (3), ledit décrochement (30) comporte une portion (30a) qui n'est pas positionnée au droit de l'électrode d'actionnement (5) et qui est proche d'au moins une première portion (50a) de la tranche (50) de l'électrode d'actionnement (5). Le dispositif comporte • (a) ( figure 2) une couche diélectrique (7), qui recouvre ladite première portion (50a) de tranche (50) de l'électrode d'actionnement (5), et/ou • (b) (figure 22) une couche diélectrique, qui recouvre la face inférieure (3a) de la membrane (3) dans une zone correspondant à ladite première portion (30a) du décrochement (30).

Abstract translation: 本发明涉及一种微机电或纳米机电装置（1），其包括具有下表面（3a）的可平移的可移动膜（3），活动部分（31）与放置在其下方的致动电极（5）成一直线。 膜还包括朝向基底延伸的凹部（30）。 对于膜（3）的平移位置的至少一部分，所述凹部（30）包括不与致动电极（5）成直角并且靠近至少一个第一部分的部分（30a） （50）的边缘（50）的距离（50a）。 该装置包括：（a）（图2）覆盖致动电极（5）的边缘（50）的所述第一部分（50a）的电介质层（7）; 和/或（b）（图22）介电层，其在与所述凹部（30）的所述第一部分（30a）对应的区域中覆盖所述膜（3）的下表面（3a）。

公开(公告)号：WO2012130664A1

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：PCT/EP2012/054864

申请日：2012-03-20

Applicant: DELFMEMS ,  PAVAGEAU, Christophe

Inventor： PAVAGEAU, Christophe

IPC: H01H59/00 ,  H01P1/12

CPC classification number: H01P1/15 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/018 ,  H01H1/0036 ,  H01H1/20 ,  H01H59/0009 ,  H01H2001/0063 ,  H01H2001/0084 ,  H01H2059/0072 ,  H01P1/127 ,  H01P3/003

Abstract: The RF MEMS crosspoint switch (1) comprising a first transmission (10) line and a second transmission line (11) that crosses the first transmission line; the first transmission line (10) comprises two spaced-apart transmission line portions (100, 101), and a switch element (12) that permanently electrically connects the said two spaced-apart transmission line portions (100, 101); the second transmission line (11) crosses the first transmission line (10) between the two spaced-apart transmission line portions (100, 101); the RF MEMS crosspoint switch (1) further comprises actuation means (121) for actuating the switch element (12) at least between a first position, in which the switch element (12) is electrically connecting the said two spaced-apart transmission line portions (100, 101) of the first transmission line (10) and the first (10) and second (11) transmission lines are electrically disconnected, and a second position, in which the switch element (12) is electrically connecting the said two spaced-apart transmission line portions (100, 101) of the first transmission line (10) and is also electrically connecting the two transmission lines (10, 11) together.

Abstract translation: RF MEMS交叉点开关（1）包括穿过第一传输线的第一传输（10）线和第二传输线（11）; 第一传输线（10）包括两个间隔开的传输线部分（100,101）和永久地电连接所述两个间隔开的传输线部分（100,101）的开关元件（12）。 所述第二传输线（11）穿过所述两个间隔开的传输线部分（100,101）之间的所述第一传输线（10）。 RF MEMS交叉点开关（1）还包括用于至少在第一位置之间致动开关元件（12）的致动装置（121），其中开关元件（12）电连接所述两个间隔开的传输线部分 所述第一传输线（10）和所述第一（10）和第二（11）传输线中的所述第一传输线（100,101）电断开，以及第二位置，其中所述开关元件（12）将所述两个间隔 - 所述第一传输线（10）的传输线路部分（100,101），并且还将所述两条传输线（10,11）电连接在一起。

公开(公告)号：US20160181041A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：US14977488

申请日：2015-12-21

Applicant: DELFMEMS SAS

Inventor： Anne-Sophie Rollier ,  Antoine Bonnabel ,  Karim Segueni

IPC: H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  H01H49/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/0051 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  B81C2201/013 ,  H01H49/00 ,  H01H2059/0027 ,  H01H2059/0036 ,  H01H2227/004

Abstract: The present invention relates to a method of manufacturing an MEMS device that comprises the steps of forming a first membrane layer over a sacrificial base layer, forming a second membrane layer over the first membrane layer, wherein the second membrane layer comprises lateral recesses exposing lateral portions of the first membrane layer and forming stoppers to restrict movement of the first membrane layer. Moreover, it is provided MEMS device comprising a movable membrane comprising a first membrane layer and a second membrane layer formed over the first membrane layer, wherein the second membrane layer comprises lateral recesses exposing lateral portions of the first membrane layer.

Abstract translation: 本发明涉及一种制造MEMS器件的方法，该方法包括以下步骤：在牺牲基底层上形成第一膜层，在第一膜层上形成第二膜层，其中第二膜层包括暴露侧向部分 的第一膜层并形成止挡件以限制第一膜层的运动。 此外，提供了包括可移动膜的MEMS装置，其包括形成在第一膜层上的第一膜层和第二膜层，其中第二膜层包括暴露第一膜层侧向部分的侧向凹部。

公开(公告)号：US20160181040A1

公开(公告)日：2016-06-23

申请号：US14977483

申请日：2015-12-21

Applicant: DELFMEMS SAS

Inventor： Renaud Robin ,  Nicolas Lorphelin ,  Karim Segueni

IPC: H01H59/00 ,  B81B3/00 ,  H01H49/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/018 ,  B81B2203/0127 ,  B81C1/00158 ,  B81C2201/0188 ,  H01H49/00 ,  H01H2059/0027 ,  H01H2059/0036 ,  H01H2227/004

Abstract: Systems and methods for a MEMS device, in particular, a MEMS switch, and the manufacture thereof are provided. In one example, said MEMS device comprises posts and a conduction (transmission) line formed over a substrate and a membrane over the posts and the conduction line. The membrane comprises a first membrane layer and a second membrane layer formed over the first membrane layer in a region over one of the posts and/or a region over the conduction line such that the first membrane layer has a region where the second membrane layer is not formed adjacent to the region where the second membrane layer is formed.

Abstract translation: 提供了用于MEMS器件，特别是MEMS开关的系统和方法及其制造。 在一个示例中，所述MEMS器件包括柱和在衬底上形成的导电（透射）线，并且在柱和导电线上形成膜。 所述膜包括第一膜层和第二膜层，所述第一膜层和所述第二膜层形成在所述第一膜上方的所述柱中的一个区域上和/或所述导电线上的区域中，使得所述第一膜层具有第二膜层 不与形成有第二膜层的区域相邻地形成。

公开(公告)号：US20150243729A1

公开(公告)日：2015-08-27

申请号：US14436274

申请日：2013-10-24

Applicant: DELFMEMS

Inventor： Christophe Pavageau

IPC: H01L49/02 ,  H01L23/522

CPC classification number: H01L28/65 ,  H01G5/16 ,  H01G2005/02 ,  H01L23/5223 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: The MEMS fixed capacitor includes a bottom metal electrode formed onto a substrate, a top metal electrode supported by metal pillars above the bottom metal electrode, and a gas-containing gap forming a non-solid dielectric layer between said top and bottom metal electrodes; the distance between the top and bottom metal electrodes is not more than 1 μm and the thickness of the top metal electrode is not less than 1 μm.

Abstract translation: MEMS固定电容器包括形成在基板上的底部金属电极，由底部金属电极上方的金属支柱支撑的顶部金属电极和在所述顶部和底部金属电极之间形成非固体电介质层的含气体间隙; 顶部和底部金属电极之间的距离不大于1μm，顶部金属电极的厚度不小于1μm。

公开(公告)号：WO2016102827A1

公开(公告)日：2016-06-30

申请号：PCT/FR2015/053571

申请日：2015-12-17

Applicant: DELFMEMS

Inventor： ROLLIER, Anne-Sophie ,  BONNABEL, Antoine

IPC: B81B5/00 ,  H01H59/00 ,  B81C1/00

CPC classification number: B81B5/00 ,  B81B2201/018 ,  B81C1/00198 ,  H01H59/0009

Abstract: Le dispositif microélectromécanique ou nanoélectromécanique (1 A) comporte une membrane (3), qui est supportée au-dessus d'un substrat (2), en étant espacée de celui-ci, et au moins une électrode d'actionnement electrostatic (5 ou 5'), formée sur ledit substrat (2), et positionnée au-dessous de la membrane (3). La membrane (3) est mobile en translation le long d' un premier axe de translation (XX') sensiblement parallèle au substrat (2), avec une course de déplacement le long de cet axe (XX') qui est limitée entre deux positions extrêmes. La face inférieure (3a) de ladite membrane (3) est profilée en dehors de la zone d'actionnement électrostatique (31a), de telle sorte que, lorsque la membrane (3) est au repos, la face inférieure (3a) de la membrane (3), est espacée de la face supérieure (5a) de l'électrode d'actionnement (5 ou 5') d'une distance (D) mesurée perpendiculairement au substrat (2), qui est supérieure ou égale à ladite distance minium au repos (D R ).

Abstract translation: 本发明涉及一种微机电或纳米机电装置（1A），其包括支撑在基板（2）上方与其分离的膜（3），以及形成在所述基板上的至少一个静电致动电极（5或5'） （2），并位于膜（3）下方。 膜（3）可沿着基本上平行于基底（2）的第一平移轴线（XX'）平移移动，沿着所述轴线（XX'）的移动行进限制在两个端部位置之间。 所述膜（3）的下表面（3a）在静电驱动区域（31a）的外部成型，使得当膜（3）不起作用时，膜（3）的下表面（3a）与 所述致动电极（5或5'）的上表面（5a）垂直于所述基板（2）测量距离（D），其不低于不工作时的所述最小距离（DR）。

公开(公告)号：WO2014064185A1

公开(公告)日：2014-05-01

申请号：PCT/EP2013/072252

申请日：2013-10-24

Applicant: DELFMEMS

Inventor： PAVAGEAU, Christophe

IPC: H01G5/16 ,  H01G5/18

CPC classification number: H01L28/65 ,  H01G5/16 ,  H01G2005/02 ,  H01L23/5223 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

Abstract: The MEMS fixed capacitor (1) comprises a bottom metal electrode (3) formed onto a substrate (S), a top metal electrode (2) supported by metal pillars (5) above the bottom metal electrode, and a gas-containing gap (4) forming a non-solid dielectric layer between said top (2) and bottom (3) metal electrodes; the distance (D) between the top (2) and bottom (3) metal electrodes is not more than 1μm and the thickness (E) of the top metal electrode (2) is not less than 1μm.

Abstract translation: MEMS固定电容器（1）包括形成在基板（S）上的底部金属电极（3），由底部金属电极上方的金属支柱（5）支撑的顶部金属电极（2）和气体容纳间隙 4）在所述顶部（2）和底部（3）金属电极之间形成非固体电介质层; 顶部（2）和底部（3）金属电极之间的距离（D）不大于1μm，顶部金属电极（2）的厚度（E）不小于1μm。

公开(公告)号：WO2010105827A1

公开(公告)日：2010-09-23

申请号：PCT/EP2010/001701

申请日：2010-03-18

Applicant: DELFMEMS ,  SEGUENI, Karim ,  LORPHELIN, Nicolas

Inventor： SEGUENI, Karim ,  LORPHELIN, Nicolas

IPC: H01H59/00

CPC classification number: H01H59/0009 ,  B81B5/00 ,  B81B2201/018

Abstract: The MEMS structure comprises: a flexible membrane (6), which has a main longitudinal axis (6a) defining a longitudinal direction (X), at least one pillar (3, 3') under the flexible membrane (6), electric lowering actuation means (7) that are adapted to bend down the flexible membrane (6) into a down forced state electric raising actuation means (8) that are adapted to bend up the flexible membrane (6) into an up forced state. The electric lowering actuation means (7) or the electric raising actuation means (8) comprise an actuation area (7c or 8c), that extends under a part of the membrane (6) and that is adapted to exert pulling forces on the membrane (6) simultaneously on both sides of the said at least one pillar (3) in the longitudinal direction (X).

Abstract translation: MEMS结构包括：柔性膜（6），其具有限定纵向（X）的主纵向轴线（6a），在柔性膜（6）下方的至少一个柱体（3,3'），电降压致动 适于将柔性膜（6）向下弯曲成适于将柔性膜（6）弯曲成向上强制状态的向下强制状态电动致动装置（8）的装置（7）。 电降落致动装置（7）或电动致动装置（8）包括致动区域（7c或8c），其在膜（6）的一部分下延伸并且适于在膜上施加拉力 6）同时在所述至少一个支柱（3）的纵向（X）上的两侧。

公开(公告)号：BRPI1006447A2

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：BRPI1006447

申请日：2010-03-18

Applicant: DELFMEMS

Inventor： SEGUENI KARIM ,  LORPHELIN NICOLAS

IPC: H01H59/00

公开(公告)号：BRPI0611549A2

公开(公告)日：2010-09-21

申请号：BRPI0611549

申请日：2006-03-07

Applicant: DELFMEMS

Inventor： MILLET OLIVIER

IPC: H01H1/00 ,  H01H59/00

Abstract: The RF MEMS switch comprising micromechanical switching means that are carried by a substrate (1) and that can be actuated between two positions: a first position (off-state/ figure 1) and a second position (on-state), and actuation means for actuating the position of the switching means. The micromechanical switching means comprise a flexible membrane (6) which is freely supported by support means (3) and which is bendable under the action of the actuation means (7).